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1997 | Verfahren zum Kopieren von Lochmasken Mueller, K.P.; Buchmann, L.M. | Patent |
1990 | Microstructuring of gold on X-ray masks with focused Ga+ ion beams Müller, K.P.; Petzold, H.-C. | Konferenzbeitrag |
1989 | Lochmaske fuer die Verwendung bei ionen- oder elektronenoptischen Verfahren sowie Verfahren zur Herstellung einer solchen Lochmaske Buchmann, L.M.; Csepregi, L.; Mueller, K.P. | Patent |
1989 | Magnetically enhanced reactive ion etching -MERIE- with different field configurations Heinrich, F.; Mader, H.; Müller, K.P. | Zeitschriftenaufsatz |
1989 | Magnetically enhanced reactive ion etching of silicon and silicon dioxide Hoffmann, P.; Mingwen, Y.; Müller, K.P. | Zeitschriftenaufsatz |
1989 | Multi electron beam lithography - fabrication of a control unit Schnakenberg, U.; Wallendszus, V.; Heuberger, A.; Lischke, B.; Benecke, W.; Müller, K.P. | Zeitschriftenaufsatz |
1989 | Simulation of X-ray mask repair by means of FIB-technology Müller, K.P. | Zeitschriftenaufsatz |
1988 | Sub-0.5-mym lithography with a new ion projection lithography machine using silicon open stencil masks Csepregi, L.; Heuberger, A.; Müller, K.P.; Chalupka, A.; Hammel, E.; Löschner, H.; Stengl, G.; Buchmann, L.-M. | Zeitschriftenaufsatz |
1987 | Open silicon stencil masks for demagnifying ion projection Heuberger, A.; Buchmann, L.-M.; Csepregi, L.; Müller, K.P. | Konferenzbeitrag |
1987 | Open stencil masks for ion projection lithography Buchmann, L.-M.; Csepregi, L.; Müller, K.P. | Konferenzbeitrag |
1987 | Redeposition in ion milling Müller, K.P.; Pelka, J. | Zeitschriftenaufsatz |
1987 | Verfahren und Vorrichtung zum Aufsammeln von Wassertropfen aus Nebel- oder bodennahen Wolken Kins, L.; Junkermann, W.; Meixner, F.; Mueller, K.P. | Patent |
1986 | Auswaschen von Spurenstoffen durch Wolken und Niederschlag Kins, L.; Meixner, F.X.; Ehhalt, D.H.; Müller, K.P. | Konferenzbeitrag |
1986 | Development and calibration of a ground-based active collector for cloud- and fogwater Kins, L.; Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Ehhalt, D.H.; Junkermann, W. | Konferenzbeitrag |
1986 | Scavenging of trace substances by clouds and precipitation Kins, L.; Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Ehhalt, D.H.; Slanina, J.; Moels, J.J.; Beltz, N.; Jaeschke, W.; Rumpel, K.J. | Konferenzbeitrag |
1986 | Simulation of focused ion beam milling Mueller, K.P.; Weigmann, U.; Burghause, H. | Konferenzbeitrag |
1986 | Untersuchungen zur trockenen Deposition und Emission von atmosphärischen NO, NO2 und HNO3 an natürlichen Oberflächen Höfken, K.-D.; Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Ehhalt, D.H. | Buch |
1985 | Bestimmung des chemischen Abbaus der Stickoxide in der Atmosphäre Drummond, J.; Ehhalt, D.H.; Hübler, G.; Johnen, F.J.; Khedim, A.; Kins, L.; Meixner, F.X.; Mihelcic, D.; Müller, K.; Perner, D.; Platt, U.; Rudolph, B.; Rudolph, J.; Schubert, B.; Volz, A.; Kessler, C.; Junkermann, W.; Müller, K.P.; Vierkorn-Rudolph, B. | Buch |
1985 | Measurements of gaseous nitric acid and particulate nitrate Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Aheimer, G.; Köfken, K.D. | Aufsatz in Buch |
1984 | E-beam metrology of chromium master masks and masks for x-ray lithography Betz, H.; Heuberger, A.; Bruenger, W.H.; Mueller, K.P. | Zeitschriftenaufsatz |