Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Optical properties and oxidation resistance of different transition metals for soft X-ray and EUV applications
Müller, R.; Yulin, S.; Naujok, P.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung in Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm und optische Anordnung mit dem Spiegel
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Kaiser, Norbert; Wezyk, Alexander von; Bergmann, Klaus
Patent
2017Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung mit Spannungskompensation und Verfahren zu dessen Herstellung
Kaiser, Norbert; Murray, Kevin; Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy
Patent
2017Thermal stability of B-based multilayer mirrors for next generation lithography
Naujok, P.; Murray, K.; Yulin, S.; Patzig, C.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016AZO/Ag/AZO transparent conductive films: Correlation between the structural, electrical, and optical properties and development of an optical model
Bingel, A.; Stenzel, O.; Naujok, P.; Müller, R.; Shestaeva, S.; Steglich, M.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of the ZnO:Al dispersion on the performance of ZnO:Al/Ag/ZnO:Al transparent electrodes
Bingel, A.; Steglich, M.; Naujok, P.; Müller, R.; Schulz, U.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2016Interface characterization in B-based multilayer mirrors for next generation lithography
Naujok, P.; Yulin, S.; Müller, R.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2015Advanced coatings for next generation lithography
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy A.; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2015La/B4C multilayer mirrors with an additional wavelength suppression
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Bianco, Anna; Mahne, Nicola; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2015Optical characterization of YBa2Cu3O7−δ thin film modified gold nanoparticles
Naujok, P.; Katzer, C.; Schmidl, G.; Jatschka, J.; Fritzsche, W.; Schmidl, F.
Zeitschriftenaufsatz