Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Resiliente Netze mit Funkzugang
Fettweis, Gerhard P.; Franchi, Norman; Bittner, Frank; Dekorsy, Armin; Dillinger, Markus; Dyka, Zoya; Einsiedler, Hans J.; Fitzek, Frank; Frotzscher, Andreas; Glänzer, Martin; Hentschel, Tim; Hofmann, Frank; Hoffmann, Marco; Irmer, Ralf; Janßen, Uwe; Jiru, Josef; Jungnickel, Volker; Knorr, Rudi; Kraemer, Rolf; Kornbichler, Andreas; Kückelhaus, Markus; Langendörfer, Peter; Menges, Georg; Merz, Peter; Meyer, Michael; Mühleisen, Maciej; Müller, Andreas; Oswald, Erik; Ruchhaupt, Lutz; Redana, Simone; Reinartz, Michael; Richter, Klaus; Riedl, Johannes; Schotten, Hans; Schulz, Dirk; Schupke, Dominic; Thümmler, Christoph; Timm-Giel, Andreas; Wiebus, Christian; Willmann, Sarah; Zimmermann, Gerd
Studie
2015Metallic Alloy Seal Bonding
Reinert, W.; Kulkarin, A.; Vuorinen, V.; Merz, P.
Aufsatz in Buch
2010Combined MEMS inertial sensors for IMU applications
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M.
Konferenzbeitrag
2010Metallic alloy seal bonding
Reinert, W.; Merz, P.
Aufsatz in Buch
2009Combined MEMS Inertial Sensors for IMU Applications
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M.
Konferenzbeitrag
2009Kombinierte, ausfallsichere Beschleunigungs- und Drehratensensoren für die Automobilindustrie
Kandler, M.; Merz, P.; Foroutan, A.; Reimer, K.
Konferenzbeitrag
2009MEMS Foundry
Merz, P.; Wagner, B.; Dudde, R.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2009A novel multi pressure wafer level packaging technology
Merz, P.; Reinert, W.; Schwarzelbach, O.; Reimer, K.
Konferenzbeitrag
2008Formal verification of a grid resource allocation protocol
Dalheimer, M.; Pfreundt, F.-J.; Merz, P.
Konferenzbeitrag
2008Verfahren zur Bestimmung der Justagegenauigkeit beim Waferbonden
Merz, P.; Reimer, K.; Lorenz, F.
Patent
2007Deckelwafer, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement mit einem solchen Wafer sowie Loetverfahren zum Verbinden entsprechender Bauelement-Teile
Oldsen, M.; Reinert, W.; Merz, P.
Patent
2007Impact of Si DRIE on vibratory MEMS gyroscope performance
Merz, P.; Pilz, W.; Senger, F.; Reimer, K.; Grouchko, M.; Pandhumpsoporn, T.; Bosch, W.; Cofer, A.; Lassig, S.
Konferenzbeitrag
2007Mikromechanischer Inertialsensor zur Messung von Drehraten
Merz, P.; Weiß, M.
Patent
2007Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einer partiellen Schutzschicht
Merz, P.; Reimer, K.; Senger, F.
Patent
2006Agent-based grid scheduling with Calana
Dalheimer, M.; Pfreundt, F.-J.; Merz, P.
Konferenzbeitrag
2006Angular rate and motion sensing with smart inertial measurement units
Heuberger, A.; Merz, P.; Christ, H.
Konferenzbeitrag
2006Mikromechanische Gehäusung mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung
Merz, P.; Reinert, W.; Oldsen, M.; Schwarzelbach, O.
Patent
2006Moisture resisitant nano liter packages using metallic seal wafer bonding
Reinert, W.; Merz, P.; Schwarzelbach, O.
Konferenzbeitrag
2006Verfahren zum Ueberpruefen der Getter-Gasabsorptionskapazitaet in Kavitaeten von fuer die Mikrosystemtechnik geeigneten Mehrfachbauelementen sowie fuer dieses Verfahren benoetigte Bauteile
Reinert, W.; Merz, P.
Patent
2005In-line critical leak rate testing of vacuum-sealed and backfilled resonating mems devices
Reinert, W.; Kähler, D.; Oldsen, M.; Merz, P.
Konferenzbeitrag
2005PSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensors
Merz, P.; Reinert, W.; Reimer, K.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2005Verfahren zur Strukturierung eines aus glasartigem Material bestehenden Flaechensubstrats
Quenzer, H.; Schulz, A.V.; Wagner, B.; Merz, P.
Patent
2004Sensorchip fuer einen Differenzdrucksensor mit beidseitigem Ueberlastschutz
Lisec, T.; Merz, P.
Patent
2004Verfahren und Vorrichtung zur gezielten Veraenderung der Oberflaechenkontur einer aus Glas oder glasartigem Material bestehenden optischen Linse
Quenzer, H.; Merz, P.; Bott, U.
Patent
2004Verfahren zur Herstellung einzelner Mikrolinsen oder eines Mikrolinsenarrays
Quenzer, H.J.; Merz, P.; Bott, U.
Patent
2004Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptischen Bauelementen aus glasartigen Materialien
Quenzer, H.; Merz, P.; Schulz, A.V.
Patent
2004Verfahren zur Strukturierung eines aus glasartigem Material bestehenden Flaechensubstrats, glasartiges Flaechensubstrat und Verwendung des glasartigen Flaechensubstrats
Quenzer, H.; Schulz, A.V.; Merz, P.
Patent
20033-dimensional micro-structuring for optical applications
Quenzer, H.J.; Reimer, K.; Merz, P.
Zeitschriftenaufsatz
2003Herstellung von mikrostrukturierten Oberflächen in Glas und Polymer durch replikate Verfahrenstechnologien
Merz, P.
Dissertation
2003A novel micromachining technology for structuring borosilicate glass substrates
Merz, P.; Quenzer, H.J.; Bernt, H.; Wagner, B.; Zoberbier, M.
Konferenzbeitrag
2003Three-dimensional micro-structuring for optical applications
Quenzer, H.J.; Reimer, K.; Merz, P.
Konferenzbeitrag
2001Deep electrochemical trench etching with organic hydrofluoric electrolytes
Christophersen, M.; Merz, P.; Quenzer, J.; Carstensen, J.; Föll, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000A new way to silicon microstructuring with electrochemical etching
Christophersen, M.; Merz, P.; Quenzer, J.; Carstensen, J.; Föll, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Progress in gray-tone lithography and replication techniques for different materials
Reimer, K.; Engelke, R.; Hofmann, U.; Merz, P.; Kohlmann van Platen, K.T.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
1998One-level gray-tone design. Mask data preparation and pattern transfer
Reimer, K.; Henke, W.; Hofmann, U.; Merz, P.; Wagner, B.
Aufsatz in Buch
1997Analyse der Prozeßkette Pulverspritzgießen
Merz, P.; Spur, G.
Dissertation
1997Spritzgießen keramischer Bauteile
Spur, G.; Merz, P.
Zeitschriftenaufsatz
1996Einführung Produktionstechnologie
Spur, G.; Merz, P.
Aufsatz in Buch
1996New concepts for the optimization of debinding cycles
Merz, P.
Konferenzbeitrag
1995Binder development for powder injection molding at the example of alumina
Spur, G.; Merz, P.
Zeitschriftenaufsatz