Fraunhofer-Gesellschaft

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2017Close spaced sublimation deposition of CdTe layers with process gas oxygen for thin film solar cells
Krishnakumar, V.; Späth, B.; Drost, C.; Kraft, C.; Siepchen, B.; Delahoy, A.; Tan, X.; Chin, K.; Peng, S.; Hirsch, D.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Morgner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2017Verfahren zum Abscheiden einer CdTe-Schicht auf einem Substrat
Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Hirsch, Daniel; Zywitzki, Olaf; Decker, Ludwig
Patent
2016The impact of oxygen inlet during close-spaced sublimation process on the as-deposited and chlorine treated microstructure of CdTe layers
Hirsch, D.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Morgner, H.; Späth, B.; Siepchen, B.; Drost, C.; Kraft, C.; Krishnakumar, V.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2016New vacuum coating technologies for metal strips and foils
Metzner, Christoph; Heinß, Jens-Peter; Scheffel, Bert; Morgner, Henry
Konferenzbeitrag
2016Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrates innerhalb einer Vakuumammer
Scheffel, Bert; Metzner, Christoph; Morgner, Henry; Händel, Frank; Finkenwirth, Bernd
Patent
2016Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas
Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Decker, Ludwig; Werner, Torsten; Flaske, Henrik
Patent
2015Effect of microstructure on chlorine activation of CdTe thin film solar cells
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Dienel, M.; Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Schwuchow, Eric
Konferenzbeitrag
2014Flexible Cu(In,Ga)Se2 Thin Film Solar Cells for Space Applications - Recent Results from a German Joint Project (PIPV2)
Kaufmann, C.A.; Greiner, D.; Harndt, S.; Klenk, R.; Brunken, S.; Schlatmann, R.; Nichterwitz, M.; Schock, H.-W.; Unold, T.; Zajac, K.; Brunner, S.; Daume, F.; Scheit, C.; Braun, A.; Rahm, A.; Würz, R.; Kessler, F.; Günthner, M.; Pscherer, M.; Ihlow, S.; Motz, G.; Morgner, H.; Schmidt, R.G.; Lambrecht, A.; Grundmann, J.T.; Spietz, P.; Schülke, P.
Konferenzbeitrag
2014Influence of HCl-activation on the performance of low and high temperature grown CdTe solar cells
Schwuchow , Eric; Morgner, Henry; Zywitzki, Olaf; Metzner, Christoph; Modes, Thomas
Konferenzbeitrag
2014Neue, ökologisch nachhaltige Vakuumbeschichtungen auf metallischen Platten und Bändern
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Zywitzki, O.
Zeitschriftenaufsatz
2013Effect of chlorine activation treatment on electron beam induced current signal distribution of cadmium telluride thin film solar cells
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Siepchen, Bastian; Späth, Bettina; Drost, Christian; Krishnakumar, Velappan; Frauenstein, Sven
Zeitschriftenaufsatz
2013Thin film CdTe solar cells by close spaced sublimation: Recent results from pilot line
Siepchen, B.; Drost, C.; Späth, B.; Krishnakumar, V.; Richter, H.; Harr, M.; Bossert, S.; Grimm, M.; Häfner, K.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Morgner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2012Functional and decorative coatings onto metal strips deposited by plasma-activated high-rate electron beam physical vapour deposition (EBPVD)
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Händel, F.
Konferenzbeitrag
2012Influence of different TCO-systems on microstructure and performance of CdTe-solar cells in superstrate configuration
Morgner, H.; Preussner, T.; Häfner, K.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Kopte, T.; Siepchen, S.; Späth, B.; Drost, C.
Konferenzbeitrag
2012Influence of substrate temperature and activation treatment on CdTe solar cells
Morgner, H.; Häfner, K.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Metzner, C.; Siepchen, B.; Drost, C.
Konferenzbeitrag
2012Verfahren zum Abscheiden einer LiPON-Schicht auf einem Substrat
Günther, S.; Fahland, M.; Morgner, H.; Straach, S.; Meyer, B.
Patent
2011Characterization of microstructure and interfaces in cadmium telluride thin film cells
Zywitzki, O.; Modes, T.; Morgner, H.; Siepchen, B.; Späth, B.; Drost, C.; Grimm, M.
Konferenzbeitrag
2011Functional and decorative coatings onto stainless steel sheets and strips deposited by high-rate physical vapour deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Morgner, H.
Konferenzbeitrag
2011Influence of evaporation rate, substrate temperature and process chamber pressure on the microstructure of CdTe layers
Häfner, K.; Morgner, H.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Metzner, C.; Siepchen, B.; Drost, C.; Späth, B.; Grimm, M.
Konferenzbeitrag
2010Hochrateätzverfahren für die PVD-Beschichtung
Händel, F.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Metzner, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Magnetically enhanced hollow cathode - a new plasma source for high-rate deposition processes
Fietzke, F.; Morgner, H.; Günther, S.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Plasma activated high-rate deposition with axial electron beam guns
Metzner, C.; Scheffel, B.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2009Siliconoxid barrier layers for thin film photovoltaic on flexible metal strips produced by high-rate deposition for large area coatings
Händel, F.; Morgner, H.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2009Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials in einer Vakuumkammer
Mattausch, G.; Weiske, D.; Morgner, H.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Zeibe, R.
Patent
2008Electron beam devices for materials processing and analysis
Bluhm, H.; Han, B.; Chmielewski, A.G.; Dobeneck, D. von; Gohs, U.; Gstöttner, J.; Mattausch, G.; Morgner, H.; Reichmann, A.; Röder, O.; Zywitzki, O.; Koops, H.W.P.; Schulz, S.W.; Wenzel, B.
Aufsatz in Buch
2008New developments of plasma activated high-rate electron beam evaporation for large surfaces
Metzner, C.; Morgner, H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.
Konferenzbeitrag
2008Potentials of electron beam technology in photovoltaic applications
Morgner, H.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2008SiO(x)-basierte Barriereschichten für die Dünnschichtphotovoltaik
Händel, F.; Morgner, H.; Metzner, C.; Würz, R.; Eicke, A.
Konferenzbeitrag
2007High rate deposition of nanofunctionalized transparent coatings on metal and glass substrates by hollow cathode arc activated reactive evaporation
Morgner, H.; Metzner, C.; Zywitzki, O.
Zeitschriftenaufsatz
2007Transparent abrasion resistant coatings on plastic and metal substrates
Morgner, H.; Händel, F.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2007Verfahren zum Erzeugen eines Hohlkatoden-Bogenentladungsplasmas und zum Regeln der Aktivierung von Materialdampfpartikeln, die dem Hohlkatoden-Bogenentladungsplasma ausgesetzt werden
Morgner, H.; Metzner, C.; Klose, L.; Scheffel, B.; Händel, F.; Fietzke, F.; Straach, S.
Patent
2006Plasmagestützte Verfahren zur Vorbehandlung metallischer Platten und Bänder
Händel, F.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2006Transparenter Kratzschutz durch plasmaaktivierte Hochratebeschichtung
Morgner, H.; Händel, F.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag, Konferenzbeitrag
2005Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
Morgner, H.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Zywitzki, O.
Konferenzbeitrag
2005Niederdruckplasmen für die Oberflächenveredelung von Stahlband
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2005Transparente und farbige Kratzschutzschichten
Metzner, C.; Morgner, H.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P.
Zeitschriftenaufsatz
2005Vorrichtung und Verfahren zum Zuenden einer Hohlkatodenbogenentladung
Straach, S.; Krug, M.; Morgner, H.; Mattausch, G.
Patent
2005Vorrichtung zum Plasmaaetzen von Bauteilen mit hoher Abtragsrate
Morgner, H.; Metzner, C.
Patent
2005Vorrichtung zum Plasmaaetzen von flaechenbehafteten Objekten mit hoher Abtragsrate
Morgner, H.; Metzner, C.
Patent
2004Einrichtung zur Erzeugung von Plasmen durch Hochfrequenzentladungen
Rank, R.; Morgner, H.; Schiller, N.; Weiske, D.; Schmidt, J.
Patent
2004Transparente und farbige Kratzschutzschichten für Anwendungen im Innen-und Außenbereich
Metzner, C.; Morgner, H.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P.
Konferenzbeitrag
2004Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Bedampfen von konkav geformten Substraten
Morgner, H.; Neumann, M.
Patent
2004Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Hochrate-Bedampfen grossflaechiger Substrate
Morgner, H.; Krug, M.; Mattausch, G.; Scheffel, B.
Patent
2003Verfahren und Einrichtung zur gepulsten Plasmaaktivierung
Morgner, H.; Neumann, M.; Straach, S.; Schiller, N.; Krug, M.
Patent
2002Structure and properties of Al2O3 layers deposited by plasma activated electron beam evaporation
Zywitzki, O.; Goedicke, K.; Morgner, H.
Konferenzbeitrag
2002Verfahren zur plasmaaktivierten Bedampfung, Einrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens sowie Verwendung des Verfahrens
Morgner, H.; Straach, S.; Neumann, M.; Scheffel, B.; Jung, T.
Patent
2001Novel EB evaporation and plasma activation tools for directed vapor deposition
Mattausch, G.; Morgner, H.
Konferenzbeitrag
2001Novel vapor phase processing for high performance coatings
Groves, J.F.; Marciano, Y.; Hass, D.D.; Mattausch, G.; Morgner, H.
Konferenzbeitrag
2001Survey of electron beam technologies at FEP
Mattausch, G.; Morgner, H.; Dähnhardt, J.; Reichmann, A.; Röder, O.; Bartel, R.
Konferenzbeitrag
2001Verfahren und Einrichtung zur ionengestuetzten Hochratebedampfung
Neumann, M.; Morgner, H.; Straach, S.; Krug, M.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung metallisierter Kunststoffolie fuer Kondensatoren
Schiller, N.; Straach, S.; Morgner, H.; Zeissig, G.; Neumann, M.
Patent
2000Abrasion resistant coatings on plastic by PVD high rate deposition
Krug, M.; Morgner, H.; Neumann, F.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2000Comparison of structure and properties of SiOx coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering (PMS) and by hollow cathode activated EB evaporation (HAD)
Zywitzki, O.; Sahm, H.; Krug, M.; Morgner, H.; Neumann, M.
Konferenzbeitrag
2000Einrichtung zum plasmaaktivierten Bedampfen im Vakuum
Morgner, H.; Mattausch, G.; Neumann, M.; Straach, S.; Panzer, S.; Bartel, R.
Patent
2000A novel EB evaporation tool for directed vapor deposition
Mattausch, G.; Morgner, H.; Groves, J.F.; Demuth, J.
Konferenzbeitrag
2000Plasma activation for directed vapor deposition - a new application for hollow cathode arc plasma
Morgner, H.; Mattausch, G.; Groves, J.F.
Konferenzbeitrag
2000PVD coating of plastic webs and sheets with high rates on large areas
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Schiller, N.; Morgner, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2000Verfahren zur Herstellung organisch modifizierter Oxid-, Oxinitrid- oder Nitridschichten durch Vakuumbeschichtung und danach beschichtetes Substrat
Neumann, M.; Schiller, S.; Morgner, H.; Schiller, N.; Straach, S.
Patent
1999Einrichtung zur Erzeugung dichter Plasmen in Vakuumprozessen
Morgner, H.; Neumann, M.; Straach, S.
Patent
1999High speed in-line treatment of plastic webs for vacuum coating
Morgner, H.; Rank, R.; Reschke, J.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
1999SiO2-Beschichtung von Kunststoffoberflächen durch plasmaaktivierte Hochratebedampfung
Neumann, M.; Morgner, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag
1999Transparent oxide coatings on plastic webs for emerging applications
Schiller, N.; Morgner, H.; Fahland, M.; Straach, S.; Räbisch, M.; Charton, C.
Konferenzbeitrag
1999Untersuchungen zur Hochrate-Bedampfung von Kunststoffolien mit Aluminiumoxid
Morgner, H.
Dissertation
1998High rate deposition of thick oxide layers on plastic substrates
Morgner, H.; Neumann, M.; Krug, M.; Straach, S.
Konferenzbeitrag
1998The hollow cathode. A high-performance tool for plasma-activated deposition
Morgner, H.; Neumann, M.; Straach, S.; Krug, M.
Konferenzbeitrag
1998Oxide coating on plastic film
Schiller, N.; Neumann, M.; Morgner, H.; Straach, S.; Krug, M.; Räbisch, M.
Konferenzbeitrag
1997Einrichtung zum Hochrate-Elektronenstrahlbedampfen breiter Substrate
Neumann, M.; Morgner, H.; Schiller, S.
Patent
1997Einrichtung zur plasmaaktivierten Hochratebedampfung
Morgner, H.; Neumann, M.; Schiller, S.; Straach, S.
Patent
1997Highly durable coatings for automotive polycarbonate glazing
Katsamberis, D.; Browall, K.; Iacovangelo, C.; Neumann, M.; Morgner, H.
Konferenzbeitrag
1997Hohlkatodenaktivierte Elektronenstrahlbedampfung für die Oxidbeschichtung von Kunststoffolien
Neumann, M.; Morgner, H.; Straach, S.
Aufsatz in Buch
1997Korrosionsgeschuetztes Metall
Goedicke, K.; Neumann, M.; Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Reschke, J.; Morgner, H.; Schmidt, H.
Patent
1997Verfahren zum plasmaaktivierten Hochgeschwindigkeits-Bedampfen grossflaechiger Substrate
Neumann, M.; Schiller, S.; Morgner, H.; Straach, S.; Schiller, N.
Patent
1996Hollow-cathode activated EB evaporation for oxide coating of plastic films
Neumann, M.; Morgner, H.; Straach, S.
Konferenzbeitrag
1995Reactive aluminium oxide coating of plastic films - possibilities and limitations for high deposition rates
Schiller, S.; Neumann, M.; Morgner, H.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
1995Verfahren und Einrichtung fuer die ionengestuetzte Vakuumbeschichtung
Neumann, M.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Reschke, J.; Morgner, H.; Milde, F.; Fietzke, F.
Patent
1994Al2O3 layers on plastic films ways to get high deposition rates
Schiller, S.; Neumann, M.; Morgner, H.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
1994Oberflaechenvergroesserte Aluminiumfolie fuer Elektrolytkondensatoren und Vakkum-Beschichtungsverfahren zu deren Herstellung
Neumann, M.; Hoetzsch, G.; Morgner, H.; Paul, M.; Weiland, H.
Patent
1994Plasma-activated high-rate evaporation using a low-voltage EB system
Schiller, S.; Hötzsch, G.; Neumann, M.; Morgner, H.; Zywitzki, O.
Konferenzbeitrag
1994Verfahren zum Aufdampfen von SiO < -x-Schichten
Schiller, S.; Neumann, M.; Zeissig, G.; Morgner, H.
Patent
1993Einrichtung zum plasmagestuetzten Elektronenstrahl- Hochratebedampfen
Neumann, M.; Schiller, S.; Morgner, H.
Patent
1993How to produce Al2O3-coatings in plastic films
Schiller, S.; Neumann, M.; Morgner, H.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
1993Progress in high-rate electron beam evaporation of oxides for web coating
Schiller, S.; Neumann, M.; Morgner, H.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag