Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Analysis of asymmetric resonance response of thermally excited silicon micro-cantilevers for mass-sensitive nanoparticle detection
Bertke, M.; Hamdana, G.; Wu, W.; Wasisto, H.S.; Uhde, E.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Size-selective electrostatic sampling and removal of nanoparticles on silicon cantilever sensors for air-quality monitoring
Bertke, M.; Wu, W.; Wasisto, H.S.; Uhde, E.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2016Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment
Wasisto, H.S.; Uhde, E.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2015Electrothermal piezoresistive cantilever resonators for personal measurements of nanoparticles in workplace exposure
Wasisto, H.S.; Wu, W.; Uhde, E.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2015Handheld personal airborne nanoparticle detector based on microelectromechanical silicon resonant cantilever
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Uhde, E.; Waag, A.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2015Low-cost wearable cantilever-based nanoparticle sensor microsystem for personal health and safety monitoring
Wasisto, H.S.; Wu, W.; Merzsch, S.; Uhde, E.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2015Partially integrated cantilever-based airborne nanoparticle detector for continuous carbon aerosol mass concentration monitoring
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Uhde, E.; Waag, A.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2014Cantilever micro balance as nanoparticle exposure monitor
Wasisto, H.S.; Waag, A.; Merzsch, S.; Uhde, E.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2014Handheld micromechanical cantilever mass sensor for early detection of carbon nanoparticles
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2014An integrated personal monitor for engineered nanoparticles
Merzsch, S.; Wasisto, H.S.; Kirsch, I.; Peiner, E.; Uhde, E.
Konferenzbeitrag
2014Surface-enhanced silicon resonant cantilever sensors with vertical nanowires
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Steib, F.; Uhde, E.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2013Airborne engineered nanoparticle mass sensor based on a silicon resonant cantilever
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Development of a personal sampler for airborne ultrafine particles using a MEMS microbalance sensor.
Uhde, E.; Kirsch, I.; Merzsch, S.; Wasisto, H.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2013Evaluation of photoresist-based nanoparticle removal method for recycling silicon cantilever mass sensors
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Femtogram aerosol nanoparticle mass sensing utilising vertical silicon nanowire resonators
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2013A personal sampler for direct mass determination of nano-particles using a resonant cantilever sensor
Merzsch, S.; Salthammer, T.; Wasisto, H.S.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2013Portable cantilever-based airborne nanoparticle detector
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Silicon nanowire resonators for aerosol nanoparticle mass sensing
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2013Silicon nanowire resonators: Aerosol nanoparticle mass sensing in the workplace
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2013Silicon resonant nanopillar sensors for airborne titanium dioxide engineered nanoparticle mass detection
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Cleaning of structured templates from nanoparticle accumulation using silicone
Merzsch, S.; Wasisto, H.S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2012Determination of exposure to engineered carbon nanoparticles using a self-sensing piezoresistive silicon cantilever sensor
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz
2012Effect of photoresist coating on the reusable resonant cantilever sensors for assessing exposure to airborne nanoparticles
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Femtogram mass measurement of airborne engineered nanoparticles using silicon nanopillar resonators
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Recycling of cantilevers for nanoparticle detection by lift-off technique
Merzsch, S.; Wasisto, H.S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2012Silicon cantilever resonators integrated with portable electrostatic samplers for sensing and characterizing engineered nanoparticles in workplace air
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Cleaning of nanopillar templates for nanoparticle collection using PDMS
Merzsch, S.; Wasisto, H.S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Design and modeling of thermally excited microcantilever sensors for airborne nanoparticles mass detection
Wasisto, H.S.; Doering, L.; Merzsch, S.; Kaehler, J.; Waag, A.; Uhde, E.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Direct mass determination of ultrafine aerosols using a micro-scale sensor
Uhde, E.; Kirsch, I.; Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Direct mass determination of ultrafine aerosols using a microscale sensor
Uhde, E.; Kirsch, I.; Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Enhanced airborne nanoparticles mass sensing using a high-mode resonant silicon cantilever sensor
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Low-weight electrostatic sampler for airborne nanoparticles
Merzsch, S.; Wasisto, H.S.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011A resonant cantilever sensor for monitoring airborne nanoparticles
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Kirsch, I.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Self-exciting and self-sensing resonant cantilever sensors for improved monitoring of airborne nanoparticles exposure
Wasisto, H.S.; Doering, L.; Merzsch, S.; Waag, A.; Uhde, E.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2011Use of self-sensing piezoresistive Si cantilever sensor for determining carbon nanoparticles mass
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Uhde, E.; Kirsch, I.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Konferenzbeitrag
2007Diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Doering, L.; Limmer, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Longitudinal and transversal piezoresistive effect in hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Mechanical and piezoresistive properties of diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2007Piezoresistive effect in amorphous carbon thin films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Piezoresistive effect in DLC films and silicon
Tibrewala, A.; Phataralaoha, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Büttgenbach, S.
Konferenzbeitrag
2006Investigation of the piezoresistive properties of nano structured amorphous carbon for force sensor applications
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Konferenzbeitrag
2006MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmesstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Piezoresistive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Piezoresistive gauge factor of hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Piezoresitive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2005Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2005Piezoresistive co-efficient of diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
2005Preparation and characterization of multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like-carbon
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Konferenzbeitrag
2005Transport and optical properties of a-C and a-C:H modification films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Rabe, G.T.
Konferenzbeitrag