Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Simulation of a Coating Protection for an In Situ Ellipsometer in a CVD Furnace
Poscher, S.; Lehnert, W.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Simulation of a coating protection for an In Situ Ellipsometer in a CVD Furnace
Poscher, S.; Lehnert, W.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung
Poscher, S.
: Ryssel, H. (Prüfer)
Dissertation
1999Wohltemperierte Siliziumscheiben - Simulation und Messung der Temperaturverteilung in einem vertikalen Schichtabscheideofen
Poscher, S.; Wellner, S.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998Coupled simulation of gas flow and heat transfer in an RTP-system with rotating wafer
Poscher, S.; Theiler, T.
Zeitschriftenaufsatz
1998Gas Flow Simulation in a Rapid Thermal Processing System
Poscher, S.
Aufsatz in Buch
1997Chemical vapor deposition of titanium nitride on carbon fibres as a protective layer in metal matrix composites
Popopovska, N.; Gerhard, H.; Wurm, D.; Poscher, S.; Emig, G.; Singer, R.F.
Konferenzbeitrag
1997Kinetics of chemical vapor deposition of titanium nitride
Popovska, N.; Poscher, S.; Tichy, P.; Emig, G.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1996Simulation der LPCVD von Siliciumnitrid in einem Heißwand-Horizontalreaktor
Schäfer, M.; Poscher, S.
Aufsatz in Buch
1995Simulation of a Si3N4 hot wall batch reactor
Poscher, S.; Schäfer, M.
Zeitschriftenaufsatz