Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Accurate determination of 3D PSF and resist effects in grayscale laser lithography
Onanuga, T.; Kaspar, C.; Sailer, H.; Erdmann, A.
Konferenzbeitrag
2017A physical model for innovative laser direct write lithography
Onanuga, T.; Rumler, M.; Erdmann, A.
Konferenzbeitrag
2017Simulation flow and model verification for laser direct-write lithography
Onanuga, T.; Rumler, M.; Erdmann, A.
Zeitschriftenaufsatz
20163D simulation of light exposure and resist effects in laser direct write lithography
Onanuga, Temitope; Erdmann, Andreas
Konferenzbeitrag
2015Multi-chip integration of lasers and silicon photonics by photonic wire bonding
Billah, M.; Hoose, T.; Onanuga, T.; Lindenmann, N.; Dietrich, P.; Wingert, T.; Goedecke, M.; Hofmann, A.; Troppenz, U.; Möhrle, M.; Sigmund, A.; Freude, W.; Koos, C.
Konferenzbeitrag