Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003VERFAHREN ZUR REGELUNG VON REAKTIVEN SPUTTERPROZESSEN
Bringmann, U.; Hoeing, T.; Malkomes, N.; Szyszka, B.; Vergoehl, M.; Poeckelmann, R.
Patent
2001Metallization of polymers by plasma pretreatment followed by an electroplating process
Matthée, T.; Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2000Elektrisch kontaktierbare Maske zur Herstellung von dreidimensionalen Schaltungstraegern
Poeckelmann, R.; Luethje, H.; Klages, C.; Matthee, T.
Patent
2000Haftfeste Metallisierung von Kunststoffen durch eine Plasmaaktivierung
Matthee, T.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
2000TCO-coating of polymer substrates using reactive MF-magnetron sputtering of ZnO:Al layers
Szyszka, B.; Jiang, X.; Höing, T.; Pöckelmann, R.; Bringmann, U.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
1999Haftfeste Metallisierung von Kunststoffen durch eine Plasmaaktivierung
Matthee, T.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.; Weber, A.; Busse, J.
Konferenzbeitrag
1999Plasmaaktivierung. Haftfeste Metallisierung von Kunststoffen durch Plasmavorbehandlung
Matthee, T.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.
Zeitschriftenaufsatz
1998Electrical and optical properties of amorphous fluorocarbon films prepared by plasma polymerization of perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
1997Metallization of polymers using plasma enhanced chemical vapor deposited titanium nitride as interlayer
Weber, A.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
1997Plasma CVD of high quality titanium nitride using titanium (IV) isopropoxide as precursor
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
1997Plasmaunterstützte Vorbehandlung und Metallisierung von Kunststoffen
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Hippel, I.; Dietz, A.
Konferenzbeitrag
1997Umweltverträgliche Metallisierung von Polymerwerkstoffen
Weber, A.; Dietz, A.; Hippel, I.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
1996Verfahren zur Herstellung von TiN-Schichten und die mit diesem Verfahren hergestellte Schicht
Weber, A.; Poeckelmann, R.; Klages, C.-P.
Patent
1995Deposition of high quality TiN using tetra-iso-propoxide titanium in an electron cyclotron resonance plasma process
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
1995Electroplating of fluoropolymers using ECR plasma deposited TiN as interlayer
Weber, A.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
1995Electroplating of poly(tetrafluoro-ethylene) using plasma enhanced chemical vapor deposited titanium nitride as interlayer
Weber, A.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
1995Superharte Kohlenstoffnitrid C3N4-Schichten
Bewilogua, K.; Weber, A.; Hübsch, H.; Pöckelmann, R.
Bericht
1994A new method of diamond CVD with a closed gas circuit
Fryda, M.; Six, R.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz
1993Influence of plasma activation on the deposition of Ti, TiN and Cu using metalorganic compounds
Weber, A.; Nikulski, R.; Bringmann, U.; Gernhuber, M.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
1993Low temperature deposition of TiN in an ECR plasma enhanced process
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.; Gross, M.E.; Brown, W.L.; Charatan, R.M.; Dons, E.; Eaglesham, D.J.
Konferenzbeitrag