Fraunhofer-Gesellschaft

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2013Comparative measurements on atomic layer deposited Al2O3 thin films using ex situ table top and mapping ellipsometry, as well as X-ray and VUV reflectometry
Petrik, P.; Gumprecht, T.; Nutsch, A.; Roeder, G.; Lemberger, M.; Juhasz, G.; Polgar, O.; Major, C.; Kozma, P.; Janosov, M.; Fodor, B.; Agocs, E.; Fried, M.
Zeitschriftenaufsatz
2011Expanded beam (macro-imaging) ellipsometry
Fried, M.; Juhasz, G.; Major, C.; Petrik, P.; Polgar, O.; Horvath, Z.; Nutsch, A.
Konferenzbeitrag