Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017High-radiance LDP source for mask inspection and beam line applications (Conference Presentation)
Teramoto, Y.; Santos, B.; Mertens, G.; Kops, R.; Kops, M.; Wezyk, A. von; Bergmann, K.; Yabuta, H.; Nagano, A.; Ashizawa, N.; Taniguchi, Y.; Yamatani, D.; Shirai, T.; Kasama, K.
Konferenzbeitrag
2016High-radiance LDP source: Clean, reliable, and stable EUV source for mask inspection
Teramoto, Y.; Santos, B.; Mertens, G.; Kops, R.; Kops, M.; Wezyk, A. von; Bergmann, K.; Yabuta, H.; Nagano, A.; Ashizawa, N.; Taniguchi, Y.; Shirai, T.; Nakamura, K.; Aoki, K.; Kasama, K.
Konferenzbeitrag
2016Sn-fueled high-brightness compact EUV light source
Teramoto, Y.; Santos, B.; Mertens, G.; Kops, R.; Kops, M.; Wezyk, A. von; Bergmann, K.; Yabuta, H.; Nagano, A.; Ashizawa, N.; Taniguchi, Y.; Shirai, T.; Kasama, K.
Konferenzbeitrag
2015High-radiance LDP source for mask-inspection application
Teramoto, Y.; Santos, B.; Mertens, G.; Kops, R.; Kops, M.; Wezyk, A. von; Yabuta, H.; Nagano, A.; Shirai, T.; Ashizawa, N.; Nakamura, K.; Kasama, K.
Konferenzbeitrag
2014High-radiance LDP source for mask inspection application
Teramoto, Y.; Santos, B.; Mertens, G.; Kops, R.; Kops, M.; Küpper, F.; Niimi, G.; Yabuta, H.; Nagano, A.; Yokoyama, T.; Yoshioka, M.; Shirai, T.; Ashizawa, N.; Sato, H.; Nakamura, K.; Kasama, K.
Konferenzbeitrag