Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Investigation of Boron Redistribution during Silicidation in TiSi(2) using Atom Probe Tomography
Wedderhoff, K.; Ogiewa, M.; Shariq, A.; Teichert, S.
Konferenzbeitrag
2011SiGe epitaxy on a 300 mm batch furnace
Naumann, A.; Sundqvist, J.; Ogiewa, M.; Boitier, L.; Czernohorsky, M.; Sienz, S.; Probst, G.; Jongbloed, B.; Beulens, S.; Maes, J.W.; Thomas, S.
Zeitschriftenaufsatz
2011Thermal ALD of Cu via reduction of CuxO films for the advanced metallization in spintronic and ULSI interconnect systems
Mueller, S.; Waechtler, T.; Tuchscherer, A.; Mothes, R.; Gordan, O.; Lehmann, D.; Haidu, F.; Ogiewa, M.; Gerlich, L.; Ding, S.-F.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Lang, H.; Zahn, D.R.T.; Qu, X.-P.
Konferenzbeitrag
2010SWOP - Charge carrier depth profiling of boron doped single crystalline silicon
Philipp, P.; Schmidt, B.; Zier, M.; Ogiewa, M.
Konferenzbeitrag