Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Silicon lens arrays for wafer level packaging of IR-sensors
Kulkarni, A.; Malaurie, P.; Stenchly, V.; Quenzer, H.J.; Laske, N.; Dudde, R.
Konferenzbeitrag
2016New designs for MEMS-micromirrors and micromirror packaging with electrostatic and piezoelectric drive
Gu-Stoppel, S.; Stenchly, V.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.; Hofinann, U.; Dudde, R.
Konferenzbeitrag
2015Design, fabrication and characterization of piezoelectrically actuated gimbal-mounted 2D micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für Rasterscanner
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Optical simulation for an optimized wafer level optopackage for 2D-micromirrors
Stenchly, V.; Schwarz, F.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Piezoelectrically driven translatory optical MEMS Actuator with 7 mm apertures and large displacements
Quenzer, H.J.; Gu-Stoppel, S.; Stoppel, F.; Janes, J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015A study of integrated position sensors for PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Heinrich, F.; Janes, J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2014High frequency 1D piezoelectric resonant microscanners with large displacements
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Heinrich, F.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Two-dimensional scanning using two single-axis low-voltage PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2013Design, fabrication and characterization of low-voltage piezoelectric two-axis gimbal-less microscanners
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Kaden, D.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2013Piezoelectric resonant micromirror with high frequency and large deflection applying mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2012High speed piezoelectric microscanners with large deflection using mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Note: Micro-cantilevers with AlN actuators and PtSi tips for multi-frequency atomic force microscopy
Sebastian, A.; Shamsudhin, N.; Rothuizen, H.; Drechsler, U.; Koelmans, W.W.; Bhaskaran, H.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.; Despont, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Sputtered thin film piezoelectric aluminum nitride as a functional MEMS material
Marauska, S.; Hrkac, V.; Dankwort, T.; Jahns, R.; Quenzer, H.J.; Knöchel, R.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2011Fabrication of conducting AFM cantilevers with AlN-based piezoelectric actuators
Quenzer, H.J.; Drechsler, U.; Sebastian, A.; Marauska, S.; Wagner, B.; Despont, M.
Konferenzbeitrag
2011A novel vacuum-packaged low-power scanning mirror with inclined 3D-shaped window
Hofmann, U.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Janes, J.; Schroeder, C.; Jensen, B.; Hagge, J.; Soerensen, F.; Senger, F.; Vick, D.; Schwarzelbach, O.; Ratzmann, L.; Giese, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2011Sputtered thin film piezoelectric aluminium nitride as a functional MEMS material and CMOS compatible process integration
Marauska, S.; Dankwort, T.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2007Aetzloesung und Verfahren zur Strukturierung eines UBM-Schichtsystems
Dietz, F.; Kohlmann-von Platen, K.; Quenzer, H.J.
Patent
2006Bistabiler Mikroantrieb mit gekoppelten Membranen
Wagner, B.; Quenzer, H.J.
Patent
2004Paralleler AD-Umsetzer mit Schwellenwertspannungs-Einstellung
Staudt-Fischbach, P.; Quenzer, H.J.; Eichholz, J.
Patent
2004Solloesung zur Herstellung von Glasbeschichtungen fuer elektrisch leitende, zum anodischen Bonden einsetzbare Materialien
Quenzer, H.J.; Schulz, A.V.
Patent
2004Verfahren zur Herstellung einzelner Mikrolinsen oder eines Mikrolinsenarrays
Quenzer, H.J.; Merz, P.; Bott, U.
Patent
20033-dimensional micro-structuring for optical applications
Quenzer, H.J.; Reimer, K.; Merz, P.
Zeitschriftenaufsatz
2003Digitale Gatterschaltung mit herabgesetztem Querstrom
Eichholz, J.; Quenzer, H.J.; Staudt-Fischbach, P.
Patent
2003A novel micromachining technology for structuring borosilicate glass substrates
Merz, P.; Quenzer, H.J.; Bernt, H.; Wagner, B.; Zoberbier, M.
Konferenzbeitrag
2003Three-dimensional micro-structuring for optical applications
Quenzer, H.J.; Reimer, K.; Merz, P.
Konferenzbeitrag
1999Verfahren zur Herstellung von Glasschichten zum Zwecke des anodischen Bondens
Quenzer, H.J.; Dell, C.
Patent
1998Mikroreliefoberflächen. Herstellung mit Grauton-Lithographie
Hofmann, U.; Wagner, B.; Reimer, K.; Quenzer, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1997Erzeugung von Mikrorelief-Oberflächen mit Grauton-Lithographie
Wagner, B.; Reimer, K.; Hofmann, U.; Quenzer, H.J.; Jürss, M.; Pilz, W.
Konferenzbeitrag
1997Fabrication of microrelief surfaces using a one-step lithography process
Reimer, K.; Hofmann, U.; Jürss, M.; Pilz, W.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1997Micro-optic fabrication using one-level gray-tone lithography
Reimer, K.; Quenzer, H.J.; Jürss, M.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1997Mikroventil
Lisec, T.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.
Patent
1996Bistable microvalve with pneumatically coupled membranes
Wagner, B.; Quenzer, H.J.; Hoerschelmann, S.; Lisec, T.; Jürss, M.
Konferenzbeitrag
1996Bistable microvalves for implantable drug delivery systems
Wagner, B.; Quenzer, H.J.; Hoerschelmann, S.; Lisec, T.; Jürss, M.
Konferenzbeitrag
1996One-level gray-tone design. Mask data preparation and pattern transfer
Reimer, K.; Henke, W.; Quenzer, H.J.; Pilz, W.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1996One-level gray-tone lithography - mask data preparation and pattern transfer
Reimer, K.; Quenzer, H.J.; Demmeler, R.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1996One-level gray-tone lithography for micro optical components
Reimer, K.; Henke, W.; Quenzer, H.J.; Demmeler, R.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1996Silicon-silicon anodic bonding with intermediate glass layers using spin-on glasses
Quenzer, H.J.; Dell, C.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1996Thermally driven microvalve with buckling behaviour of pneumatic applications 2
Lisec, T.; Quenzer, H.J.; Kreutzer, M.; Hoerschelmann, S.; Wagner, B.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz
1996UV-depth lithography and galvanoforming for micro machining
Löchel, B.; Maciossek, A.; Wagner, B.; Quenzer, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1995Fabrication of relief-topographic surfaces with one-step UV-lithographic
Quenzer, H.J.; Henke, W.; Hoppe, W.; Pilz, W.; Reimer, K.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
1995Galvanoplating and sacrificial layers for surface micromachining
Maciossek, A.; Löchel, B.; Wagner, B.; Schulze, W.; Noetzel, J.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1995Microfabrication of complex surface topographies using gray-tone lithography
Wagner, B.; Quenzer, H.J.; Henke, W.; Hoppe, W.; Pilz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1995Simulation assisted design of processes for gray-tone lithography
Henke, W.; Hoppe, W.; Staudt-Fischbach, P.; Wagner, B.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1995Surface micromachined metallic microactuator with buckling characteristics
Quenzer, H.J.; Maciossek, A.; Wagner, B.; Pott, H.
Konferenzbeitrag
1995UV-depth lithography and galvanoforming for micro machining
Löchel, B.; Maciossek, A.; Wagner, B.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1994Electroplated electromagnetic components for actuators
Löchel, B.; Maciossek, A.; König, M.; Wagner, B.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1994A fast switching silicon valve for pneumatic control systems
Lisec, T.; Hoerschelmann, S.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1994Galvanoplated 3D coils for micro systems
Löchel, B.; Macioßek, A.; König, M.; Quenzer, H.J.; Huber, H.-L.
Zeitschriftenaufsatz
1994Galvanoplated 3D structures for micro systems
Löchel, B.; Maciossek, A.; König, M.; Quenzer, H.J.; Huber, H.-L.
Konferenzbeitrag
1994Magnetically driven microstructures fabricated with multilayer electroplating
Löchel, B.; Maciossek, A.; Wagner, B.; Engelmann, G.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1994Simulation and experimental study of gray-tone lithography for the fabrication of arbitrarily shaped surfaces
Henke, W.; Hoppe, W.; Quenzer, H.J.; Staudt-Fischbach, P.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1994Thermally driven microvalve with buckling behaviour of pneumatic applications
Lisec, T.; Hoerschelmann, S.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
1993Direktes Substratbonden
Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Patent
1992Low temperature silicon wafer bonding
Benecke, W.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1992Low temperature silicon wafer bonding for micromechanical applications
Benecke, W.; Quenzer, H.J.
Konferenzbeitrag
1992Low temperature wafer bonding for micromechanical applications
Quenzer, H.J.; Dell, C.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag