Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1995Drucksensor und Kraftsensor
Offereins, H.L.; Folkmer, B.; Sandmaier, H.
Patent
1995VORRICHTUNG ZUR MESSUNG MECHANISCHER KRAEFTE UND KRAFTWIRKUNGEN
Sandmaier, H.; Offereins, H.L.; Mayer, G.
Patent
1994Drucksensor
Offereins, H.L.; Sandmaier, H.; Ploechinger, H.
Patent
1993Ventillose Mikropumpe
Richter, A.; Lang, W.; Offereins, H.L.
Patent
1992A simulation tool for mechanical sensor design
Folkmer, B.; Offereins, H.L.; Groth, P.; Pressmar, R.; Lang, W.; Sandmaier, H.; Seidl, A.
Konferenzbeitrag
1992Study of doping dependent p-n junction etch-stop using pulsed electrochemical anodization
Schaber, U.; Offereins, H.L.; Seitz, S.; Gronegger, H.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1991Corner compensation techniques in anisotropic etching of 100-silicon using aqueous KOH
Offereins, H.L.; Kuhl, K.; Lang, W.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1991Methoden zur Herstellung konvexer Ecken beim anisotropen Ätzen von 100-Silicium in wässriger KOH Lösung
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1991Sensor zum Messen einer Kraft und/oder eines Weges
Offereins, H.L.; Sandmaier, H.
Patent
1991Stress free assembly technique for a silicon based pressure sensor
Offereins, H.L.; Folkmer, B.; Steger, U.; Lang, W.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1990Fabrication of convex corners in anisotropic etching of 100-silicon using aqueous KOH
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Meyer, G.K.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1990Fabrication of non-underetched convex corners in anisotropic etching of 100-silicon in aqueous KOH with respect to novel micromechanic elements
Meyer, G.; Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Zeitschriftenaufsatz
1990Methods for the fabrication of convex corners in anisotropic etching of 100-silicon using aqueous KOH
Offereins, H.L.; Kübl, K.; Meyer, G.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1990Novel stress free assembly technique for micromechanical services.
Offereins, H.L.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag