Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
|---|
| 2013 | High-power-plasma PECVD of SiNx and Al2O3 for industrial solar cell manufacturing
Hofmann, M.; Kohn, N.; Schwarz, F.; Nölker, S.; Kastl, S.; Beckmann, R.; Ferré, R.; Pernau, T.; Trogus, D.; Kühnhold, S.; Saint-Cast, P.; Rentsch, J. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Advanced anti-reflection and passivation layer systems produced by high-power plasma in the new manz PECVD system
Schwarz, F.; Beckmann, R.; Kohn, N.; Nölker, S.; Kastl, S.; Hofmann, M.; Ferré, R.; Pernau, T.; Wanka, H.; Rentsch, J. | Konferenzbeitrag |