Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Aging in Ferroelectric Si-Doped Hafnium Oxide Thin Films
Mart, C.; Kohlenbach, N.-D.; Kühnel, K.; Eßlinger, S.; Czernohorsky, M.; Ali, T.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Doping concentration dependent piezoelectric behavior of Si:HfO2 thin-films
Kirbach, S.; Lederer, M.; Eßlinger, S.; Mart, C.; Czernohorsky, M.; Weinreich, W.; Wallmersperger, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021Enhanced pyroelectric response at morphotropic and field-induced phase transitions in ferroelectric hafnium oxide thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021On the Origin of Wake-Up and Antiferroelectric-Like Behavior in Ferroelectric Hafnium Oxide
Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Abdulazhanov, S.; Kämpfe, T.; Kirbach, S.; Mart, C.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2021Tunability of Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide for Varactor Applications
Abdulazhanov, S.; Lederer, M.; Lehninger, D.; Mart, C.; Ali, T.; Wang, D.; Olivo, R.; Emara, J.; Kampfe, T.; Gerlach, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Antiferroelectric Si:HfO2 for High Energy Storage using 3D MIM Capacitors
Viegas, A.; Mart, C.; Czernohorsky, M.
Konferenzbeitrag
2020Back-End-of-Line Compatible Low-Temperature Furnace Anneal for Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide Formation
Lehninger, D.; Olivo, R.; Ali, T.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mart, C.; Biedermann, K.; Kühnel, K.; Roy, L.; Kalkani, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2020Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements
Kirbach, Sven; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Haufe, Nora
Patent
2020The electrocaloric effect in doped hafnium oxide: Comparison of direct and indirect measurements
Mart, C.; Kämpfe, T.; Czernohorsky, M.; Eßlinger, S.; Kolodinski, S.; Wiatr, M.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020Energy harvesting in the back-end of line with CMOS compatible ferroelectric hafnium oxide
Mart, C.; Abdulazhanov, S.; Czernohorsky, M.; Kämpfe, T.; Lehninger, D.; Falidas, K.; Eßlinger, S.; Kühnel, K.; Oehler, S.; Rudolph, M.; Wiatr, M.; Kolodinski, S.; Seidel, R.; Weinreich, W.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Impact of Ferroelectric Wakeup on Reliability of Laminate based Si-doped Hafnium Oxide (HSO) FeFET Memory Cells
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mertens, K.; Müller, F.; Lederer, M.; Hoffmann, R.; Mart, C.; Kalkani, M.N.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Houdt, J. van; Seidel, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Piezoelectric Response of Polycrystalline Silicon-Doped Hafnium Oxide Thin Films Determined by Rapid Temperature Cycles
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Hoffmann, Raik; Eßlinger, Sophia; Kirbach, Sven; Kühnel, Kati; Czernohorsky, Malte; Eng, Lukas M.; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2020Pyroelectric CMOS Compatible Sensor Element Based on Hafnium Oxide Thin Films
Mart, C.; Viegas, A.; Eßlinger, S.; Czernohorsky, M.; Weinreich, W.; Mutschall, D.; Kaiser, A.; Neumann, N.; Großmann, T.; Hiller, K.; Eng, L.M.
Konferenzbeitrag
2020Quantifying non-centrosymmetric orthorhombic phase fraction in 10 nm ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 films
Mukundan, V.; Consiglio, S.; Triyoso, D.H.; Tapily, K.; Schujman, S.; Mart, C.; Kämpfe, T.; Weinreich, W.; Jordan-Sweet, J.; Clark, R.D.; Leusink, G.J.; Diebold, A.C.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: Pyroelectricity and Reliability
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lehninger, D.; Olivo, R.; Lederer, M.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020A Study on the Temperature-Dependent Operation of Fluorite-Structure-Based Ferroelectric HfO2 Memory FeFET: A Temperature-Modulated Operation
Ali, T.; Kühnel, K.; Czernohorsky, M.; Mart, C.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Lederer, M.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Müller, F.; Hoffmann, R.; Metzger, J.; Binder, R.; Steinke, P.; Kämpfe, T.; Müller, J.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelemente
Czernohorsky, Malte; Weder, Andreas; Mart, Clemens; Falidas, K.; Kühnel, K.; Viegas, A.E.; Holland, H.-J.; Weinreich, W.
Konferenzbeitrag
2019Doping hafnium oxide by in-situ precursor mixing
Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, Malte
Vortrag
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Pätzold, B.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Müller, J.; Weinreich, W.
Vortrag
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Müller, Johannes; Pätzold, Björn; Rudolph, Matthias; Czernohorsky, Malte; Weinreich, Wenke
Vortrag
2019Ferroelectric and pyroelectric properties of polycrystalline La-doped HfO2 thin films
Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates
Kühnel, Kati; Czernohorsky, M.; Riedel, Steffen; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Local crystallographic phase detection and texture mapping in ferroelectric Zr doped HfO2 films by transmission-EBSD
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Olivo, R.; Lehninger, D.; Mart, C.; Kirbach, S.; Ali, T.; Polakowski, P.; Roy, L.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2019Pyroelectric Energy Conversion in Doped Hafnium Oxide (HfO2) Thin Films on Area-Enhanced Substrates
Hanrahan, Brendan; Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, M.; Weinreich, Wenke; Smith, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Sensoranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung
Mart, Clemens; Polakowski, Patrick; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Patent
2019ToF-SIMS 3D Analysis of Thin Films Deposited in High Aspect Ratio Structures via Atomic Layer Deposition and Chemical Vapor Deposition
Kia, A.M.; Haufe, N.; Esmaeili, S.; Mart, C.; Utriainen, M.; Puurunen, R.L.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
20183D Analysis of Thin Layers by ToF-SIMS
Mohammadian Kia, Alireza; Esmaeili, Sajjad; Mart, Clemens; Utriainen, Mikko; Haufe, Nora; Puurunen, Riikka L.; Weinreich, Wenke
Poster
2018CMOS compatible pyroelectric applications enabled by doped HfO2 films on deep-trench structures
Mart, Clemens; Weinreich, Wenke; Czernohorsky, Malte; Riedel, Stefan; Zybell, Sabine; Kühnel, Kati
Konferenzbeitrag
2018Frequency domain analysis of pyroelectric response in silicon-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Czernohorsky, Malte; Zybell, Sabine; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Layer thickness scaling and wake-up effect of pyroelectric response in Si-doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Reliable high-density energy storage in Si-doped HfO2 thin films on 3D-structures
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Vortrag
2018Wake-up effect of pyroelectric response in doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Abstract
2017Capacitance maximization of ultra-thin Si-capacitors by atomic layer deposition of anti-ferroelectric HfO2 in high aspect ratio structures
Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Müller, Johannes
Vortrag
2017Enhanced reliability and capacitance stability of ZrO2-based decoupling capacitors by interface doping with Al2O3
Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Riedel, Stefan; Czernohorsky, Malte; Seidel, Konrad; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2017Erhöhung der Zuverlässigkeit von High-k Dielektrika für integrierte hochkapazitive Kondensatoren
Mart, Clemens
: Weber, Jörg (Gutachter); Lakner, Hubert (Gutachter); Weinreich, Wenke (Betreuer)
Master Thesis