Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Simulation model validation of two common i-line photoresists
Partel, S.; Urban, G.A.; Motzek, K.
Zeitschriftenaufsatz
2012Fabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor
Partel, S.; Mayer, M.; Hudek, P.; Dinçer, C.; Kieninger, J.; Urban, G.A.; Motzek, K.; Matay, L.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Mask aligner lithography simulation - From lithography simulation to process validation
Motzek, K.; Partel, S.; Bramati, A.; Hofmann, U.; Unal, N.; Hennemeyer, M.; Hornung, M.; Heindl, A.; Ruhland, M.; Erdmann, A.; Hudek, P.
Zeitschriftenaufsatz
2011Numerical optimization of illumination and mask layout for the enlargement of process windows and for the control of photoresist profiles in proximity printing
Motzek, Kristian; Partel, Stefan; Vogler, Uwe; Erdmann, Andreas
Konferenzbeitrag
2010Optimization of illumination pupils and mask structures for proximity printing
Motzek, K.; Bich, A.; Erdmann, A.; Hornung, M.; Hennemeyer, M.; Meliorisz, B.; Hofmann, U.; Ünal, N.; Völkel, R.; Partel, S.; Hudek, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Investigation of high-resolution contact printing
Meliorisz, B.; Partel, S.; Schnattinger, T.; Fühner, T.; Erdmann, A.; Hudek, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz