Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Untersuchungen zur CMOS-kompatiblen Herstellung freistehender, thermokatalytischer Sensorelemente zur Detektion brennbarer Gase
Münchenberger, Finja M.
: Vogt, Holger (Referent); Palzer, Stefan (Koreferent); Dreiner, Stefan (Betreuer); Michel, Marvin D. (Betreuer)
Dissertation
2020Concept for two-dimensional TMDs as functional layer for gas sensing applications
Neubieser, Rahel-Manuela; Knauß, Anna Miriam; Michel, Marvin D.; Weyers, Sascha; Wree, Jan-Lucas; Devi, Anjana
Konferenzbeitrag
2020Development of a scalable nanotube-microbolometer technology
Michel, Marvin D.; Weyers, Sascha; Weiler, Dirk; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Zakizade, Elahe; Hochschulz, Frank; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2020Scalable nanotube-microbolometer technology with pixel pitches from 12 down to 6 µm
Michel, Marvin D.; Weyers, Sascha; Weiler, Dirk; Blaeser, Sebastian; Zakizade, Elahe; Hochschulz, Frank; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2020Untersuchung niederdimensionaler Nanotubekontaktierungen zur Realisierung CMOS-kompatibler Mikrobolometer
Michel, Marvin D.
: Vogt, Holger (Referent); Schmechel, Roland (Koreferent)
Dissertation
2019Mechanical test structures for the determination of normal stress in multilayer freestanding MEMS-membranes
Michel, Marvin D.; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2019Modeling of thermal conductivity for a CMOS-compatible MEMS-ROIC contact by TiN nanotubes
Michel, Marvin D.; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
2018Digital uncooled IRFPAs based on microbolometers with 17 μm and 12μm pixel pitch
Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Stein, Matthias; Michel, Marvin D.; Kuhl, Andreas; Lerch, Renee G.; Petermann, Martin; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Weyers, Sascha; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018High-performance uncooled digital 17 μm QVGA-IRFPA-using microbolometer based on amorphous silicon with massively parallel Sigma-Delta-ADC readout
Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Stein, Matthias; Michel, Marvin D.; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Petermann, Martin; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Weyers, Sascha; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag