Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Strained silicon on wafer level by waferbonding: Materials processing, strain measurements and strain relaxation
Reiche, M.; Moutanabbir, O.; Himcinschi, C.; Christiansen, S.; Erfurth, W.; Gösele, U.; Mantl, S.; Buca, D.; Zhao, Q.; Loo, R.; Nguyen, D.; Muster, F.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2007Roughness improvement of the COSi2/Si-interface for an application as buried silicide
Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Höhnemann, H.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Coherent acoustic phonons in nanostructures investigated by asynchronous optical sampling
Dekorsy, T.; Hudert, F.; Cerna, R.; Schäfer, H.; Janke, C.; Bartels, A.; Köhler, K.; Braun, S.; Wiemer, M.; Mantl, S.
Konferenzbeitrag
2006Different approaches to integrate patterned buried CoSi2 layers in SOI substrates
Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Höhnemann, H.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Thermal stability of CoSi2 layers implemented in a silicon-on-insulator substrate
Zhao, Q.T.; Bay, H.L.; Zimmermann, S.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Trui, B.; Höhnemann, H.; Dudek, V.; Mantl, S.
Zeitschriftenaufsatz
2005Fabrication and characterization of buried silicide layers on SOI substrates for BICMOS-applications
Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Trui, B.; Wiemer, M.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2005Fabrication of SOI substrates with buried silicide layers for BiCMOS applications
Wiemer, M.; Zimmermann, S.; Zhao, Q.T.; Trui, B.; Kaufmann, C.; Mantl, S.; Dudek, V.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag