Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Additive manufacturing of metal mirrors for TMA telescope
Heidler, N.; Hilpert, E.; Hartung, J.; Lukowicz, H. von; Damm, C.; Peschel, T.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2018Angular resolved power spectral density analysis for improving mirror manufacturing
Pertermann, T.; Hartung, J.; Beier, M.; Trost, M.; Schröder, S.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Gross, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Novel applications based on freeform technologies
Hartung, J.; Beier, M.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2018Precision manufacturing of a lightweight mirror body made by selective laser melting
Hilpert, E.; Hartung, J.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Anamorphotic telescope for earth observation in the mid-infrared range
Peschel, T.; Damm, C.; Scheiding, S.; Beier, M.; Risse, S.; Nikolov, S.; Holota, W.; Weiß, S.; Bartsch, P.
Konferenzbeitrag
2017Aspherical and freeform mirrors based on ultra-precise manufacturing for telescopes in the vis spectral range
Risse, S.; Beier, M.; Hartung, J.
Konferenzbeitrag
2017Design of an imaging spectrometer for earth observation using freeform mirrors
Peschel, T.; Damm, C.; Beier, M.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Walter, I.; Sebastian, I.; Krutz, D.
Konferenzbeitrag
2017Dimensional stability of metal optics on nickel plated AlSi40
Kinast, J.; Grabowski, K.; Rohloff, R.-R.; Risse, S.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2017Direct bonding of crystalline components for application in high power laser systems
Rothhardt, C.; Risse, S.; Schreiber, T.; Eberhardt, R.; Rothhardt, J.; Limpert, J.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2017Fused silica GRISMs manufactured by hydrophilic direct bonding at moderate heating
Kalkowski, G.; Grabowski, K.; Harnisch, G.; Flügel-Paul, T.; Zeitner, U.; Risse, S.
Zeitschriftenaufsatz
2017Grism manufacturing by low temperature mineral bonding
Kalkowski, G.; Grabowski, K.; Harnisch, G.; Flügel-Paul, T.; Zeitner, U.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2017Selective laser melting of hypereutectic Al-Si40-powder using ultra-short laser pulses
Ullsperger, T.; Matthäus, G.; Kaden, L.; Engelhardt, H.; Rettenmayr, M.; Risse, S.; Tünnermann, A.; Nolte, S.
Zeitschriftenaufsatz
2017Thermal infrared spectrometer MERTIS for the BepiColumbo Mission to Mercury
Zeh, T.; Kaiser, S.; Lenfert, K.; Peter, G.; Walter, I.; Hirsch, H.; Knollenberg, J.; Helbert, J.; Multhaup, K.; Hiesinger, H.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Damm, C.; Eberhardt, R.; Baier, V.; Kessler, E.
Konferenzbeitrag
2017Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines optischen Bauteils mit mindestens drei monolithisch angeordneten optischen Funktionsflächen und optisches Bauteil
Beier, Matthias; Hartung, Johannes; Damm, Christoph; Risse, Stefan; Satzer, Britta
Patent
2016Large aperture freeform VIS telescope with smart alignment approach
Beier, M.; Fuhlrott, W.; Hartung, J.; Holota, W.; Gebhardt, A.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2016Manufacturing and coating of optical components for the EnMAP hyperspectral imager
Schürmann, M.; Gäbler, D.; Schlegel, R.; Schwinde, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Jende, R.; Kinast, J.; Müller, S.; Beier, M.; Risse, S.; Sang, B.; Glier, M.; Bittner, H.; Erhard, M.
Konferenzbeitrag
2016Process influences and correction possibilities for high precision injection molded freeform optics
Dick, L.; Risse, S.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Prüfung
Beier, Matthias; Stumpf, Daniela; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Zeitner, Uwe Detlef
Patent
2015Additive manufacturing of aluminum alloy with high silicon content
Hilpert, E.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2015Development, fabrication, and testing of an anamorphic imaging snap-together freeform telescope
Beier, Matthias; Hartung, Johannes; Peschel, Thomas; Damm, Christoph; Gebhardt, Andreas; Scheiding, Sebastian; Stumpf, Daniela; Zeitner, Uwe D.; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2015Fabrication of metal mirror modules for snap-together VIS telescopes
Beier, M.; Hartung, J.; Kinast, J.; Gebhardt, A.; Burmeister, F.; Zeitner, U.D.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2015Low temperature GRISM direct bonding
Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Grabowski, K.; Benkenstein, T.; Ehrhardt, S.; Zeitner, U.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2015Measuring position and figure deviation of freeform mirrors with computer generated holograms
Beier, M.; Stumpf, D.; Zeitner, U.D.; Gebhardt, A.; Hartung, J.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Gross, H.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2015Mechanical design implementation and mathematical considerations for ultra precise diamond turning of multiple freeform mirrors on a common substrate
Hartung, J.; Beier, M.; Peschel, T.; Gebhardt, A.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2015Metal mirrors with metal-dielectric HR-coating for ultrashort laser pulses applied in scanner applications
Schürmann, Mark; Risse, Stefan; Kämmer, H; Franke, Christian; Schlegel, Ralph; Müller, Sandra; Damm, Christoph; Steinkopf, Ralf; Dreisow, F.; Nolte, Stefan; Eberhardt, Ramona; Kaiser, Norbert
Konferenzbeitrag
2015Polishability of thin electrolytic and electroless NiP layers
Kinast, J.; Beier, M.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2015Structured surfaces on metal optics
Steinkopf, R.; Hartung, J.; Kinast, J.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2015Sub-aperture EUV collector with dual-wavelength spectral purity filter
Feigl, Torsten; Perske, Marco; Pauer, Hagen; Fiedler, Tobias; Zeitner, Uwe; Leitel, Robert; Eckstein, Hans Christoph; Schleicher, Philipp; Schröder, Sven; Trost, Marcus; Risse, Stefan; Steinkopf, Ralf; Scholze, F.; Laubis, C.
Konferenzbeitrag
2014(Invited) Glass-Glass Direct Bonding
Kalkowski, Gerhard; Risse, Stefan; Zeitner, Uwe; Fuchs, Frank; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Doppelsphärische Luftlager aus Glas und Glaskeramik
Risse, S.
Aufsatz in Buch
2014Figure correction of freeform mirrors with well-defined reference structures by MRF
Beier, Matthias; Scheiding, Sebastian; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2014In situ and ex situ characterization of optical surfaces by light scattering techniques
Trost, Marcus; Herffurth, Tobias; Schröder, Sven; Duparré, Angela; Beier, Matthias; Risse, Stefan; Tünnermann, Andreas; Böwering, Norbert
Zeitschriftenaufsatz
2014Metal mirrors for laser applications
Schürmann, Mark; Reinlein, Claudia; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan
Konferenzbeitrag
2014Minimizing the bimetallic bending for cryogenic metal optics based on electroless nickel
Kinast, Jan; Hilpert, Enrico; Lange, Nicolas; Gebhardt, Andreas; Rohloff, Ralf-Rainer; Risse, Stefan; Eberhardt; Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Präzision fast ohne Limit für Metallspiegel
Risse, S.; Gebhardt, A.; Beier, M.; Loose, R.; Schürmann, M.; Jobst, J.; Schwinde, S.
Zeitschriftenaufsatz
2014Ultra-precise manufacturing of aspherical and freeform mirrors for high resolution telescopes
Risse, S.; Scheiding, S.; Beier, M.; Gebhardt, A.; Damm, C.; Peschel, T.
Konferenzbeitrag
2013Development of a low cost high precision three-layer 3D artificial compound eye
Zhang, Hao; Li, Lei; McCray, David L.; Scheiding, Sebastian; Naples, Neil J.; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Yi, Allen Y.
Zeitschriftenaufsatz
2013Fabrication of high precision metallic freeform mirrors with magnetorheological finishing (MRF)
Beier, Matthias; Scheiding, Sebastian; Gebhardt, Andreas; Loose, Roman; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Freeform mirror fabrication and metrology using a high performance test CGH and advanced alignment features
Scheiding, Sebastian; Beier, Matthias; Zeitner, Uwe-Detlef; Risse, Stefan; Gebhardt, Andreas
Konferenzbeitrag
2013High precision injection molding of freeform optics with 3D error compensation strategy
Dick, Lars; Risse, Stefan; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013In-situ testing of a freeform optic with a chromatic confocal sensor
Steinkopf, R.; Zwick, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2013Manufacturing of a precision 3D microlens array on a steep curved substrate by injection molding process
Zhang, Hao; Scheiding, Sebastian; Li, Lei; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Yi, Allen Y.
Zeitschriftenaufsatz
2013New DEA materials by organic modification of silicone and polyurethane networks
Kussmaul, B.; Risse, S.; Wegener, M.; Bluemke, M.; Krause, J.; Wagner, J.; Feller, T.; Clauberg, K.; Hitzbleck, J.; Gerhard, R.; Krueger, H.
Konferenzbeitrag
2013Silicate and direct bonding of low thermal expansion materials
Kalkowski, Gerhard; Fabian, Simone; Rothhardt, Carolin; Zeller, Paul; Risse, Stefan
Konferenzbeitrag
2013Structured Mo/Si multilayers for IR-suppression in laser-produced EUV light sources
Trost, Marcus; Schröder, Sven; Duparré, Angela; Risse, Stefan; Feigl, Torsten; Zeitner, Uwe D.; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2012Contact-free exhaust system for vacuum compatible gas bearing guides
Heidler, N.; Schenk, C.; Harnisch, G.; Risse, S.; Schubert, G.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2012Elektrostatisches Halteelement
Kalkowski, Gerhard; Risse, S.; Peschel, Thomas
Patent
2012Fly-cutting and testing of freeform optics with sub-µm shape deviations
Steinkopf, Ralf; Scheiding, Sebastian; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2012Injection molded high precision freeform optics for high volume applications
Dick, Lars; Risse, Stefan; Tünnerman, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2012Injection molded high precision freeform optics for high volume applications
Dick, L.; Risse, S.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2012Investigations into an electrostatic chuck design for 450mm Si wafer
Kalkowski, Gerhard; Peschel, Thomas; Hassall, Geoffrey; Risse, Stefan
Konferenzbeitrag
2012Matrix stiffness dependent electro-mechanical response of dipole grafted silicones
Kussmaul, B.; Risse, S.; Wegener, M.; Kofod, G.; Krüger, H.
Zeitschriftenaufsatz
2012Mechanical vacuum feedthrough using gas lubricated guiding elements
Heidler, Nils; Gossel, Marcus; Risse, Stefan; Eberhardt, Ramona; Schenk, Christoph
Konferenzbeitrag
2012Novel DEA materials by chemical grafting of silicone networks on molecular level
Kussmaul, B.; Risse, S.; Wegener, M.; Kofod, G.; Krüger, H.
Konferenzbeitrag
2012Optical reflector coatings for astronomical applications from EUV to IR
Schürmann, Mark; Jobst, Paul Johannes; Yulin, Sergiy; Feigl, Torsten; Heiße, Hanno; Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert
Konferenzbeitrag
2012Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten
Jobst, Paul Johannes; Schürmann, Mark; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert
Konferenzbeitrag
2012Polymercompound mit geblendetem polar-funktionalisierten Oligomeren, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung
Krüger, Hartmut; Kussmaul, Björn; Kofod, G.; Risse, S.
Patent
2012Precision assembly of a miniaturized wire deflector for electron-beam lithography
Risse, Stefan; Damm, Christoph; Hornaff, Marcel; Kamm, Andreas; Mohaupt, Matthias; Eberhardt, Ramona; Schmidt, Ingo; Ramm, Roland; Kühmstedt, Peter; Notni, Gunther; Döring, Hans-Joachim; Elster, Thomas; Kirschstein, Ulf Carsten; Schenk, Christoph
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2012Synergistic improvement of actuation properties with compatibilized high permittivity filler
Risse, S.; Kussmaul, B.; Krüger, H.; Kofod, G.
Zeitschriftenaufsatz
2012A versatile method for enhancement of electromechanical sensitivity of silicone elastomers
Risse, S.; Kussmaul, B.; Krüger, H.; Kofod, G.
Zeitschriftenaufsatz
2011Data handling and representation of freeform surfaces
Steinkopf, R.; Dick, L.; Kopf, T.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2011DEA material enhancement with dipole grafted PDMS networks
Risse, S.; Kussmaul, B.; Krüger, H.; Wache, R.; Kofod, G.
Konferenzbeitrag
2011Development and fabrication of a hyperspectral, mirror based IR-telescope with ultra-precise manufacturing and mounting techniques for a snap-together system assembly
Risse, S.; Scheiding, S.; Gebhardt, A.; Damm, C.; Holota, W.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Diamond milling or turning for the fabrication of micro lens arrays: Comparing different diamond machining technologies
Scheiding, S.; Yi, A.Y.; Gebhardt, A.; Losse, R.; Li, L.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Electrostatic clamping with an EUVL mask chuck: Particle issues
Kalkowski, G.; Zeuske, J.R.; Risse, S.; Müller, S.; Peschel, T.; Rohde, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Enhancement of dielectric permittivity and electromechanical response In silicone elastomers
Kussmaul, B.; Risse, S.; Kofod, G.; Wache, R.; Wegener, M.; McCarthy, D.N.; Krüger, H.; Gerhard, R.
Zeitschriftenaufsatz
2011Free-form manufacturing of a microoptical lens array on a curved substrate
Scheiding, S.; Yi, A.Y.; Gebhardt, A.; Li, L.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Freeform manufacturing of a microoptical lens array on a steep curved substrate by use of a voice coil fast tool servo
Scheiding, S.; Yi, A.Y.; Gebhardt, A.; Li, L.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Freeform mirror fabrication by means of fast tool servo diamond turning
Scheiding, S.; Risse, S.; Gebhardt, A.; Damm, C.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Investigations on clearance seal units for moving elements in an ultra-high vacuum region
Heidler, N.; Mohaupt, M.; Risse, S.; Döring, H.-J.
Konferenzbeitrag
2011Load bearing capacity and stiffness of porous journal gas bearing elements in a vacuum environment
Heidler, N.; Holub, T.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2011Method for manufacturing a mirror comprising at least one cavity and optical mirror
Scheiding, Sebastian; Gebhardt, Andreas; Damm, C.; Scheiding, M.; Risse, S.
Patent
2011Nickel plated metal mirrors for advanced applications
Gebhardt, A.; Scheiding, S.; Kinast, J.; Risse, S.; Duparré, A.; Trost, M.; Rohloff, R.-R.; Schönherr, V.; Giggel, V.; Löscher, H.
Konferenzbeitrag
2011Optical contacting of low-expansion materials
Kalkowski, G.; Risse, S.; Rothhardt, C.; Rohde, M.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2011Ultra-precise optical mirrors with thick amorphous silicon layer
Risse, S.; Gebhardt, A.; Kolbmüller, A.; Steinkopf, R.; Schürmann, M.; Jobst, J.; Kaiser, N.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2011Verfahren zur Herstellung von Leichtbaustrukturelementen
Kalkowski, G.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Patent
2010Assessing the mask clamping ability of a low thermal expansion material chuck
Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.; Engelstad, R.L.; Mikkelson, A.R.; Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Determination of local electrostatic forces for EUVL mask chucks
Kalkowski, G.; Peschel, T.; Risse, S.; Müller, S.; Engelstad, R.L.; Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Dielektrische Polymere mit erhöter Permittivität, Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendungszwecke hiervon
Krüger, H.; Kussmaul, B.; Kofod, G.; Risse, S.
Patent
2010Direct bonding of glass substrates
Kalkowski, G.; Rohde, M.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010Dynamical investigation of a wrap-around gas bearing design in a vacuum environment
Heidler, N.; Schenk, C.; Bauer, R.; Risse, S.; Scheiding, S.; Schubert, S.
Konferenzbeitrag
2010Electrostatic chucking of EUVL masks: Coefficients of friction
Kalkowski, G.; Semmler, C.; Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Müller, S.; Bauer, R.
Konferenzbeitrag
2010Femtosecond laser structuring of diamond tool tips for microoptics fabrication
Joswig, A.; Bartholome, P.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010Laser generated and structured prototypes of diamond tool tips for microoptics fabrication
Joswig, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010MERTIS: Optics manufacturing and verification
Gebhardt, A.; Steinkopf, R.; Scheiding, S.; Risse, S.; Damm, C.; Zeh, T.; Kaiser, S.
Konferenzbeitrag
2010A novel athermal approach for high performance cryogenic metal optics
Rohloff, R.-R.; Gebhardt, A.; Schönherr, V.; Risse, S.; Kinast, J.; Scheiding, S.; Peschel, T.
Konferenzbeitrag
2010Ultra precision shaping of complex prototypes with multi freeform surfaces
Steinkopf, R.; Kolbmüller, A.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010Ultra-precise optical components with machinable silicon layer
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2010Ultra-precisely manufactured mirror assemblies with well-defined reference structures
Scheiding, S.; Damm, C.; Holota, W.; Peschel, T.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2010Ultrapräzise optische Komponenten mit bearbeitbarer Siliziumschicht
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2009Aspheric lens array machining and replication
Scheiding, S.; Steinkopf, R.; Gebhardt, A.; Dannberg, P.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2009Dynamical non-contact exhaustion pipe for vacuum compatible air guided stages
Heidler, N.; Schenk, C.; Harnisch, G.; Risse, S.; Schubert, G.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2009Lens array manufacturing using a driven diamond tool on an ultra precision lathe
Scheiding, S.; Steinkopf, R.; Kolbmüller, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2009New nickel plated metal mirrors utilizing meltspun aluminium silicon alloy
Gebhardt, A.; Risse, S.; Peschel, T.; Senden, R.; Bosch, A.J.
Konferenzbeitrag
2009Substrat aus einer Aluminium-Silizium-Legierung oder kristallinem Silizium, Metallspiegel, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung
Risse, S.; Gebhardt, A.; Peschel, T.; Stoeckl, W.
Patent
2009Verfahren zur Fertigung einer optischen Anordnung mit mindestens zwei optischen Funktionsflächen, optisches Gerät und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
Scheiding, S.; Risse, S.; Gebhardt, A.; Damm, C.; Peschel, T.; Steinkopf, R.
Patent
2009Verfahren zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von mittels Gaslagerelementen gefuehrten Tischen und Verwendung von Luftlagerelementen mit Dichtsystemen fuer in Umgebungsatmosphaere gefuehrten Tischsystemen
Schenk, C.; Risse, S.
Patent
2008Aerostatisch gefuehrtes Tischsystem fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhme, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Comparison between flat aerostatic gas-bearing pads with orifice and porous feedings at high-vacuum conditions
Schenk, C.; Buschmann, S.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2008Flexibel verformbares Halteelement fuer Substrate
Kalkowski, G.; Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.
Patent
2008Light weight structural elements with functional surfaces
Scheiding, S.; Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Müller, S.; Eberhardt, R.
Konferenzbeitrag
2008Metal mirrors with excellent figure and roughness
Steinkopf, R.; Gebhardt, A.; Scheiding, S.; Rohde, M.; Stenzel, O.; Gliech, S.; Giggel, V.; Löscher, H.; Ullrich, G.; Rucks, P.; Duparre, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2008Mittels aerostatischer Lagerelemente gefuehrter Tisch fuer Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.; Boehm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Novel TMA telescope based on ultra precise metal mirrors
Risse, S.; Gebhardt, A.; Damm, C.; Peschel, T.; Stöckl, W.; Feigl, T.; Kirschstein, S.; Eberhardt, R.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2007Elektrostatisches Ablenksystem fuer Korpuskularstrahlung
Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Gebhardt, A.; Rohde, M.; Schenk, C.; Elster, T.; Doering, H.; Schubert, G.
Patent
2007Elektrostatisches Halteelement
Kalkowski, G.; Risse, S.
Patent
2007Flatness characterization of EUV mask chucks
Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007NiP plated mirrors for astronomy and space
Risse, S.; Gebhardt, A.; Steinkopf, R.; Giggel, V.
Konferenzbeitrag
2007Spiegel mit einer Silberschicht
Kaiser, N.; Uhlig, H.; Stoeckl, W.; Scheler, M.; Risse, S.; Feigl, T.
Patent
2006Electrostatic chuck for EUV masks
Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.; Harnisch, G.
Zeitschriftenaufsatz
2005Automatisierte Höchstpräzisionsfertigungstechnologie für Mikrooptik-Baugruppen
Rohde, M.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2005BELICHTUNGSANLAGE MIT HALTEEINRICHTUNG FUER EIN SUBSTRAT
Schubert, G.; Kirschstein, U.; Risse, S.; Harnisch, G.; Kalkowski, G.; Guyenot, V.
Patent
2005Investigation on gas bearings operable in high vacuum environment for high engineering at nanoscale
Schenk, C.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2005Spärische Luftlager - Präzision für den optischen Gerätebau
Risse, S.
Konferenzbeitrag
2005Untersuchungen an ebenen aerostatischen Gaslagerelementen für hochvakuumtaugliche Präzisionsführung
Schenk, C.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
2005Verfahren zur Ausrichtung eines optischen Elementes in Bezug zur Rotationsachse einer Welle
Kalkowski, G.; Risse, S.; Harnisch, G.; Gebhardt, A.
Patent
2004Investigation on self-acting air bearings made of glass-ceramic and manufacturing processes
Risse, S.
Konferenzbeitrag
2004Leichtbaustrukturelement
Risse, S.; Damm, C.; Harnisch, G.; Peschel, T.
Patent
2002Electrostatic chuck behaviour at ambient conditions
Kalkowski, G.; Risse, S.; Guyenot, V.
Zeitschriftenaufsatz
2001Ein Beitrag zur Entwicklung eines doppelsphärischen Luftlagers aus Glaskeramik
Risse, S.
Dissertation
2001Electrostatic chucks for lithography applications
Kalkowski, G.; Risse, S.; Harnisch, G.; Guyenot, V.
Zeitschriftenaufsatz
2001Verankerung fuer implantierbare Herzklappenprothesen
Damm, C.; Weber, C.; Risse, S.; Guyenot, V.; Mohaupt, M.; Harnisch, G.; Doerrer, P.; Figulla, H.; Ferrari, M.; Lang, K.
Patent
2001Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Unwuchten an rotierenden Koerpern
Kalkowski, G.; Risse, S.; Guyenot, V.
Patent
2001Wafer stage assembly for ion projection lithography
Damm, C.; Peschel, T.; Risse, S.; Kirschstein, U.
Zeitschriftenaufsatz
1999Balancing of a polygonal scanner for HDTV application
Kalkowski, G,; Risse, S.; Guyenot, V.
Konferenzbeitrag
1999Glass ceramics assemblies for astronomy, lithography and precision mechanics
Risse, S.; Damm, C.; Peschel, T.
Konferenzbeitrag
1999A new metrology stage for Ion Projection Lithography made of glass ceramics
Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Kirschstein, U.
Konferenzbeitrag
1998Balancing of a high speed rotor in aerodynamic bearings
Kalkowski, G.; Risse, S.; Fürle, T.; Guyenot, V.
Konferenzbeitrag
1998Doppelsphärische Luftlager aus Glas bzw. Glaskeramik
Risse, S.; Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Gebhardt, A.
Konferenzbeitrag
1998Lagerbaugruppe
Harnisch, G.; Guyenot, V.; Kalkowski, G.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Damm, C.
Patent
1998Verfahren zur Herstellung eines fotoelektronischen Mikrochips, der eine lichtundurchlaessige Schicht aufweist
Guyenot, V.; Risse, S.; Lude, C.
Patent
1998Verfahren zur Herstellung von optischen Bauelementen
Guyenot, V.; Risse, S.; Peschel, T.
Patent
1997Design of a fast and high precision polygonal scanner for HDTV
Risse, S.; Guyenot, V.
Konferenzbeitrag
1997Novel micro-optical components made from optical adhesives
Guyenot, V.; Peschel, T.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
1997Polygonspiegel und Polygonspiegelbaugruppe
Guyenot, V.; Eberhardt, V.; Risse, S.; Damm, C.
Patent
1997Präzisionslager aus Glaskeramik
Risse, S.
Zeitschriftenaufsatz
1997Rational polygonal scanner for HDTV applications made of glassceramics
Risse, S.; Guyenot, V.; Gebhardt, A.
Konferenzbeitrag
1997Superlager voor lasertelevisie
Guyenot, V.; Risse, S.
Zeitschriftenaufsatz
19962D- und 3D-Form- und Oberflächenmessung mit Tastschnittverfahren
Risse, S.; Gebhardt, A.
Konferenzbeitrag
1996Aerostatische Glaslager. Eine neue Möglichkeit der Präzisionslagerung
Risse, S.
Konferenzbeitrag
1996Autofokus- und Tastnadelverfahren im Vergleich
Risse, S.; Gebhardt, A.; Lude, C.
Konferenzbeitrag
1996Handling and mounting of microoptical components
Guyenot, V.; Eberhardt, R.; Tittelbach, G.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
1996Mounting, cementing and handling of micro-optical elements
Guyenot, V.; Eberhardt, R.; Risse, S.; Tittelbach, G.
Konferenzbeitrag
1996New edge-blackening techniques for refractive optical elements
Eberhardt, R.; Gebhardt, A.; Weber, A.; Risse, S.; Guyenot, V.
Konferenzbeitrag
1995Aerostatic linear guide made of high performance ceramics by joining
Eberhardt, R.; Guyenot, V.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
1995Neue Verfahren zum Randschwärzen von optischen Bauteilen
Eberhardt, R.; Gebhardt, A.; Weber, C.; Risse, S.; Guyenot, V.
Aufsatz in Buch
1995Streulicht passe. Neue Verfahren zum Randschwärzen optischer Bauteile
Eberhardt, R.; Gebhardt, A.; Weber, C.; Risse, S.; Guyenot, V.
Zeitschriftenaufsatz
1994Charakterisierung der Rauheit optischer Funktionsflächen - Methodenvergleich
Neubert, J.; Duparre, A.; Kaiser, N.; Notni, G.; Gerold, F.; Risse, S.
Konferenzbeitrag
1994Drossel fuer Gasfuehrungen und Gaslager
Guyenot, V.; Huebner, G.; Eberhardt, R.; Risse, S.
Patent
1994Glass bearing with an integrated plygonal mirror
Risse, S.; Guyenot, V.
Zeitschriftenaufsatz
1993Einrichtung zur Messung mechanischer Werkstoffkennwerte und zur Beobachtung und Auswertung von Risssystemen eines Bauteils
Risse, S.; Schnapp, J.D.; Gebhardt, A.; Eisenschmidt, S.
Patent