Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Analytical model for thin-film SOI PIN-diode leakage current
Schmidt, Andrei; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas; Paschen, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2017First results on DEPFET Active Pixel Sensors fabricated in a CMOS foundry - a promising approach for new detector development and scientific instrumentation
Aschauer, Stefan; Majewski, Petra; Lutz, Gerhard; Soltau, Heike; Holl, Peter; Hartmann, Robert; Schlosser, Dieter; Paschen, Uwe; Weyers, Sascha; Dreiner, Stefan; Klusmann, Miriam; Hauser, Julia; Kalok, David; Bechteler, Alois; Heinzinger, Klaus; Porro, Matteo; Titze, Barbara; Strüder, Lothar
Zeitschriftenaufsatz
2016Experimental reliability studies and SPICE simulation for EEPROM at temperatures up to 450°C
Kelberer, Andreas; Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Dittrich, Dirk; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2016Silicon based single-photon avalanche diode (SPAD) technology for low-light and high-speed applications
Durini, Daniel; Paschen, Uwe; Schwinger, Alexander; Spickermann, Andreas
Aufsatz in Buch
2015Beschleunigte Zuverlässigkeitsuntersuchung von Siliziumnitrid bei schmalbandiger UV-Bestrahlung
Schmidt, Andrei; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2015Experimental reliability studies and SPICE simulation for EEPROM at temperatures up to 450°C
Kelberer, Andreas; Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Dittrich, Dirk; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2015Experimental reliability studies and SPICE simulation for EEPROM at temperatures up to 450°C
Kelberer, Andreas; Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Dittrich, Dirk; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2015High temperature SOI CMOS technology and circuit realization for applications up to 300°C
Kappert, Holger; Kordas, Norbert; Dreiner, Stefan; Paschen, Uwe; Kokozinski, Rainer
Konferenzbeitrag
2015Thin-film SOI PIN-diode leakage current dependence on back-gate-potential and HCI traps
Schmidt, Andrei; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2014CMOS SPADs with up to 500 µm diameter and 55% detection efficiency at 420 nm
Villa, Federica; Bronzi, Danilo; Zou, Yu; Scarcella, Carmelo; Boso, Gianluca; Tisa, Simone; Tosi, Alberto; Zappa, Franco; Durini, Daniel; Weyers, Sascha; Paschen, Uwe; Brockherde, Werner
Zeitschriftenaufsatz
2014High temperature 0.35 micron Silicon-on-Insulator CMOS technology
Kappert, Holger; Dreiner, Stefan; Kordas, Norbert; Schmidt, Alexander; Paschen, Uwe; Kokozinski, Rainer
Konferenzbeitrag
2014Low-noise CMOS SPAD arrays with in-pixel time-to-digital converters
Tosi, Alberto; Villa, Federica; Bronzi, Danilo; Zou, Yu; Lussana, Rudi; Tamborini, Davide; Tisa, Simone; Durini, Daniel; Weyers, Sascha; Paschen, Uwe; Brockherde, Werner; Zappa, Franco
Konferenzbeitrag
2014Reliability of CMOS on silicon-on-insulator for use at 250 °C
Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2014Zuverlässigkeitsuntersuchungen an einer hochtemperaturtauglichen SOI-CMOS-Technologie
Dreiner, Stefan; Grella, Katharina; Heiermann, Wolfgang; Kelberer, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2013Development of high voltage for a 0.18 µm CMOS process: A heterogeneous technology alliance project
Dreiner, Stefan; Weyers, Sascha; Mehta, M.; Paschen, Uwe
Aufsatz in Buch
2013High temperature characterization up to 450°C of MOSFETs and basic circuits realized in a Silicon-on-Insulator (SOI) CMOS-technology
Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Schmidt, Alexander; Heiermann, Wolfgang; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2013High temperature reliability investigations up to 350 °C of gate oxid capacitors realized in a Silicon-on-Insulator CMOS-technology
Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2013Large-area CMOS SPADs with very low dark counting rate
Bronzi, Danilo; Villa, Federica; Bellisai, Simone; Tisa, Simone; Tosi, Alberto; Ripamonti, Giancarlo; Zappa, Franco; Weyers, Sascha; Durini, Daniel; Brockherde, Werner; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2013Leistungselektronik und elektrische Antriebstechnik
März, Martin; Eilers, Dirk; Gillner, Arnold; Schliwinski, Hans-Jürgen; Schneider-Ramelow, Martin; Schubert, Thomas; Partsch, Uwe; Paschen, Uwe; Wilken, Ralph
Aufsatz in Buch
2013Reliability investigations up to 350°C of gate oxid capacitors realized in a Silicon-on-Insulator CMOS-technology
Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2012High temperature characterization up to 450 °C of MOSFETs and basic circuits realized in a Silicon-on-Insulator (SOI) CMOS-technology
Grella, Katharina; Dreiner, Stefan; Schmidt, Alexander; Heiermann, Wolfgang; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2012Low-noise and large-area CMOS SPADs with timing response free from slow tails
Bronzi, Danilo; Villa, Federica; Bellisai, Simone; Markovic, Bojan; Tisa, Simone; Tosi, Alberto; Zappa, Franco; Weyers, Sascha; Durini, Daniel; Brockherde, Werner; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2012Quantum efficiency determination of a novel CMOS design for fast imaging applications in the extreme ultraviolet
Herbert, Stefan; Banyay, Matus; Maryasov, Alexey; Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger; Juschkin, Larissa
Zeitschriftenaufsatz
2012Reducing the impact of process variations on the sensitivity of CMOS photodiodes
Hochschulz, Frank; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Aufsatz in Buch
2012SPAD detector for long-distance 3D ranging with sub-nanosecond TDC
Villa, Federica; Markovic, Bojan; Bronzi, Danilo; Bellisai, Simone; Boso, G.; Scarcella, C.; Tosi, Alberto; Durini, Daniel; Weyers, Sascha; Paschen, Uwe; Brockherde, Werner
Konferenzbeitrag
2012SPAD smart pixel for time-of-flight and time-correlated single-photon counting measurements
Villa, F.; Markovic, B.; Bellisai, S.; Bronzi, D.; Tosi, A.; Zappa, F.; Tisa, S.; Durini, Daniel; Weyers, Sascha; Paschen, Uwe; Brockherde, Werner
Zeitschriftenaufsatz
2011CMOS photodiodes for narrow linewidth applications
Hochschulz, Frank; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2011CMOS-based EUV sensor
Hochschulz, F.; Paschen, U.; Vogt, H.
Aufsatz in Buch
2011Hierarchical simulation of process variations and their impact on circuits and systems: Results
Lorenz, J.K.; Bär, E.; Clees, T.; Evanschitzky, P.; Jancke, R.; Kampen, C.; Paschen, U.; Salzig, C.P.J; Selberherr, S.
Zeitschriftenaufsatz
2011High temperature reliability investigations of EEPROM memory cells realised in Silicon-on-Insulator (SOI) technology
Grella, K.; Vogt, H.; Paschen, U.
Konferenzbeitrag
2011Light switched plasma charging protection device for high-field characterization and flash memory protection
Sommer, S.P.; Paschen, U.; Figge, M.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2011Multiphysics simulations for the optimisation of CMOS processes for high precision optical measurement applications
Hochschulz, F.; Paschen, U.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Neue CMOS-Bildsensoren erweitern Einsatzmöglichkeiten
Hochschulz, F.; Brockherde, W.; Vogt, H.; Paschen, U.
Zeitschriftenaufsatz
2010CMOS process enhancement for high precision narrow linewidth applications
Hochschulz, F.; Vogt, H.; Paschen, U.
Konferenzbeitrag
2010Coupling of Monte Carlo sputter simulation and feature-scale profile simulation and application to the simulation of back etching of an intermetal dielectric
Baer, E.; Kunder, D.; Lorenz, J.; Sekowski, M.; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2010Multiphysics simulation for the optimisation of CMOS processes for high precision optical measurement applications
Hochschulz, F.; Paschen, U.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2009Evaluation of Schottky and MgO-based tunnelling diodes with different ferromagnets for spin injection in n-Si
Uhrmann, T.; Dimopoulos, T.; Kovacs, A.; Kohn, A.; Weyers, S.; Paschen, U.; Smoliner, J.; Brückl, H.
Zeitschriftenaufsatz
2009Light switched plasma charging damage protection device allowing high field characterization
Sommer, S.P.; Paschen, U.; Figge, M.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2009Magnetic properties of embedded ferromagnetic contacts to silicon for spin injection
Dimopoulos, T.; Schwarz, D.; Uhrmann, T.; Kirk, D.; Kohn, A.; Weyers, S.; Paschen, U.
Zeitschriftenaufsatz
2008Characterization of embedded MgO/ferromagnet contacts for spin injection in silicon
Uhrmann, T.; Dimopoulos, T.; Brückl, H.; Lazarov, V.K.; Kohn, A.; Paschen, U.; Weyers, S.; Bär, L.; Rührig, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Development of a 0.35 µm smart power CMOS process for automotive applications
Paschen, U.
Aufsatz in Buch
2008Positive charge trapping induced by plasma charging damage in NMOS transistors
Sommer, S.P.; Paschen, U.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2008Ti/Ni(80%)Cr(20%) thin-film resistor with a nearly zero temperature coefficient of resistance for integration in a standard CMOS process
Nachrodt, D.; Paschen, U.; Have, A. ten; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Reliability of embedded flash
Paschen, U.
Aufsatz in Buch
2006Precise stable thin film resistors with low temperature coefficient of resistance
Nachrodt, D.; Paschen, U.
Aufsatz in Buch
2006RF-circuits in digital CMOS processes
Stücke, Thomas; Christoffers, Niels; Paschen, Uwe
Konferenzbeitrag
2006Technologies and reliability of modern embedded flash cells
Sikora, A.; Pesl, F.-P.; Unger, W.; Paschen, U.
Zeitschriftenaufsatz
2006Zuverlässigkeit von Embedded Flash
Paschen, U.
Konferenzbeitrag
2005Embedded Flash - Stand der Technik. Tl.1
Paschen, U.; Pesl, F.-P.; Sikora, A.; Unger, W.
Zeitschriftenaufsatz
2005Embedded Flash - Stand der Technik. Tl.2
Paschen, U.; Pesl, F.-P.; Sikora, A.; Unger, W.
Zeitschriftenaufsatz
2004Active defect reduction program at IMS
Linnenberg, S.; Peter-Weidemann, J.; Heinicke, B.; Paschen, U.
Aufsatz in Buch
2004Production of customer ICs at IMS
Vogt, H.; Paschen, U.
Aufsatz in Buch
2003Microelectronic systems for high temperature applications in BSOI technology
Paschen, U.; Kordas, N.
Aufsatz in Buch
2003Vertical trench DMOS power transistors for 100-200 V
Christmann, A.; Paschen, U.
Aufsatz in Buch
2002Investigation of the spatial distribution of current density and heat dissipation in high-power-semiconductor devices
Sauerland, F.; Paschen, U.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2000Smart power integration on SOI: thin and thick film (local) SOI processes and devices
Paschen, U.; Weyers, J.; Bentum, R. van; Steck, B.; Vogt, F.P.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1999Taktile Sensoranordnung
Paschen, U.; Leineweber, M.; Zimmer, G.
Patent
1998Heavy load manipulation using tactile sensors based micromechanical pressure sensors
Paschen, U.; Leineweber, M.
Aufsatz in Buch
1998A novel tactile sensor system for heavy-load applications based on an integrated capacitive pressure sensor
Paschen, U.; Leineweber, M.; Amelung, J.; Schmidt, M.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1997Tactile sensors for heavy load manipulation
Paschen, U.; Leineweber, M.; Amelung, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag