Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Active defect reduction program at IMS
Linnenberg, S.; Peter-Weidemann, J.; Heinicke, B.; Paschen, U.
Aufsatz in Buch
1993Novel approach to defect etching in thin film silicon-on-insulator
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 1
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 2
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1990CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
Belz, J.; Burbach, G.; Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Aufsatz in Buch
1990Untersuchung und Entwicklung der CMOS-Technologie auf vergrabenem Isolator als einer neuen VLSI-Technologie. Berichtszeitraum 01.07.1987 - 31.09.1990. BMFT-Abschlußbericht 110620
Abel, H.B.; Gassel, H.; Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Peter-Weidemann, J.; Redlich, S.; Götzen, R.
Buch
1989CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
Belz, J.; Burbach, G.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Aufsatz in Buch
1989High quality silicon-on-insulator substrates by implanted oxygen ions
Belz, J.; Burbach, G.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag