Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Automated tool for measuring nanotopography of 300 mm wafers at early stages of wafer production
Tröger, B.; Mühlig, A.; Fries, T.; Bauer, S.; Wihr, H.; Riedel, F.; Lewke, D.; Schellenberger, M.
Konferenzbeitrag
2013Full wafer nanotopography analysis on rough surfaces using stitched white light interferometry images
Lewke, D.; Schellenberger, M.; Pfitzner, L.; Fries, T.; Tröger, B.; Muehlig, A.; Riedel, F.; Bauer, S.; Wihr, H.
Konferenzbeitrag