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| 2012 | Fabry-Perot tunable infrared filter based on structured reflectors
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Seifert, M.; Ebermann, M.; Specht, H.; Meinig, M.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Spektral abstimmbare IR-Sensoren für die industrielle Prozessmesstechnik und die medizinische Gasanalyse
Ebermann, M.; Neumann, N.; Hiller, K.; Meinig, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2012 | Tunable Fabry-Pérot Interferometers for Infrared Spectroscopy
Kurth, S.; Hiller, K.; Meinig, M.; Gessner, T. | Aufsatz in Buch |
| 2011 | Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Leidich, S.; Meinig, M.; Kurth, S.; Gessner, T.; Grosser, V.; Braunschweig, M.; Krumm, R. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Dual-band MEMS Fabry-Pérot filter with two movable reflectors for mid- and long-wave infrared microspectrometers
Meinig, M.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Neuartiger frequenz- und amplitudenabstimmbarer Infrarotfilter
Specht, H.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Gittler, E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Tiny MID- and long-wave infrared spectrometer module with a MEMS dual-band Fabry-Pérot filter
Ebermann, M.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gittler, E.; Neumann, N. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Tunable micromachined Fabry-Pérot Filters for infrared spectroscopy: Current state and prospects
Ebermann, M.; Neumann, N.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gittler, E. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Tunable mid-infrared filter based on Fabry-Perot interferometer with two movable reflectors
Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Ebermann, M.; Gittler, E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Entwurf und Technologie eines Dualband Fabry-Pérot-Filters für den mittleren Infrarotbereich mit zwei beweglichen Reflektoren
Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Gittler, E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Miniaturisiertes Spektrometermodul für den mittleren und langwelligen Infrarotbereich mit mikromechanischem Dual-Band Fabry-Pérot Filter
Ebermann, M.; Neumann, N.; Hoppe, S.; Hiller, K.; Gittler, E.; Meinig, M.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Recent advances in expanding the spectral range of MEMS Fabry-Pérot filters
Ebermann, M.; Neumann, N.; Hiller, K.; Gittler, E.; Meinig, M.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Uncooled IR sensors with tunable MEMS Fabry-Pérot filters for the long-wave infrared range
Neumann, N.; Ebermann, M.; Gittler, E.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Exploring microsystems - measurement and test in fabrication and R&D
Kurth, S.; Faust, W.; Specht, H.; Meinig, M.; Fernholz, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Resonant mode detection for fast determination of structural and material parameters of MEMS
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Bauer, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Time efficient test method for dimensional parameter determination based on resonant mode detection
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Giessmann, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |