Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
20193D applicable ALD film for humidity detection
Dogan, Özgü; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2019Hermetical sealing of pressure sensor diaphragms by CVD of Si1-XGeX with minimized cavity deposition
Walk, Christian; Netaev, Alexander; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2019Hermeticity of SI1-XGeX diaphragms for the fabrication of a capacitive post-CMOS pressure sensor
Walk, Christian; Netaev, Alexander; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Seidl, Karsten
Konferenzbeitrag
2018Current controlled CMOS stimulator with programmable pulse pattern for a retina implant
Raffelberg, Pascal; Burkard, Roman; Viga, Reinhard; Mokwa, Wilfried; Walter, Peter; Grabmaier, Anton; Kokozinski, Rainer
Konferenzbeitrag
2018Development of a MEMS technology for the monolithic post-CMOS integration of capacitive pressure sensors
Walk, Christian
: Vogt, Holger (Erstgutachter); Mokwa, Wilfried
Dissertation
2018Development of a post-CMOS compatible nanoporous thin film layer based on Al2O3
Dogan, Özgü; Buschhausen, Andre; Walk, Christian; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Die-level patterning of parylene F by laser-ablation for further processing with ALD functional layers
Dogan, Özgü; Mokwa, Wilfried; Mai, Lukas; Devi, Anjana; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Fabrication and characterization of bending-independent capacitive CMOS pressure sensor stacks
Fischer, Roland; Ditler, Heinrich; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2018Post-CMOS MEMS capacitive pressure sensor: Porous ALD membrane for sacrificial layer release and diaphragm sealing
Walk, Christian; Dogan, Özgü; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2017Design of a CMOS image sensor and stimulation IC for a wide-angle retina implant
Raffelberg, Pascal; Waschkowski, Florian; Viga, Reinhard; Mokwa, Wilfried; Walter, Peter; Kokozinski, Rainer
Konferenzbeitrag
2017DRUGAS: Implantable telemetric system for measuring the portal venous pressure: Assembly aspects
Fischer, Roland; Weidenmüller, Jens; Görtz, Michael; Göttsche, Thorsten; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz
2017Gedünnte kapazitive Silizium-Drucksensoren in flexiblen und dehnbaren extra weichen Substraten für haptische Messungen
Fischer, Roland; Weichsel, Lisa; Mokwa, Wilfried; Görtz, Michael
Konferenzbeitrag
2017Intelligente Implantate. Geringere Abmessungen bei höherer Komplexität und Funktionalität
Mokwa, Wilfried; Görtz, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2017A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
Walk, Christian; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2016Nanomaterial-modified flexible micro-electrode array by electrophoretic deposition of carbon nanotubes
Winkin, Nadine; Gierth, Uta; Mokwa, Wilfried; Schneider, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2016Properties of retinal precursor cells grown on vertically aligned multiwalled carbon nanotubes generated for the modification of retinal implant-embedded microelectrode arrays
Johnen, Sandra; Meißner, Frank; Krug, Mario; Baltz, Thomas; Endler, Ingolf; Mokwa, Wilfried; Walter, Peter M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Technischer Aufbau epiretinaler Netzhautimplantate
Mokwa, Wilfried; Görtz, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2015Telemetriesystem zur nichtinvasiven Glukosemessung in der Tränenflüssigkeit
Fischer, Roland; Hennig, Andreas; Lauko, Jan; Wilson, Christopher; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Konferenzbeitrag
2014Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition
Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Celik, Yusuf; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Kraft, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2014Eine offene Telemetrieplattform für implantierbare Medizintechnik
Wallrodt, M.; Harnack, M.; Görtz, Michael; Fischer, R.; Mokwa, Wilfried; Biela, S.; Pfennig, M.; Schmitz-Rode, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2013Kapazitive integrierte Drucksensoren für ein implantierbares System zur drahtlosen Druckmessung in der Pulmonalarterie
Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Kordas, Norbert; Lerch, Renee G.; Müntjes, Jutta A.; Kraft, Michael; Mokwa, Wilfried
Konferenzbeitrag
2013Ongoing development and first long-term trials of a cardiac output monitoring system in the pulmonary artery (COMPASS)
Pfennig, M.; Cleven, Nina J.; Biela, S.; Urbaszek, Albrecht; Ooyen, A. van; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Schmitz-Rode, Thomas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013State of the art telemetric implantable sensors and their encapsulation
Kraft, Michael; Görtz, Michael; Müntjes, Jutta A.; Mokwa, Wilfried; Cleven, Nina J.; Schmitz-Rode, Thomas
Konferenzbeitrag
2013Studies on thinned flexible integrated capacitive pressure sensors in tactile sensor arrays for the use in robotics and prosthetics
Müntjes, Jutta A.; Häfner, Joachim; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Konferenzbeitrag
2013Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMS Drucksensoren
Görtz, Michael; Betz, Wolfgang; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger; Kraft, Michael
Konferenzbeitrag
2012A novel fully implantable wireless sensor system for monitoring hypertension patients
Cleven, Nina J.; Müntjes, Jutta A.; Fassbender, Holger; Urban, Ute; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Gräfe, Maik; Göttsche, Thorsten; Penzkofer, Tobias; Schmitz-Rode, Thomas; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz
2012Thinned CMOS pressure sensors for tactile sensing in prosthetics
Häfner, Joachim; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Konferenzbeitrag
2011Implantable sensor for continuous pulmonary artery hemodynamic monitoring in heart failure patients (COMPASS)
Urbaszek, Albrecht; Görtz, Michael; Traulsen, Tim; Mokwa, Wilfried; Schmitz-Rode, Thomas
Konferenzbeitrag
2010Entwicklung eines implantierbaren Drucksensors zum kontinuierlichen Monitoring des pulmonalarteriellen Drucks bei Herzinsuffizienzpatienten
Urbaszek, Albrecht; Trieu, Hoc-Khiem; Traulsen, Tim; Mokwa, Wilfried
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
1995A fast liquid flow sensor with thermal isolation by oxide filled tranches
Kersjes, Ralf A.; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz
1994A fully CMOS-compatible infrared sensor fabricated on SIMOX substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, Ralf; Kück, Heinz; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1992Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
1992A miniature single-chip pressure and temperature sensor
Kandler, Michael; Manoli, Yiannakis; Mokwa, Wilfried; Spiegel, Egbert; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz