Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003Qualifizierungshandbuch
Burgard, M.; LeNagard, M.; Matuscheck, P.; Stock, A.
Bericht
2002A field mill based on the modular MEMs framework Match-X
Matuscheck, P.; Evers, J.; Schäfer, W.; Nienhaus, M.; Kleen, S.
Konferenzbeitrag
2002Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
2001Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
2000ESD - ein Baustein der Kontaminationskontrolle
Matuscheck, P.
Zeitschriftenaufsatz
2000ESD - the contribution to contamination control
Matuscheck, P.
Zeitschriftenaufsatz
2000Fertigungsautomatisierung für die Direktmontage
Sturm, R.; Matuscheck, P.; Frauenhoffer, F.; Schäfer, W.; Schilde, B.; Lang, K.-D.
Konferenzbeitrag
2000Medien in der Reinstproduktion - Reinstflüssigkeiten
Ernst, C.; Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
2000Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
1999Angepasste Reinheitstechnik in der Elektronikfertigung
Matuscheck, P.; Gaugel, T.; Schließer, J.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1999Kennzeichnung und Identifikation von Mikrosystemen
Matuscheck, P.; Stock, A.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1999Meßtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung
Ernst, C.; Matuscheck, P.; Naffin, F.
Zeitschriftenaufsatz
1999Partikelmessung in Druckgasen (Versuch 6)
Matuscheck, P.; Werner, D.
Konferenzbeitrag
1999Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
1999Qualifizierung von Betriebsmitteln für die Sauber- und Reinstfertigung
Gommel, U.; Matuscheck, P.; Ernst, C.; Schließer, J.
Zeitschriftenaufsatz
1999The Quality Chain for (U)HP Media and Joint Media in its Meaning
Dorner, J.; Matuscheck, P.; Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1998New Concepts for Electronic Manufacturing Facilities by Using Semiconductor Equipment Standards and Models
Gramann, U.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Matuscheck, P.; Suntrup, M.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1997Modularized Microelectromechanical Devices as Key Components for Advanced Intelligent Autonomous Sensors and Control Systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Matuscheck, P.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag