Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2010SMARTIEHS - A European project for parallel testing of M(O)EMS
Michael, S.; Gastinger, K.; Kujawinska, M.; Zeitner, U.; Albero, J.; Beer, S.; Moosburger, R.; Pizzi, M.
Konferenzbeitrag
2008Two-dimensional electron gas based actuation of piezoelectric AlGaN/GaN microelectromechanical resonators
Brueckner, K.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Michael, S.; Dadgar, A.; Krost, A.; Cimalla, V.; Ambacher, O.; Stephan, R.; Hein, M.A.
Zeitschriftenaufsatz
2007Determination of dimensional parameters in MEMS components by vibration analyses
Kurth, S.; Mehner, J.; Shaporin, A.V.; Michael, S.; Ebert, M.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2007Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer
Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A.
Konferenzbeitrag
2006Numerical identification of geometric parameters from dynamic measurement of grinded membranes on wafer level
Ebert, M.; Gerbach, R.; Bagdahn, J.; Michael, S.; Hering, S.
Konferenzbeitrag