Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Validation of data analytics and optimization algorithms within an intelligent asset management system for rail signalling
Consilvio, A.; Sanetti, P.; Crovetto, C.; Papa, F.; Dambra, C.; Jimenez Redondo, N.; Kandler, U.
Zeitschriftenaufsatz
2015HIPIMS in full face erosion circular cathode for semiconductor applications
Bellido-Gonzalez, V.; Papa, F.; Azzopardi, A.; Brindley, J.; Li, H.; Vetushka, A.; Kroehnert, K.; Ehrmann, O.; Lang, K.-D.; Mackowiak, P.; Fernandez, I.; Wennberg, A.; Ngo, H.D.
Konferenzbeitrag
2015Plasma enhanced atomic layer deposition by means of an Anode Layer Ion Source for electronics packaging applications
Bellido-Gonzalez, V.; Monaghan, D.; Daniel, B.; Li, Heqing; Papa, Frank; Kröhnert, Kevin; Ehrmann, Oswin; Lang, Klaus-Dieter; Mackowiak, Piotr; Ngo, Ha-Duong
Konferenzbeitrag
2011Deposition rate characteristics for steady state high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) discharges generated with a modulated pulsed power (MPP) generator
Papa, F.; Gerdes, H.; Bandorf, R.; Ehiasarian, A.P.; Kolev, I.; Bräuer, G.; Tietema, R.; Krug, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Vorrichtung zur differenzierten Schichtratenmessung von Neutralteilchen und Ionen, Verfahren sowie Verwendung der Vorrichtung
Bandorf, R.; Papa, F.
Patent