Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Silicon Front-End Junction Formation - Physics and Technology
: Pichler, P.; Claverie, A.; Lindsay, R.; Orlowski, M.; Windl, W.
Tagungsband
1992Thermally activated dopant diffusion in crystalline silicon at 200 degree C.
Pichler, P.; Orlowski, M.
Zeitschriftenaufsatz