Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Piezoelectric characterization of Sc0.26Al0.74N layers on Si (001) substrates
Sinusía Lozano, M.; Pérez-Campos, A.; Reusch, Markus; Kirste, Lutz; Fuchs, Theo; Zukauskaite, Agne; Chen, Z.; Iriarte, G.F.
Zeitschriftenaufsatz
2016Electro-optical characterization of IC compatible microcantilevers
Pérez-Campos, A.; Iriarte, G.F.; Lebedev, V.; Calle, F.
Zeitschriftenaufsatz
2014PostCMOS compatible sacrificial layers for aluminum nitride microcantilevers
Pérez-Campos, A.; Iriarte, G.F.; Lebedev, V.; Calle, F.
Zeitschriftenaufsatz