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| 2011 | Crack propagation in micro-chevron-test samples of direct bonded silicon-silicon wafers
Vogel, K.; Wuensch, D.; Shaporin, A.; Mehner, J.; Billep, D.; Wiemer, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Gütebestimmung von MEMS-Strukturen im Zeitbereich mittels Laser Doppler Vibrometer und einem Logarithmierer
Voigt, S.; Tenholte, D.; Franke, D.; Reuter, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Novel test structures for characterization of microsystems parameters at wafer level
Shaporin, A.; Streit, P.; Specht, H.; Mehner, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.E.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Fabrication and characterization of a force coupled sensor-actuator system for adjustable resonant low frequency vibration detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Doetzel, W.; Mehner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Technology dependent design and characterization of silicon vibration sensors with linear tunable band selectivity
Shaporin, A.; Forke, R.; Dienel, M.; Naumann, M.; Scheibner, D.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators
Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Adjustable Force Coupled Sensor-Actuator System for Low Frequency Resonant Vibration Detection
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Application of higher order derivatives method to parametric simulation of MEMS
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Gessner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Determination of dimensional parameters in MEMS components by vibration analyses
Kurth, S.; Mehner, J.; Shaporin, A.V.; Michael, S.; Ebert, M.; Gessner, T. | Korrigendum |
| 2007 | enversys - Towards a Competence Center for Advanced Engineering and Verification Techniques for Heterogeneous Systems
Specht, H.; Mehner, J.; Otto-Adamczak, T.; Cristiano, D.; Winkler, T.; Neugebauer, R.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag, Abstract |
| 2007 | Laser Trimming of MEMS
Bleul, K.; Bonitz, J.; Haenel, J.; Kaufmann, C.; Keiper, B.; Mehner, J.; Petsch, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Laser-Display-System auf Basis von MEMS-Scannern
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | MEMS Characterization Technique Based on Special Designed Test-Structures
Shaporin, A.; Forke, R.; Doetzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Performance and reliability test of MEMS optical scanners
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern
Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Test-Structure based MEMS Characterization Technique
Shaporin, A.V.; Hanf M.; Forke, R.; Mehner, J.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Micromachined force coupled sensor actuator system for frequency selective vibration monitoring
Forke, R.; Scheibner, D.; Mehner, J.; Geßner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Parametric finite element analysis for reduced order modeling of MEMS
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.E.; Gessner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Parametric simulation of MEMS based on automatic differentiation of finite element codes
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Gessner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Smart Systems Integration - Eine Herausforderung für zukünftige Mikro- und Nanotechnologien
Gessner, T.; Baum, M.; Hiller, K.; Mehner, J.; Wiemer, M.; Otto, T.; Saupe, R.; Nestler, J. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | A tunable resonant vibration measurement unit based on a micromachined force coupled sensor-actuator system
Mehner, J.; Gessner, T.; Forke, R.; Scheibner, D.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Analyzing and simulation of MEMS in VHDL-AMS based on reduced order FE-models
Schlegel, M.; Bennini, F.; Mehner, J.; Herrmann, G.; Mueller, D.; Dötzel, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Finite element based reduced order modeling for micro electro mechanical systems (MEMS)
Mehner, J.; Kolchuzhin, V.; Schaporin, A.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Geometrically parameterized finite element model of a silicon strain gauge
Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Mikromechanisches gekoppeltes Schwingsystem für frequenzselektive Vibrationsmessungen
Forke, R.; Mehner, J.; Doetzel, W.; Geßner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Model building, control design and practical implementation of a high precision, high dynamical MEMS acceleration sensor
Wolfram, H.; Schmiedel, R.; Hiller, K.; Aurich, T.; Günther, W.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A novel 24-kHz resonant scanner for high-resolution laser display
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Novel modeling techniques of MEMS sensors and actuators for electronic and system design in automotive applications
Mehner, J.E.; Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Doetzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Parametric model extraction for MEMS based on variational finite element techniques
Mehner, J.E.; Schaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Doetzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende Laserdisplays
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A spectral vibration detection system based on tunable micromechanical resonators
Scheibner, D.; Mehner, J.; Reuter, D.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Variational finite element technologies for parametric model
Mehner, J.; Schaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Advanced Technologies for Microsystems Design
Mehner, J.; Dötzel, W.; Geßner, T. | Aufsatz in Buch |
| 2004 | Characterization and self-test of electrostatically tunable resonators for frequency selective vibration measurements
Scheibner, D.; Mehner, J.; Reuter, D.; Kotarsky, U.; Geßner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Electrostatic driven scanning micro mirrors applied in spectral sensing devices
Saupe, R.; Otto, T.; Mehner, J.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Geßner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | A novel microactuator based on the working principle of a step-by-step switchgear
Schröter, B.; Mehner, J.; Hiller, K.; Geßner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Sensor-actuator-arrays for dynamic atomic force microscopy and their application in temporary MESFET devices
Müller, A.-D.; Müller, F.; Mehner, J.; Geßner, T.; Hietschold, M. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Reduced order of fluid structural interactions in MEMS based on modal projection techniques
Mehner, J.; Dötzel, W.; Schauwecker, B.; Ostergard, D. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Abstimmbare Siliziumsensoren zur Vibrationsanalyse mit elektromagnetischer Selbsttest-Funktionalität
Scheibner, D.; Mehner, J.; Brämer, B.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Micromachined pressure gauge for the vacuum range based on damping of a resonator
Kurth, S.; Hiller, K.; Zichner, N.; Mehner, J.; Iwert, T.; Biehl, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | A resonance method for the determination of Young's modulus and residual stress of thin microstructures
Mehner, J.; Kehr, K.; Schröter, B.; Kaufmann, C.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik
Wibbeler, J.; Steiniger, C.; Wolf, K.; Symanzik, H.; Dötzel, W.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Analogously working micromirror arrays
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Investigation of heat transfer in micromirrors
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse
Wibbeler, J.; Küchler, M.; Steiniger, C.; Bertz, A.; Wolf, K.; Mehner, J.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Synchronously working micromirrors for beam steering
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Application of indentation testing devices for determination of elastic properties of micromechanical components
Petzold, M.; Heinzelmann, M.; Billep, D.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |