Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004High-throughput EUV reflectometer for EUV mask blanks
Lebert, R.; Wies, C.; Juschkin, L.; Jägle, B.; Meisen, M.; Aschke, L.; Sobel, F.; Seitz, H.; Scholze, F.; Ulm, G.; Walter, K.; Neff, W.; Bergmann, K.; Biel, W.
Konferenzbeitrag
2004Status of EUV-lamp development and demonstration of applications
Lebert, R.; Wies, C.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Bieberle, U.; Meisen, M.; Neff, W.; Bergmann, K.; Walter, K.; Rosier, O.; Schuermann, M.C.; Missalla, T.
Konferenzbeitrag