Fraunhofer-Gesellschaft

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2015Industrial-scale deposition of highly uniform and precise optical interference filters by the use of an improved cylindrical magnetron sputtering system
Vergöhl, M.; Bruns, S.; Rademacher, D.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2015Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung unformer Schichten auf bewegten Substraten und derart hergestellten Schichten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2014Numerical optimization of baffles for sputtering optical precision filters
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Progress on optical coatings deposited with dual rotatable magnetrons in a sputter up system
Vergöhl, M.; Rademacher, D.; Pflug, A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Properties of reactive sputtered alumina-silica mixtures
Bruns, S.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Weiss, P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Verfahren und Vorrichtung zur Beeinflussung der Schichtdickenverteilung auf Substraten sowie derart beschichtete Substrate
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Zickenrott, Tobias
Patent
2013Impact of thin film fabrication to the optimization process of a multispectral chromatic camera
Taphanel, Miro; Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2013Numerical shaper optimization for sputtered optical precision filters
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2013Properties of reactive sputtered alumina-silica mixtures
Bruns, S.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Weiss, P.
Konferenzbeitrag
2013Recent results of optical coatings deposited on the EOSS coater
Rademacher, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2013Sputtering of dielectric single layers by metallic mode reactive sputtering and conventional reactive sputtering from cylindrical cathodes in a sputter-up configuration
Rademacher, D.; Zickenrott, T.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung partikelarmer Schichten auf Substraten
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel
Patent
2012Computational optimization of the thickness uniformity of magnetron-sputtered optical layers by means of particle in cell plasma simulations
Vergöhl, M.; Pflug, A.; Rademacher, D.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2012Gegenstand mit reflexionsmindernder Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
Vergöhl, Michael; Rademacher, Daniel; Werber, O.; Bruns, S.; Neubert, T.; Weiss, P.
Patent
2012Manufacturing of high-precision optical coatings using a novel sputtering system
Rademacher, D.; Kreher, S.; Rudin, M.; Vergöhl, M.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2012Manufacturing of high-precision optical coatings using cylindrical cathodes in a sputter-up configuration
Rademacher, D.; Kreher, S.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2012Optical properties of silicon titanium oxide mixtures prepared by metallic mode reactive sputtering
Rademacher, D.; Bräuer, G.; Fritz, B.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Origin of particles during reactive sputtering of oxides using planar and cylindrical magnetrons
Rademacher, D.; Fritz, B.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Towards ultra-precise optical interference filters on large area: Computational and experimental optimization of the homogeneity of magnetron-sputtered precision optical coatings
Vergöhl, M.; Pflug, A.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2011In situ thickness determination of multilayered structures using single wavelength ellipsometry and reverse engineering
Rademacher, D.; Vergöhl, M.; Richter, U.
Zeitschriftenaufsatz
2011New sputtering concept for optical precision coatings
Rademacher, D.; Bräuer, G.; Vergöhl, M.; Fritz, B.; Zickenrott, T.
Konferenzbeitrag
2010In situ thickness determination of multilayered structures using single wavelength ellipsometry and reverse engineering
Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Konferenzbeitrag
2010In-Situ Messaufbau für den Einsatz in Beschichtungsanlagen
Szyszka, B.; Pflug, A.; Rademacher, D.; Vergöhl, M.
Patent
2010Particle generation during reactive magnetron sputtering of SiO2 with cylindrical and planar cathodes
Vergöhl, M.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2010Particle generation during reactive sputtering of SiO2 with planar and cylindrical magnetrons
Vergöhl, M.; Rademacher, D.
Konferenzbeitrag
2010Sputtern optischer Schichten mit Rotatable-Kathoden
Vergöhl, M.; Rademacher, D.; Fritz, B.
Konferenzbeitrag