Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019ToF-SIMS 3D Analysis of Thin Films Deposited in High Aspect Ratio Structures via Atomic Layer Deposition and Chemical Vapor Deposition
Kia, A.M.; Haufe, N.; Esmaeili, S.; Mart, C.; Utriainen, M.; Puurunen, R.L.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2014Aluminum oxide from trimethylaluminum and water by atomic layer deposition: The temperature dependence of residual stress, elastic modulus, hardness and adhesion
Ylivaara, O.M.E.; Liu, X.; Kilpi, L.; Lyytinen, J.; Schneider, D.; Laitinen, M.; Julin, J.; Ali, S.; Sintonen, S.; Berdova, M.; Haimi, E.; Sajavaara, T.; Ronkainen, H.; Lipsanen, H.; Koskinen, J.; Hannula, S.-P.; Puurunen, R.L.
Zeitschriftenaufsatz