Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Impact of solidification dynamics on crystal properties of silicon molten by a nanosecond laser pulse
Meyer, F.; Büchler, A.; Brand, A.A.; Dasa, M.K.; Nekarda, J.F.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz
2018Improvement of Solar Cell Efficiencies for Ultrashort-Pulse Laser Contact Opening with Ni-Cu Plated Contacts by Optimized LCO-FFO Processing Order
Arya, V.; Gutscher, S.; Kluska, S.; Meyer, F.; Cimiotti, G.; Nekarda, J.; Brand, A.A.
Konferenzbeitrag
2018Simulations on Laser-Phosphorous-Doped Selective Emitters
Weber, J.; Lohmüller, S.; Lohmüller, E.; Wasmer, S.; Nekarda, J.; Brand, A.A.
Konferenzbeitrag
2018Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung eines Halbleiterbauelementes mit zumindest einer Halbleiterschicht
Nekarda, Jan; Rodofili, Andreas
Patent
2018Verfahren zum Anheften einer metallischen Folie an eine Oberfläche eines Halbleitersubstrats und Halbleiterbauelement mit einer metallischen Folie
Graf, Martin; Nekarda, Jan; Preu, Ralf
Patent
2017Easy plating - a simple approach to suppress parasitically metallized areas in front side Ni/Cu plated crystalline Si solar cells
Kluska, S.; Büchler, A.; Bartsch, J.; Grübel, B.; Brand, A.A.; Gutscher, S.; Cimiotti, G.; Nekarda, J.; Glatthaar, M.
Zeitschriftenaufsatz
2017A laser induced forward transfer process for selective boron emitters
Fernandez-Robledo, S.; Nekarda, J.; Büchler, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Laser transfer and firing of NiV seed layer for the metallization of silicon heterojunction solar cells by Cu-plating
Rododfili, A.; Wolke, W.; Kroely, L.; Bivour, M.; Cimiotti, G.; Bartsch, J.; Glatthaar, M.; Nekarda, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Laser-transferred niv-seed for the metallization of silicon heterojunction solar cells by Cu-plating
Rodofili, A.; Wolke, W.; Kroely, L.; Bivour, M.; Cimiotti, G.; Bartsch, J.; Glatthaar, M.; Nekarda, J.
Konferenzbeitrag
2017Metallization of passivating and carrier selective contacts: Status and perspectives at Fraunhofer ISE
Bivour, M.; Bartsch, J.; Clement, F.; Cimiotti, G.; Erath, D.; Feldmann, F.; Fellmeth, T.; Glatthaar, M.; Hermle, M.; Jahn, M.; Kluska, S.; Keding, R.; Lorenz, A.; Lacmago Lontchi, I.-C.; Mack, S.; Moldovan, A.; Nekarda, J.; Pospischil, M.; Rodofili, A.; Rentsch, J.; Steinhauser, B.; Schube, J.; Wolke, W.; Preu, R.; Glunz, S.W.
Konferenzbeitrag
2017Novel plating processes for silicon heterojunction solar cell metallization using a structured seed layer
Glatthaar, M.; Rohit, R.; Rodofili, A.; Snow, Y.J.; Nekarda, J.; Bartsch, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Selective boron emitters using laser-induced forward transfer versus laser doping from borosilicate glass
Fernandez-Robledo, S.; Kluska, S.; Greulich, J.; Nekarda, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Solder interconnection of aluminum foil rear side metallization for passivated emitter and rear solar cells
De Rose, A.; Kraft, A.; Gledhill, S.; Ali, M.T.; Kroyer, T.; Pscherer, C.; Graf, M.; Nekarda, J.; Eitner, U.
Konferenzbeitrag
2017Ultrafast in-line capable regeneration process for preventing light induced degradation of boron-doped p-type Cz-silicon PERC solar cells
Brand, A.; Krauß, K.; Wild, P.; Schörner, S.; Gutscher, S.; Roder, S.; Rein, S.; Nekarda, J.
Konferenzbeitrag
2017Verfahren und Vorrichtung zum Stabilisieren einer photovoltaischen Silizium-Solarzelle
Nekarda, Jan; Brand, Andreas; Rein, Stefan; Krauß, Karin; Fertig, Fabian
Patent
2017Verfahren zur Verschaltung von Solarzellen, die Aluminiumfolie als Rückkontakt aufweisen
Bartsch, Jonas; Glatthaar, Markus; Graf, Martin; Kamp, Mathias; Nagel, Henning; Nekarda, Jan
Patent
2017Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Halbleitersubstrats mittels Laserstrahlung
Nekarda, Jan; Brand, Andreas; Graf, Martin
Patent
2016Fast Regeneration Process to Avoid Light-Induced Degradation in Multicrystalline Silicon Solar Cells
Krauß, K.; Brand, A.; Fertig, F.; Rein, S.; Nekarda, J.
Zeitschriftenaufsatz
2016The influence of nitrogen on laser doping from phosphorous doped a-SiNx layers
Steinhauser, B.; Jäger, U.; Benick, J.; Chong, E.; Lam, J.; Steeman, R.; Rostan, H.; Nekarda, J.; Hermle, M.; Preu, R.; Glunz, S.W.
Zeitschriftenaufsatz
2016Simplified fabrication of n-type Cz-Si HIP-MWT+ solar cells with 20% efficiency using laser structuring
Lohmüller, E.; Werner, S.; Maus, S.; Brand, A.; Jäger, U.; Nekarda, J.; Clement, F.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Status of FolMet Technology: How to Produce PERC Cells More Cheaply than Al-BSF Cells
Nekarda, J.; Graf, M.; John, O.; Nold, S.; Nagel, H.; Eberlein, D.; Kraft, A.; Böhme, R.; Streek, A.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz
2015Comprehensive simulation and acceleration of the foil-metallization laser process
Graf, M.; Nekarda, J.; Lazzarotto Togny, F.; Streek, A.; Böhme, R.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Foil metallization process for PERC solar cells towards industrial feasibility
Graf, M.; Eberlein, D.; Nagel, H.; Nekarda, J.; Böhme, R.; Streek, A.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2015Industrial N-type PERL cells with screen printed front side electrodes approaching 21% efficiency
Jäger, U.; Steinhauser, B.; Benick, J.; Chong, E.; Lam, J.; Steeman, R.; Rostan, H.; Nekarda, J.; Hermle, M.
Konferenzbeitrag
2015Verfahren zum Erzeugen einer metallischen Kontaktierungsstruktur auf einem Halbleitersubstrat
Nekarda, Jan; Graf, Martin
Patent
2014Laserbasiertes Verfahren und Bearbeitungstisch zur lokalen Kontaktierung eines Halbleiterbauelements
Nekarda, Jan; Rodofili, Andreas; Brand, Andreas; Graf, Martin; Preu, Ralf
Patent
2014Laserbasiertes Verfahren und Bearbeitungstisch zur Metallisierung der Rückseite eines Halbleiterbauelements
Hauser, Hubert; Nekarda, Jan; Preu, Ralf; Bläsi, Benedikt
Patent
2014Optimizing process time of laser drilling processes in solar cell manufacturing by coaxial camera control
Jetter, Volker; Gutscher, Simon; Blug, Andreas; Knorz, Annerose; Ahrbeck, Christopher; Nekarda, Jan; Carl, Daniel
Konferenzbeitrag
2014Progress in laser-based foil metallization for industrial PERC solar cells
Graf, M.; Nekarda, J.; Eberlein, D.; Woehrle, N.; Preu, R.; Böhme, R.; Grosse, T.
Konferenzbeitrag
2014Reduction of Picosecond Laser Ablation Threshold and Damage Via Nanosecond Pre-Pulse for Removal of Dielectric Layers on Silicon Solar Cells
Brand, A.; Meyer, F.; Nekarda, J.-F.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz
2014Verfahren zum Erzeugen mindestens eines Dotierkanals in einer Halbleiterschicht und photovoltaische Solarzelle, umfassend mindestens einen Dotierkanal
Nekarda, Jan; Jäger, Ulrich; Robledo, Susana
Patent
2014Verfahren zum zumindest bereichsweisen Einebnen einer Textur einer Halbleiterstruktur
Jäger, Ulrich; Nekarda, Jan
Patent
2014Verfahren zur Ablation einer Schicht
Brand, Andreas; Nekarda, Jan
Patent
2013Laser doping from borosilicate glass for metallization of boron emitters
Fernandez-Robledo, S.; Jäger, U.; Lohmüller, E.; Nekarda, J.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2013Laser-based foil metallization for industrial PERC solar cells
Nekarda, J.; Graf, M.; Rodofili, A.; Preu, R.; Böhme, R.; Sontag, D.
Konferenzbeitrag
2012Erratum: "Comprehensive analytical model for locally contacted rear surface passivated solar cells" [J. Appl. Phys. 108, 124510 (2010)]
Wolf, A.; Biro, D.; Nekarda, J.; Kimmerle, A.; Mack, S.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz
2012HIP-MWT solar cells - pilot-line cell processing and module integration
Drews, A.; Clement, F.; Spribille, A.; Thaidigsmann, B.; Linse, M.; Gutscher, S.; Werner, S.; Reitenbach, V.; Ould Chighali, E.; Wolf, A.; Zimmer, M.; Nekarda, J.; Haedrich, I.; Tranitz, M.; Eitner, U.; Wirth, H.; Wilson, H.R.; Biro, D.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2012Laser based foil rear side metallization for crystalline silicon solar cells
Nekarda, J.; Graf, M.; Rodofili, A.; Wolf, A.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2012Laser doping for high efficiency silicon solar cells
Jäger, U.; Wolf, A.; Steinhauser, B.; Benick, J.; Nekarda, J.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2012Nanosecond laser annealing to decrease the damage of picosecond laser ablation of anti-reflection layers on textured silicon surfaces
Brand, A.; Knorz, A.; Zeidler, R.; Nekarda, J.-F.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2012Passivation of inline wet chemically polished surfaces for industrial PERC devices
Schwab, C.; Wolf, A.; Graf, M.; Nekarda, J.; Kästner, G.; Zimmer, M.; Kühnhold, S.; Hofmann, M.; Biro, D.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Recombination on locally processed wafer surfaces
Saint-Cast, P.; Nekarda, J.; Hofmann, M.; Kuehnhold, S.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2012Selective emitters in passivated emitter and rear silicon solar cells enabling 20% on large area P-type silicon
Jäger, U.; Mack, S.; Wufka, C.; Wolf, A.; Biro, D.; Nekarda, J.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
201120% efficient passivated large-area metal wrap through solar cells on boron-doped Cz silicon
Lohmüller, E.; Thaidigsmann, B.; Pospischil, M.; Jäger, U.; Mack, S.; Specht, J.; Nekarda, J.; Retzlaff, M.; Krieg, A.; Clement, F.; Wolf, A.; Biro, D.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz
2011Paths to Achieve Efficiencies over 20% with MWT Silicon Solar Cells
Clement, F.; Thaidigsmann, B.; Lohmüller, E.; Specht, J.; Jäger, U.; Mack, S.; Pospischil, M.; Spribille, A.; Erath, D.; Nekarda, J.; Hofmann, M.; Wolf, A.; Biro, D.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
201021.1% efficient PERC silicon solar cells on large scale by using inline sputtering for metallization
Reinwand, D.; Specht, J.; Stüwe, D.; Seitz, S.; Nekarda, J.-F.; Biro, D.; Preu, R.; Trassl, R.
Konferenzbeitrag
2010Challenges and advances in back-side metallization
Preu, R.; Wolf, A.; Hofmann, M.; Clement, F.; Nekarda, J.; Rentsch, J.; Biro, D.
Zeitschriftenaufsatz
2010Comparison of different rear contacting approaches for industrial PERC solar cells on MC-SI wafer
Gautero, L.; Kania, D.; Seiffe, J.; Knorz, A.; Specht, J.; Nekarda, J.; Hofmann, M.; Rentsch, J.; Sallese, J.-M.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2010Comparison of three different metallization concepts for LFC cells
Nekarda, J.-F.; Hörteis, M.; Lottspeich, F.; Wolf, A.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2010Comprehensive analytical model for locally contacted rear surface passivated solar cells
Wolf, A.; Biro, D.; Nekarda, J.; Stumpp, S.; Kimmerle, A.; Mack, S.; Preu, R.
Zeitschriftenaufsatz
2010Fundamental reactions during the formation of fired silver contacts and solar cell results
Hörteis, M.; Benick, J.; Nekarda, J.; Richter, A.; Preu, R.; Glunz, S.W.
Konferenzbeitrag
2010Fundamental studies on the front contact formation resulting in a 21% efficiency silicon solar cell with printed rear and front contacts
Hörteis, M.; Benick, J.; Nekarda, J.; Richter, A.; Preu, R.; Glunz, S.W.
Konferenzbeitrag
2010Industrial inline PVD metallization for silicon solar cells with laser fired contacts leading to 21.8% efficiency
Nekarda, J.; Reinwand, D.; Hartmann, P.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2010Inkjet structured EWT silicon solar cells with evaporated aluminum metallization and laser-fired contacts
Fallisch, A.; Stüwe, D.; Neubauer, R.; Wagenmann, D.; Keding, R.; Nekarda, J.; Preu, R.; Biro, D.
Konferenzbeitrag
2010Mehr Licht, mehr Strom
Nekarda, J.-F.
Zeitschriftenaufsatz
2010Pilot processing of 18.6% efficient rear surface passivated silicon solar cells with screen printed front contacts
Wolf, A.; Wotke, E.A.; Mack, S.; Nekarda, J.-F.; Biro, D.; Preu, R.; Schlegel, K.; Weber, T.; Lossen, J.; Böscke, T.; Grohe, A.; Engelhart, P.; Müller, J.W.; Schubert, G.; Plagwitz, H.; Gassenbauer, Y.
Konferenzbeitrag
2010Silicon solar cells using aluminum foil as rear side metallization reaching 21.0 % efficiency
Nekarda, J.-F.; Lottspeich, F.; Wolf, A.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2010Substrathalter für die Oberflächenbehandlung von Substraten und Verwendung des Substrathalters
Reinwand, D.; Hofmann, M.; Trogus, D.; Hartmann, P.; Nekarda, J.
Patent
2009All-screen-printed 120-µM-thin large-area silicon solar cells applying dielectric rear passivation and laser-fired contacts reaching 18% efficiency
Gautero, L.; Hofmann, M.; Rentsch, J.; Lemke, A.; Mack, S.; Seiffe, J.; Nekarda, J.; Biro, D.; Wolf, A.; Bitnar, B.; Sallese, J.M.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2009Industrial PVD metallization for high efficiency crystalline silicon solar cells
Nekarda, J.; Reinwand, D.; Grohe, A.; Hartmann, P.; Preu, R.; Trassl, R.; Wieder, S.
Konferenzbeitrag
2009Industrial sputtering metallization technology for crystalline silicon solar cells
Reinwand, D.; Nekarda, J.; Grohe, A.; Hartmann, P.; Trassl, R.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2009LFC on screen printed aluminium rear side metallization
Nekarda, J.; Stumpp, S.; Gautero, L.; Hörteis, M.; Grohe, A.; Biro, D.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2009Local electronic properties and microstructure of individual laser-fired contacts
Naumann, V.; Hagendorf, C.; Werner, M.; Henke, B.; Schmidt, C.; Nekarda, J.-F.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2009Novel laser technologies for crystalline silicon solar cell production
Grohe, A.; Knorz, A.; Nekarda, J.; Jaeger, U.; Mingirulli, N.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2009Overview on crystalline silicon solar cells using PECVD rear passivation and laser-fired contacts
Hofmann, M.; Saint-Cast, P.; Suwito, D.; Seiffe, J.; Schmidt, C.; Kambor, S.; Gautero, L.; Kohn, N.; Nekarda, J.-F.; Leimenstoll, A.; Wagenmann, D.; Erath, D.; Catoir, J.; Wolke, W.; Janz, S.; Biro, D.; Grohe, A.; Rentsch, J.; Glunz, S.W.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2008Industrial approach for the deposition, through-vias wet opening and firing activation of a backside passivation layer applied on solar cells
Gautero, L.; Rentsch, J.; Weiss, L.; Kohn, N.; Eigner, S.; Zimmer, M.; Specht, J.; Nekarda, J.; Stüwe, D.; Retzlaff, M.; Biro, D.; Sallese, J.-M.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2008Industrial type CZ silicon solar cells with screen-printed fine line front contacts and passivated rear contacted by laser firing
Hofmann, M.; Erath, D.; Bitnar, B.; Gautero, L.; Nekarda, J.; Grohe, A.; Biro, D.; Rentsch, J.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2008Verfahren zur lokalen Kontaktierung und lokalen Dotierung einer Halbleiterschicht
Preu, R.; Grohe, A.; Biro, D.; Rentsch, J.; Hofmann, M.; Wolf, A.; Nekarda, J.
Patent
2007Aluminum foil as back side metallization for LFC cells
Nekarda, J.-F.; Grohe, A.; Schultz, O.; Preu, R.
Konferenzbeitrag
2007Analyzing back contacts of silicon solar cells by Suns-VOC-measurement at high illumination densities
Glunz, S.W.; Nekarda, J.; Mäckel, H.; Cuevas, A.
Konferenzbeitrag
2007Laser processes for the industrial production of high efficiency silicon solar cells
Grohe, A.; Wütherich, T.; Knorz, A.; Nekarda, J.; Mingirulli, N.; Harmel, C.; Preu, R.; Glunz, S.W.
Konferenzbeitrag
2006Verfahren zur Metallisierung von Halbleiterbauelementen und Verwendung
Grohe, A.; Nekarda, J.; Schultz, O.
Patent