Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2018 | Piezoelectric characterization of Sc0.26Al0.74N layers on Si (001) substrates
Sinusía Lozano, M.; Pérez-Campos, A.; Reusch, Markus; Kirste, Lutz; Fuchs, Theo; Zukauskaite, Agne; Chen, Z.; Iriarte, G.F. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2016 | Electro-optical characterization of IC compatible microcantilevers
Pérez-Campos, A.; Iriarte, G.F.; Lebedev, V.; Calle, F. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2014 | PostCMOS compatible sacrificial layers for aluminum nitride microcantilevers
Pérez-Campos, A.; Iriarte, G.F.; Lebedev, V.; Calle, F. | Zeitschriftenaufsatz |