Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019HE-LHC: The High-Energy Large Hadron Collider
Abada, A.; Abbrescia, M.; AbdusSalam, S.S.; Abdyukhanov, I.; Abelleira Fernandez, J.; Abramov, A.; Aburaia, M.; Acar, A.O.; Adzic, P.R.; Agrawal, P.; Aguilar-Saavedra, J.A.; Aguilera-Verdugo, J.J.; Aiba, M.; Aichinger, I.; Aielli, G.; Akay, A.; Akhundov, A.; Aksakal, H.; Albacete, J.L.; Albergo, S.; Alekou, A.; Aleksa, M.; Aleksan, R.; Alemany Fernandez, R.M.; Alexahin, Y.; Alía, R.G.; Alioli, S.; Alipour Tehrani, N.; Allanach, B.C.; Allport, P.P.; Altınlı, M.; Altmannshofer, W.; Ambrosio, G.; Amorim, D.; Amstutz, O.; Anderlini, L.; Andreazza, A.; Andreini, M.; Andriatis, A.; Andris, C.; Andronic, A.; Angelucci, M.; Antinori, F.; Antipov, S.A.; Antonelli, M.; Antonello, M.; Antonioli, P.; Antusch, S.; Anulli, F.; Apolinário, L.; Apollinari, G.; Apollonio, A.; Appelö, D.; Appleby, R.B.; Apyan, A.; Apyan, A.; Arbey, A.; Arbuzov, A.; Arduini, G.; Arı, V.; Arias, S.; Armesto, N.; Arnaldi, R.; Arsenyev, S.A.; Arzeo, M.; Asai, S.; Aslanides, E.; Aßmann, R.W.; Astapovych, D.; Atanasov, M.; Atieh,
Zeitschriftenaufsatz
2019The Implementation of Semiconductor Based Biosensors Into Point of Need Systems for the Automatized Analysis of Complex Samples
Geidel, S.; Morschhauser, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2019Joining two worlds - hybrid integration of silicon based electronics and printed functionalities
Roscher, F.; Thalheim, R.; Seifert, T.; Paul, S.-D.; Zichner, R.; Wiemer, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2019A Novel Indirect Quasi-Static Actuation Concept for 2D MEMS Micromirrors
Kaupmann, P.; Pinter, S.; Franz, J.; Streiter, R.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2019Parameter dependency of DNA origami immobilization at micro- and nano structured CF polymer surfaces on SiO2
Hann, J.; Helke, C.; Lakatos, M.; Heerwig, A.; Nestler, J.; Erben, J.; Reuter, D.; Mertig, M.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2018Active flow control in wind turbines - integration technologies and assessment of economic effects
Schüller, Martin; Lipowski, Mathias; Weigel, Perez; Symmank, Christina; Meynerts, Lilly; Walther, Marco; Dziuba, Franz; Otto, Thomas; Götze, Uwe; Kroll, Lothar
Konferenzbeitrag
2018Aluminum Patterned Electroplating from AlCl3-[EMIm]Cl Ionic Liquid Towards Microsystems Application
Al Farisi, M.S.; Hertel, S.; Wiemer, M.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2018Autonome Kleinbusse im öffentlichen Personennahverkehr
Preuße, Florian
: Vortisch, Peter (Betreuer); Otto, Thomas (Betreuer)
Master Thesis
2018Challenges in transferring quantum dot sensitized solar cells on technical textiles
Heinrich, K.; Martin, J.; Mehlhorn, H.; Langenickel, J.; Selbmann, F.; Hartwig, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Characterisation of MOS transistors as an electromechanical transducer for stress
Hafez, M.; Haas, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Ramsbeck, M.; Schramm, M.; Horstmann, J.-T.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2018Design methodology and results evaluation of a heating functionality in modular lab-on-chip systems
Streit, P.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Graunitz, J.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2018Electrochemical deposition of reactive material systems for assembly and packaging applications
Hertel, Silvia; Schulte, Wiebke; Weiser, Mathias; Becker, Mike; Wiemer, Maik; Otto, Thomas
Konferenzbeitrag
2018Elektrochemische Abscheidung für die Leiterplatte
Hertel, S.; Wuensch, D.; Wiemer, M.; Otto, T.; Friedrich, S.
Konferenzbeitrag
2018Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff
Dittmar, N.; Kuechler, M.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Impedance-controlled design and connection technology for micromounting and hybrid integration of high-frequency and mixed-signal systems with MID technology
Geneiß, V.; Lüke, T.; Hedayat, C.; Wolf, M.; Janek, F.; Meißner, T.; Barth, M.; Eberhardt, W.; Zimmermann, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018An Improved Design for 2D Arrays of Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers: Modeling, Fabrication, and Characterization
Baum, M.; Saeidi, N.; Vogel, K.; Schroeder, T.; Selvam, K.G.M.; Wiemer, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Inkjet printing of patterned nanocarbon absorber layers for pyroelectric infrared detectors
Zeiner, C.; Polomoshnov, M.; Müller, M.; Sowade, E.; Günther, A.; Neumann, N.; Seifert, T.; Blaudeck, T.; Hermann, S.; Baumann, R.R.; Wiemer, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Investigation of aluminum patterned electrodeposition process from AlCl3-[EMIm]Cl ionic liquid for microsystems application
Farisi, M.S.A.; Hertel, S.; Wiemer, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Investigation on the influence of injection molding parameters on high frequency permittivity up to 3 GHz on MID thermoplastics and reliability of permittivity during environmental testing
Wolf, M.; Janek, F.; Meissner, T.; Wigger, B.; Barth, M.; Guenter, T.; Eberhardt, W.; Zimmermann, A.; Geneiss, V.; Lueke, T.; Hedayat, C.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Klebeelement und Ventilanordnung
Morschhauser, Andreas; Nestler, Jörg; Otto, Thomas; Stiehl, Cornelia
Patent
2018Leitprojekt "Go Beyond 4.0". Individualisierte Massenfertigung
Otto, T.
Aufsatz in Buch
2018Nanostructures for smart systems
Martin, J.; Saupe, R.; Langenickel, J.; Moebius, M.; Heinrich, K.; Weiß, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Parylene as a Dielectric Material for Electronic Applications in Space
Selbmann, F.; Baum, M.; Wiemer, M.; Joseph, Y.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Reactive bonding with oxide based reactive multilayers
Vogel, K.; Roscher, F.; Wiemer, M.; Zimmermann, S.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018RFID units for a product based control of industrial production systems
Schmidt, M.; Metz, G.; Hedayat, C.; Otto, T.; Petrov, D.
Konferenzbeitrag
2018The role of plasma analytics in leading-edge semiconductor technologies
Zimmermann, S.; Haase, M.; Lang, N.; Röpcke, J.; Schulz, S.E.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2018Stochastic analyzes and Monte-Carlo simulations of nonlinear and non-ideal mixed-signal phase-locked loops
Schmidt, M.; Hangmann, C.; Hedayat, C.; Hilleringmann, U.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2018Welcome to the 12th Smart Systems Integration
Otto, T.
Konferenzbeitrag
20173D packaging for an implantable hemodynamic control system
Schroeder, T.; Baum, M.; Wuensch, D.; Wiemer, M.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
20173D packaging technologies for smart medical implants
Schröder, Tim; Wünsch, Dirk; Baum, Mario; Hiller, Karla; Wiemer, Maik; Otto, Thomas; Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü; Utz, Alexander; Görtz, Michael
Konferenzbeitrag
2017Challenges of nanostructure-integration in Fabry-Pérot interferometers as alternative to Bragg reflectors: An example for Match 1:1-, eBeam-, and nanoimprint lithography
Helke, C.; Hiller, K.; Erben, J.W.; Reuter, D.; Meinig, M.; Kurth, S.; Nowak, C.; Kleinjans, H.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Design of a 2D MEMS micromirror with indirect static actuation
Kaupmann, P.; Pinter, S.; Franz, J.; Streiter, R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Detection of mechanical loads in lightweight structures using quantum dots photoluminescence
Moebius, M.; Martin, J.; Hartwig, M.; Baumann, R.R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Emerging applications: PICs as a platform for lab on chip devices
Geidel, S.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2017Filling of high aspect ratio (HAR) nanometer-scale silicon trenches by electrochemical deposition of nickel
Hofmann, C.; Kurth, F.; Wiemer, M.; Otto, T.; Hiller, K.
Konferenzbeitrag
2017Go beyond 4.0 - towards digital fabrication based on printing
Willert, A.; Zichner, R.; Thalheim, R.; Baumann, R.R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Implantable hemodynamic controlling system with a highly miniaturized two axis acceleration sensor
Baum, Mario; Wünsch, Dirk; Hiller, Karla; Forke, Roman; Schröder, Tim; Weidlich, Sebastian; Hahn, Susann; Reuter, Danny; Wiemer, Maik; Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü; Görtz, Michael; Otto, Thomas
Konferenzbeitrag
2017Increase of functional density of hybrid structures by integration of micro and nano systems
Schueller, M.; Otto, T.; Mehner, J.; Troeltzsch, J.; Kroll, L.
Konferenzbeitrag
2017Influence of processing atmosphere for QD-LEDs
Langenickel, J.; Weiß, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Investigation on the temperature distribution of integrated heater configurations in a Lab-on-a-Chip system
Streit, P.; Nestler, J.; Schulze, R.; Shaporin, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Investigations on Parylene C for its integrability into MEMS
Selbmann, F.; Baum, M.; Hecker, C.; Roscher, F.; Enderlein, T.; Wiemer, M.; Joseph, Y.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Large-scale fabrication of LP-CVD Si3N4 photonic crystal structures as freestanding reflectors with 1 mm aperture for Fabry-Pérot interferometers
Helke, C.; Hiller, K.; Werner, T.; Reuter, D.; Meinig, M.; Kurth, S.; Nowak, C.; Kleinjans, H.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Material-integrated composite humidity sensors for condition monitoring of fiber-reinforced plastics
Martin, J.; Shetty, K.; Reimann, N.; Neukirchner, S.; Fuegmann, U.; Illing-Günther, H.; Nestler, D.; Huebler, A.C.; Nendel, K.; Kroll, L.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Material-integrated composite humidity sensors for condition monitoring of fiber-reinforced plastics
Martin, J.; Shetty, K.; Reimann, N.; Neukirchner, S.; Fügmann, U.; Illing-Günther, H.; Nestler, D.; Hübler, A.C.; Nendel, K.; Kroll, L.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2017MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
Berner, T.; Schulze, R.; Shaporin, A.; Forke, R.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Multilayer micromechanics process with thick functional layers (EPyC40)
Louriki, L.; Staffeld, P.; Kaelberer, T.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Novel concept of integrated micro actuation of membranes in liquid environments
Stiehl, C.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017A novel gyroscopic actuation concept for 2D MEMS micromirrors
Kaupmann, P.; Pinter, S.; Franz, J.; Streiter, R.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Polypropylene-based melt mixed composites with singlewalled carbon nanotubes for thermoelectric applications: Switching from p-type to n-type by the addition of polyethylene glycol
Luo, J.; Cerretti, G.; Krause, B.; Zhang, L.; Otto, T.; Jenschke, W.; Ullrich, M.; Tremel, W.; Voit, B.; Poetschke, P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Prozess- und Zustandsüberwachung von Leichtbaustrukturen durch Sensorintegration
Rost, F.; Arnold, B.; Decker, R.; Mehner, J.; Kroll, L.; Rzepka, S.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Silicon sacrificial layer technology for the production of 3D MEMS (EPyC process)
Louriki, L.; Staffeld, P.; Kaelberer, T.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Temporary wafer bonding - key technology for MEMS devices
Wuensch, D.; Purwin, L.; Büttner, L.; Martinka, R.; Schubert, I.; Junghans, R.; Baum, M.; Wiemer, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2017Welcome to the 11th Smart Systems Integration
Otto, T.
Konferenzbeitrag
2016Cavity-enhanced mm-wave spectrometer with integrated SiGe front-end for oxygen concentration measurement
Wecker, J.; Kurth, S.; Mangalgiri, G.; Otto, T.; Gessner, T.; Gaitzsch, M.; Bauch, A.; Nasr, I.; Weigel, R.; Kissinger, D.; Hackner, A.; Prechtel, U.
Konferenzbeitrag
2016Integration of an optical ring resonator biosensor into a self-contained microfluidic cartridge with active, single-shot micropumps
Geidel, S.; Peransi Llopis, S.; Rodrigo, M.; Diego-Castilla, G. de; Sousa, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Parro, V.
Zeitschriftenaufsatz
2016Integration of humidity sensors into fibre-reinforced thermoplastic composites
Ebert, F.; Seider, T.; Illing-Günther, H.; Nendel, K.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Nestler, D.; Wagner, G.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Investigation of surface pre-treatment methods for wafer-level Cu-Cu thermo-compression bonding
Tanaka, K.; Wang, W.-S.; Baum, M.; Froemel, J.; Hirano, H.; Tanaka, S.; Wiemer, M.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2016Liquid reagent storage in self-pumping lab-on-a-chip systems for quick assay and biosensor integration
Nestler, J.; Haber, N.; Stiehl, C.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2016Miniaturized vortex-induced vibration energy harvester for low velocity air flow application
Wen, Q.; Schulze, R.; Billep, D.; Otto, T.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2016Optimization of a zinc oxide dispersion for building Quantum Dot Light Emitting Diodes
Langenickel, J.; Weiß, A.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2016Using quantum dot photoluminescence for load detection
Moebius, M.; Martin, J.; Hartwig, M.; Baumann, R.R.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2015Fabrication of micro needle arrays using an ultra short pulse laser
Enderlein, T.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Highly-sensitive humidity sensors for condition monitoring of hybrid laminates
Seider, T.; Martin, J.; Boeddicker, A.; Ruehling, J.; Wett, D.; Nestler, D.J.; Wagner, G.; Huebler, A.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Influence of different hole transport layers on the performance of quantum dot light emitting diodes
Langenickel, J.; Weiß, A.; Martin, J.; Otto, T.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2015Inkjet-printed quantum dot-based sensor for structural health monitoring
Hartwig, M.; Ortlepp, F.; Möbius, M.; Martin, J.; Otto, T.; Geßner, T.; Baumann, R.R.
Konferenzbeitrag
2015Inkjet-printing of conductive components for the manufacturing of a quantum dot based sensor for optical health monitoring
Ortlepp, F.; Hartwig, M.; Moebius, M.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Baumann, R.R.
Konferenzbeitrag
2015Integrated load detection sensor for lightweight structures based on quantum dots
Moebius, M.; Martin, J.; Poppitz, E.A.; Hartwig, M.; Dzhagan, D.; Gordan, O.D.; Lang, H.; Zahn, D.R.T.; Baumann, R.R.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Integration and test of synthetic jet actuators
Schueller, M.; Weigel, P.; Lipowski, M.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Integration of fluidic jet actuators in composite structures
Schueller, M.; Lipowski, M.; Schirmer, E.; Walther, M.; Otto, T.; Geßner, T.; Kroll, L.
Konferenzbeitrag
2015Kombinierte Simulation integrierter mikrofluidischer Aktoren
Schulze, R.; Nestler, J.; Streit, P.; Billep, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2015Life cycle-oriented analysis and evaluation of Active Flow Control in wind turbines
Götze, U.; Symmank, C.; Dressel, M.; Schüller, M.; Schmidt, A.; Lipowski, M.; Geßner, T.; Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2015Mobile communication and control for Smart Microfluidic Systems
Otto, T.; Geidel, S.; Morschhauser, A.; Streiter, R.; Gessner, T.; Heibutzki, B.; Nestler, J.
Konferenzbeitrag
2015Printed functionalities in hybrid laminates
Nestler, D.J.; Jung, H.; Trautmann, M.; Wielage, B.; Wagner, G.; Seider, T.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Ebert, F.; Illing-Guenther, H.; Nendel, K.; Boeddicker, A.; Fuegmann, U.; Huebler, A.
Konferenzbeitrag
2015Pulsed jet actuators and their integration in composite structures
Lipowski, M.; Stiehl, C.; Schueller, M.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Kroll, L.
Konferenzbeitrag
2015Quantum dot-based sensor layer in lightweight structures
Fischer, T.; Heinrich, K.; Spudat, C.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Kroll, L.
Zeitschriftenaufsatz
2015Semiconductor nanocrystals – versatile building blocks for innovative microsystems
Weiss, A.; Heinrich, K.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Langenickel, J.
Konferenzbeitrag
2015Smart systems integration. Short review and further development of smart systems
Gessner, T.; Vogel, M.; Hiller, K.; Otto, T.; Kurth, S.; Nestler, J.; Köhler, T.
Aufsatz in Buch
2015Synthesis and characterization of nanogenerators based on doped zinc oxide
Heinrich, K.; Justeau, C.; Mielke, B.; Martin, J.; Otto, T.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2015System zum Messen einer Axialkraft einer Schraubverbindung
Geßner, Thomas; Otto, Thomas; Halder, Stefan; Hummel, Dieter; Martin, Jörg; Weiss, Martin; Möbius, Martin; Spudat, Christian; Gessner, Thomas; Otto, Thomas
Patent
2015VORRICHTUNGEN ZUR AUSSENDUNG UND/ODER ZUM EMPFANG ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG UND VERFAHREN ZUR BEREITSTELLUNG DERSELBEN
Geßner, Thomas; Otto, Thomas; Schulz, Stefan; Hermann, Sascha; Blaudeck, Thomas; Spudat, Christian
Patent
2015Wake up MEMS for inertial sensors
Stoeckel, C.; Billep, D.; Konietzka, S.; Zimmermann, S.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2014ANAn UPS/IPS Study of Band Level Alignment Of a Quantum Dot Based Sensor
Tofighi, G.; Moebius, M.; Haidu, F.; Martin, J.; Dzhagan, V.M.; Spudat, C.; Otto, T.; Gessner, T.; Gordan, O.D.; Zahn, D.R.T.
Abstract
2014Capillary microfluidic chip with integrated pump and valve actuator
Große, Allyn; Geidel, Sascha; Enderlein, Tom; Groß, Stefan; Morschhauser, Andreas; Nestler, Jörg; Edelmann, Jan; Otto, Thomas; Gessner, Thomas
Poster
2014Capillary microfluidic chip with integrated pump and valve actuator
Große, Allyn; Geidel, Sascha; Enderlein, Tom; Groß, Stefan; Morschhauser, Andreas; Nestler, Jörg; Edelmann, Jan; Otto, Thomas; Geßner, Thomas
Konferenzbeitrag
2014Chemical post-treatment and thermoelectric properties of poly(3,4-ethylenedioxylthiophene):poly(styrenesulfonate) thin films
Luo, J.; Billep, D.; Blaudeck, T.; Sheremet, E.; Rodriguez, R.D.; Zahn, Dietrich R.T.; Toader, M.; Hietschold, M.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2014Development and test of synthetic jet actuators based on dual transducer concept
Schueller, M.; Wiegel, P.; Lipowski, M.; Schulze, R.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Development of Micro-Valves for Pulsed Jet Actuators
Lipowski, M.; Schueller, M.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Dry Integration Strategies of rolled-up Nanostructures by a Combination of Laser and Mems Technologies
Helke, C.; Enderlein, T.; Harazim, S.; Nestler, J.; Otto, T.; Schmidt, O.G.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Integrateable light sources based on semiconductor nanocrystals
Böttger, P.; Meyer, M.; Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Seidlitz, H.; Kroll, L.
Konferenzbeitrag
2014Kombination von Laser- und MEMS Technologieprozessen fuer Integrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen
Helke, C.; Enderlein, T.; Harazim, S.; Nestler, J.; Otto, T.; Schmidt, O.G.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Laser based dry Integration of rolled-up Nanomembranes into Polymer Substrates
Enderlein, T.; Helke, C.; Harazim, S.; Geidel, S.; Nestler, J.; Otto, T.; Schmidt, O.G.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Laser based integration method of rolled-up nano membranes in polymer based LoC systems
Enderlein, T.; Helke, C.; Harazim, S.; Nestler, J.; Schmidt, O.G.; Otto, T.; Gessner, T.
Abstract
2014MEMS based integration of nano scaled architectures manufactured by the rolled-up nanotech method
Helke, C.; Enderlein, T.; Harazim, S.; Nestler, J.; Schmidt, O.G.; Otto, T.; Gessner, T.
Abstract
2014Microfluidic chips for cells capture using 3-D hydrodynamic structure array
Chen, J.; Chen, D.; Yuan, T.; Chen, X.; Zhu, J.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2014Modeling and optimization of a vortex induced vibration fluid kinetic energy harvester
Wen, Q.; Schulze, R.; Billep, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Multifunctional nanomembranes as sensitive optical sensors in compact MEMS devices
Harazim, S.; Bolanos, V.; Helke, C.; Enderlein, T.; Otto, T.; Schmidt, O.G.
Abstract
2014A new generation of MEMS middle-infrared spectrometers
Otto, T.; Saupe, R.; Stock, V.; Seider, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Optimizing quantum dot based sensor device structure by determining the band level alignment for better charge injection: a combined UPS/IPS study
Tofighi, G.; Moebius, M.; Haidu, F.; Gordan, O.D.; Martin, J.; Spudat, C.; Otto, T.; Gessner, T.; Zahn, D.R.T.
Konferenzbeitrag
2014Pulsed Jet Actuator development for the integration in composite structures
Lipowski, M.; Stiehl, C.; Schueller, M.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.; Kroll, L.
Konferenzbeitrag
2014Smart monitoring systems for a green future
Saupe, R.; Stock, V.; Otto, T.; Kurth, S.; Hiller, K.; Meinig, M.; Neumann, N.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2014Structural health monitoring with quantum dots
Moebius, M.; Martin, J.; Poppitz, E.A.; Ueberfuhr, P.; Tofighi, G.; Gordan, O.D.; Dzhagan, V.M.; Lang, H.; Baumann, R.R.; Zahn, D.R.T.; Otto, T.; Gessner, T.; Kroll, L.
Konferenzbeitrag
2013Die angemessene Evidenz für Therapieentscheidungen: eine Diskussion des Methodenpluralismus in klinischen Studien
Radic, D.; Porzsolt, F.; Bausch, J.; Geipel, G.; Huppertz, E.; Mühlbacher, A.; Otto, T.; Schmidt, P.; Ravens-Sieberer, U.; Zimmermann, T.M.; Clouth, J.
Zeitschriftenaufsatz
2013Degree of integration enhancement of membrane actuators in LOCs utilizing laser technology
Geidel, S.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Design, fabrication and characterization of MEMS probe card for fine pitch IC testing
Yuan, T.; Chen, D.; Chen, J.; Fu, H.; Kurth, S.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013Enhancement of the thermoelectric properties of PEDOT:PSS thin films by post-treatment
Luo, J.; Billep, D.; Waechtler, T.; Otto, T.; Toader, M.; Gordan, O.; Sheremet, E.; Martin, J.; Hietschold, M.; Zahn, D.R.T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013Fabrication of subwavelength holes using nanoimprint lithography
Weiss, A.; Besser, J.; Baum, M.; Saupe, R.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Mikrofluidisches System für Agglutinationsuntersuchungen
Morschhauser, A.; Geidel, S.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Optimization of biogas production using MEMS based near infrared inline-sensor
Saupe, R.; Seider, T.; Stock, V.; Kujawski, O.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Picosecond Laser Micromachining in the context of MEMS/NEMS applications
Enderlein, T.; Helke, C.; Hiller, K.; Nestler, J.; Schueller, M.; Geidel, S.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2013Smart systems for a better life
Gessner, T.; Vogel, M.; Nestler, J.; Hiller, K.; Kurth, S.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2013Smart Systems Integration - trends in the field of smart medtech systems
Gessner, T.; Nestler, J.; Vogel, M.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2012Bonding technologies for standard bulk PZT ceramics without the need of after process-polarization especially on thin silicon membranes
Helke, C.; Schueller, M.; Hiller, K.; Schulze, R.; Braeuer, J.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Chip-based optical sensor to determine the arterial oxygen concentration
Möbius, M.; Weiss, A.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Comparison of lumped and finite element modeling for thermoelectric devices
Streit, P.; Schulze, R.; Billep, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Design and manufacturing of micro synthetic jet actuators
Gebauer, C.; Schueller, M.; Hiller, K.; Schulze, R.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Device for storing power supply information of e.g. TV, supplies electrical charge carriers to nanoparticles selectively in regions in specific operating state
Reuter, Danny; Geßner, Thomas; Morschhauser, Andreas; Otto, Thomas; Martin, Jörg; Kießling, Torsten; Piasta, Doreen
Patent
2012Highly-integrated lab-on-chip system for point-of-care multiparameter analysis
Schumacher, Soeren; Nestler, Jörg; Otto, Thomas; Wegener, Michael; Ehrentreich-Förster, Eva; Michel, Dirk; Wunderlich, Kai; Palzer, Silke; Sohn, Kai; Weber, Achim; Burgard, Matthias; Grzesiak, Andrzej; Teichert, Andreas; Brandenburg, Albrecht; Koger, Birgit; Albers, Jörg; Nebling, Eric; Bier, Frank F.
Zeitschriftenaufsatz
2012Laser micromachining and micro hot embossing for highly integrated lab-on-chip systems
Enderlein, T.; Baum, M.; Nestler, J.; Otto, T.; Besser, J.; Wiemer, M.; John, B.; Hänel, J.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Laserbasierter Multilayer-Fügeprozess zur Erzeugung heterogener und druckstabiler mikrofluidischer Systeme
Geidel, S.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012LoC Integrationsstrategien für aufgerollte Sensoren
Harazim, S.; Helke, C.; Enderlein, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Sanchez, S.; Grimm, D.; Otto, T.; Schmidt, O.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Membrane based sample preparation chip
Morschhauser, A.; Stiehl, C.; Große, A.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2012Nanosensor technology based on semiconductor nanocrystals
Martin, J.; Staudinger, U.; Demir, E.; Spudat, C.; Pötschke, P.; Voit, B.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Smart Systems for Different Applications from Fraunhofer ENAS
Vogel, M.; Braeuer, J.; Wiemer, M.; Nestler, J.; Kurth, S.; Otto, T.; Gessner, T.
Aufsatz in Buch
2012Towards integration of silica membrand based DNA extraction on chip
Morschhauser, A.; Stiehl, C.; Geidel, S.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2012Vorrichtung zur Erzeugung einer Strömung
Schüller, Martin; Lipowski, M.; Gebauer, C.; Nestler, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Patent
2011Fabrication of an all-spin-coated CdSe/ZnS quantum dot light-emitting diode
Weiss, A.; Martin, J.; Piasta, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Fabrication of an all-spincoated CdSe/ZnS quantum dot light-emitting diode
Weiss, A.; Martin, J.; Piasta, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011The fluorescence of semiconductor nanocrystals - from basics to nanosensor technology
Martin, J.; Piasta, D.; Weiss, A.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Influence of charges on the photoluminescence of semiconductor nanocrystals
Martin, J.; Piasta, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Materialintegrierte Sensorschicht basierend auf Quantum-Dot Lumineszenz
Martin, J.; Piasta, D.; Kießling, T.; Otto, T.; Geßner, T.; Staudinger, U.; Demir, E.; Pötschke, P.; Voit, B.
Konferenzbeitrag
2011Micromachining of polymers on base of renewable raw materials for microfluidic systems
Otto, T.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Klenert, P.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Model based design of micro actuators for flow control applications
Schueller, M.; Schulze, R.; Zeising, V.; Gebauer, C.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Netzwerkmodellierung von Doppelwandler Synthetic Jet Aktoren. Poster
Schüller, M.; Schulze, R.; Gebauer, C.; Lipowski, M.; Kaulfersch, E.; Nestler, J.; Otto, T.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2011Smart systems
Gessner, T.; Vogel, M.; Otto, T.; Schulz, S.E.; Baumann, R.
Konferenzbeitrag
2010Business units and core competences of Fraunhofer ENAS
Gessner, T.; Vogel, M.; Otto, T.; Schulz, S.E.; Baumann, R.R.
Zeitschriftenaufsatz
2010Challenges of smart system integration
Gessner, T.; Vogel, M.; Hiller, K.; Otto, T.; Bertz, A.; Billep, D.
Konferenzbeitrag
2010Highly-integrated, low-cost in-vitro diagnostic platform for miniaturized assay development
Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Koger, B.; Brandenburg, A.; Wunderlich, K.; Ehrentreich-Förster, E.; Bier, F.F.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2010LEM based design optimization of SJAs
Schueller, M.; Schulze, R.; Billep, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2010MEMS temperature scanner system: Principle, advances and applications
Otto, T.; Saupe, R.; Stock, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2010Micro- and nanotechnologies for smart systems
Otto, T.
Zeitschriftenaufsatz
2010Micro/nano technologies towards smart systems integration
Gessner, T.; Vogel, M.; Kaufmann, C.; Hiller, K.; Kurth, S.; Nestler, J.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2010Mikrofluidvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben
Otto, T.; Nestler, J.; Geßner, T.
Patent
2010Polymer lab-on-chip systems with integrated electrochemical pumps suitable for large-scale fabrication
Nestler, J.; Morschhauser, A.; Hiller, K.; Otto, T.; Bigot, S.; Auerswald, J.; Knapp, H.F.; Gavillet, J.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2010Self-contained microfluidic cartridges for in-vitro diagnostic applications: Recent advances and improvements
Nestler, J.; Otto, T.; Sommer, J.-P.; Michel, B.; Gessner, T.; Bier, F.F.
Konferenzbeitrag
2010Sensitive Feuchtesensoren auf der Basis von Nanokompositen
Martin, J.; Piasta, D.; Hammacher, J.; Wegener, M.; Dittrich, C.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2010Thermoelectric generators based on polymers and nanocomposites
Martin, J.; Schwittlinsky, M.; Piasta, D.; Streit, P.; Billep, D.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2009Ferroelectric P(VDF-TrFE) as a large-scale piezoelectric sensor in a table-tennis racquet
Wegener, M.; Greco, T.; Arlt, K.; Schuberth, R.; Morschhauser, A.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2009Integrated point of care testing system based on low cost polymer biochips
Brandenburg, A.; Curdt, F.; Nestler, J.; Otto, T.; Wunderlich, K.; Michel, D.
Konferenzbeitrag
2009Low-cost in-vitro diagnostic cartridges with integrated sensor, micropumps and reagents
Nestler, J.; Schueller, M.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.; Brandenburg, A.; Michel, D.; Bier, F.F.
Konferenzbeitrag
2009MEMS analyzer for fast determination of mixed gases
Otto, T.; Saupe, R.; Weiß, A.; Stock, V.; Throl, O.; Grählert, W.; Kaskel, S.; Schreck, H.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2009A novel method for the fabrication of deep-submicron structure
Jia, C.; Wiemer, M.; Grunert, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2009Two lithography-based technologies for the fabrication of submicron to deep-submicron structures
Jia, C.; Wiemer, M.; Werner, T.; Otto, T.
Konferenzbeitrag
2008Dual-detector optical MEMS spectrum analyzer: advances, applications, and prospects
Otto, T.; Saupe, R.; Weiss, A.; Stock, V.; Wiesner, K.; Lampe, U.; Fleischer, M.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Fabrication of a low-frequency ultrasonic transducer
Jia, C.; Wiemer, M.; Hiller, K.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Fabrication of magnetic polymer membranes with microfluidic functionality
Morschhauser, A.; Nestler, J.; Baum, M.; Schüller, M.; Jänig, O.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Fuel gas determination using a MEMS gas analyser
Otto, T.; Saupe, R.; Weiss, A.; Throl, O.; Stock, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Highly integrated polymer-based technology platform for in-vitro diagnostics
Otto, Thomas; Nestler, Jörg; Morschhauser, Andreas; Schüller, Martin; Geßner, T.; Krissler, Jan; Ebling, Frank; Wegener, Michael; Grzesiak, Andrzej; Burgard, Matthias; Brandenburg, Albrecht; Sulz, Gerd; Nebling, Eric; Hintsche, Rainer; Wirth, Ingo; Godlinski, Dirk; Tovar, Günter E.M.; Weber, Achim; Ehrentreich-Förster, Eva; Gajovic-Eichelmann, Nenad; Bier, Frank F.
Konferenzbeitrag
2008Low cost valveless magnetic micropumps suitable for array applications
Schüller, M.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Low-cost micro valves based on electrolysis inside hydrogels
Nestler, J.; Hiller, K.; Morschhauser, A.; Schüller, M.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Low-cost, fully integrated liquid handling platform for protein assays
Nestler, J.; Hiller, K.; Morschhauser, A.; Bigot, S.; Griffiths, C.; Auerswald, J.; Gavillet, J.; Nonglaton, G.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008MEMS-based spectroscopic ellipsometry
Saupe, R.; Otto, T.; Gruska, B.; Weiss, A.; Stock, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Micro Actuators based on Structured Water
Nestler, J.; Hiller, K.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2008Micro machining technologies for non silicon materials
Baum, M.; Rota, A.; Salk, N.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Microfluidic cartridge with integrated pumps and liquid position feedback design for running protein assays
Nestler, J.; Enderlein, T.; Hiller, K.; Otto, T.; Gessner, T.; Auerswald, J.; Knapp, H.F.; Griffiths, C.; Bigot, S.
Konferenzbeitrag
2008Mikrofluidische Schnittstellen durch Laserstrukturierung
Baum, M.; Keiper, B.; Hänel, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2008Mikropumpe und Verfahren zum Pumpen eines Fluids
Otto, T.; Schüller, M.; Nestler, J.; Gessner, T.; Baum, M.; Morschhauser, A.
Patent
2008Spectroscopic ellipsometry study of thin diffusion barriers of TaN and Ta for Cu interconnects in integrated circuits
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Vorrichtung und Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche
Otto, T.; Schüller, M.; Nestler, J.; Gessner, T.; Morschhauser, A.
Patent
2008Vorrichtung und Verfahren zur Ermittlung von Informationen über eine in einem Strömungskanal strömende Flüssigkeit
Schüller, M.; Otto, T.; Geßner, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.
Patent
2007Demonstration des Einsatzes flächiger low-cost-Sensoren am Beispiel eines trainingsunterstützenden Tischtennisschlägers
Schuberth, R.; Otto, T.; Schwerdtner, R.; Bach, D.; Wegener, M.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Design and fabrication of a micromechanical vertical resonator
Jia, C.; Wiemer, M.; Kurth, S.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Development and characterization of Cu to Cu bonding technology
Baum, M.; Letsch, H.; Shaporin, A.V.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Electrochemical microfluidic pumps based on super absorbing polymers
Nestler, J.; Morschhauser, A.; Hiller, K.; Bigot, S.; Auerswald, J.; Gavillet, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Flexible taktile Sensorarrays auf Basis verschiedener piezoelektrischer Funktionspolymere
Schwerdtner, R.; Geßner, T.; Schuberth, R.; Bach, D.; Otto, T.; Wagner, M.; Danz, R.; Wegener, M.
Konferenzbeitrag
2007Flexile taktile Sensorarrays auf Basis verschiedener piezoelektrischer Funktionspolymere
Schwerdtner, R.; Otto, T.; Schuberth, R.; Bach, D.; Wegener, M.; Danz, R.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Forensische Untersuchungen mittels MEMS-Spektrometern
Otto, T.; Saupe, R.; Weiss, A.; Stock, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Fully integrated polymer based microfluidic pumps and valves in Lab-on-Chip systems for Point-of-Care use
Nestler, J.; Morschhauser, A.; Hiller, K.; Auerswald, J.; Knapp, H.F.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Integrated polymer multimode waveguides for microfluidic sensing applications
Otto, T.; Nestler, J.; Baum, M.; Schroeder, H.; Ebling, F.; Bruch, R.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Low-Temperature Ti-Si bonding and its application in micro-device fabrication
Jia, C.; Hiller, K.; Wiemer, M.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Mikrospiegelspektrometer für den Nahinfraroten Spektralbereich - Applikationen & Trends
Otto, T.; Saupe, R.; Weiss, A.; Stock, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Mikrostrukturierung von Kunststoffen durch Heißprägen und Laserablation
Baum, M.; Mann, M.; Ebling, F.; Keiper, B.; Haenel, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Miniaturisierung in der instrumentellen Analytik dank Mikrospiegeln
Otto, T.; Saupe, R.; Weiss, A.; Stock, V.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2007Modeling of mass printed organic field effect transistors
Martin, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Packaging aspects of MEMS-based optical systems
Saupe, R.; Otto, T.; Weiss, A.; Stock, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Permanentmagnetische Membranen für mikrofluidische Aktorik
Morschhauser, A.; Nestler, J.; Voigt, S.; Schueller, M.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Polymer Lab-on-Chip systems with integrated electrochemical pumps
Nestler, J.; Morschhauser, A.; Hiller, K.; Otto, T.; Bigot, S.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Small spectrometer with big future
Otto, T.
Abstract
2007Smart Hip Joint Implants
Baum, M.; Schaufuß, J.; Boese-Landgraf, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Verfahren und Vorrichtung zum Abformen von Strukturen
Otto, T.; Froemel, J.; Nestler, J.; Gessner, T.
Patent
2007Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen sowie magnetischer Aktor mit einer derartigen Membran
Otto, T.; Morschhauser, A.; Nestler, J.; Gessner, T.; Voigt, S.
Patent
2006Microfluidic bubble actuators based on hydrogels
Nestler, J.; Hiller, K.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2006Principle and applications of a new MOEMS spectrometer
Otto, T.; Saupe, R.; Weiss, A.; Stock, V.; Bruch, R.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2006Smart Systems Integration - Eine Herausforderung für zukünftige Mikro- und Nanotechnologien
Gessner, T.; Baum, M.; Hiller, K.; Mehner, J.; Wiemer, M.; Otto, T.; Saupe, R.; Nestler, J.
Konferenzbeitrag
2005Fabrication and characterization of a micro-machined ultrasonic transducer
Jia, C.; Wiemer, M.; Zichner, N.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2005Fabrication of embedded micro-channels by intended under-etching and trench filling
Jia, Chenping; Wiemer, M.; Müller, R.; Otto, T.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2005Improved silicon master tools for hot embossing
Baum, M.; Nestler, J.; Rost, D.; Weissmantel, S.; Otto, T.; Reisse, G.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2005Mikrofluidische Vorrichtung fuer die optische Analyse
Otto, T.; Nestler, J.; Baum, M.; Gessner, T.
Patent
2005A novel dual-detector micro spectrometer
Otto, T.; Saupe, R.; Stock, V.; Bruch, R.; Gruska, B.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2005Verschleißmonitoring bei Hüftgelenkendoprothesen durch integrierte Mikrosensorik
Baum, M.; Hientzsch, M.; Boese-Landgraf, J.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2004Electrostatic driven scanning micro mirrors applied in spectral sensing devices
Saupe, R.; Otto, T.; Mehner, J.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Geßner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2004Infrared micro mirror spektrometer for gas analysis
Otto, T.; Saupe, R.; Kaufmann, C.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2004Packaging and characterization of micro-opto-electro-mechanical systems
Saupe, R.; Otto, T.; Stock, V.; Fritzsch, U.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2004Packaging and characterization of miniaturized spectral sensing devices
Otto, T.; Saupe, R.; Stock, V.; Fritzsch, U.; Bruch, R.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2004Potentials for Microsystems in Biotechnology and Healthcare
Nestler, J.; Baum, M.; Otto, T.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Wafer Bonding in Micro Mechanics and Microelectronics
Wiemer, M.; Froemel, J.; Gessner, T.; Otto, T.
Aufsatz in Buch
2003Hot embossing for MEMS using silicon tools
Küchler, M.; Otto, T.; Gessner, T.; Ebling, F.; Schröder, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2003Novel possibilities in physical analytics employing miniaturized devices
Otto, T.; Saupe, R.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2003Polymer BioMEMs with integrated optical and fluidic functionality
Windhorn, K.; Meixner, L.; Drost, S.; Schröder, H.; Kilgus, E.; Scheel, W.; Ebling, F.; Otto, T.; Küchler, M.; Nestler, J.; Geßner, T.
Konferenzbeitrag
2002Development of a microspectrometer for the infrared range
Otto, T.; Saupe, R.; Bruch, R.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2002Occurrence of phthalates and bisphenol A and F in the environment
Fromme, H.; Küchler, T.; Otto, T.; Pilz, K.; Müller, J.; Wenzel, A.
Zeitschriftenaufsatz
2001Closed-form formulae for frequency-dependent 3-D interconnect inductance
Zhu, Z.; Xiao, X.; Streiter, R.; Ruan, G.; Otto, T.; Wolf, H.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2001Einsatz von Niedertemperaturbondverfahren für die Fertigung von Sensoren
Wiemer, M; Otto, T.; Gessner, T.; Hiller, K.; Kapser, K.; Seidel, H.; Bagdahn, J.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2001Implementation of a low temperature wafer bonding process for acceleration sensors
Wiemer, M.; Otto, T.; Gessner, T.; Hiller, K.; Kapser, K.; Seidel, H.; Bagdahn, J.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2001Micro-metalforming with silicon dies
Böhm, J.; Schubert, A.; Otto, T.; Burkhardt, T.
Zeitschriftenaufsatz
2001Übersicht zur Mikrosystemtechnik: Definition, Technologien, Markt und Probleme in 2001
Wiemer, M.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2000Fabrication of micro-optical components by high-precision embossing
Otto, T.; Schubert, A.; Böhm, J.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2000Micro-metalforming with silicon dies
Böhm, J.; Schubert, A.; Otto, T.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2000Modelling and simulation for dielectric constant of aerogel
Xiao, X.; Streiter, R.; Ruan, G.; Song, R.R.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2000Numerical simulation of time delay and cross-talk noise for the interconnect in VLSI circuits
Ruan, G.; Xiao, X.; Song, R.R.; Streiter, R.; Otto, T.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
1999Process and equipment simulation of dry silicon etching in the absence of ion bombardment
Otto, T.; Wolf, H.; Streiter, R.; Dehoff, A.; Wandel, K.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
1999Simulation of dry silicon etching in the absence of ion bombardment
Otto, T.; Hofmann, M.; Wolf, H.; Streiter, R.; Schubert, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag