Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
|---|
| 2004 | Active defect reduction program at IMS
Linnenberg, S.; Peter-Weidemann, J.; Heinicke, B.; Paschen, U. | Aufsatz in Buch |
| 1993 | Novel approach to defect etching in thin film silicon-on-insulator
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 1
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 2
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
Belz, J.; Burbach, G.; Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H. | Aufsatz in Buch |
| 1990 | Untersuchung und Entwicklung der CMOS-Technologie auf vergrabenem Isolator als einer neuen VLSI-Technologie. Berichtszeitraum 01.07.1987 - 31.09.1990. BMFT-Abschlußbericht 110620
Abel, H.B.; Gassel, H.; Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Peter-Weidemann, J.; Redlich, S.; Götzen, R. | Buch |
| 1989 | CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
Belz, J.; Burbach, G.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H. | Aufsatz in Buch |
| 1989 | High quality silicon-on-insulator substrates by implanted oxygen ions
Belz, J.; Burbach, G.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |