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| 2008 | Hard and soft magnetic materials for electromagnetic microactuators
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Multifunctional parts by functionalisation solutions: How to integrate intelligence in rapid parts
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Biehl, S.; Diehl, W. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Smart coatings for intelligent surfaces
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Doering, L.; Limmer, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Hart- und weichmagnetische Materialien für elektromagnetische Mikroaktoren
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | High rate deposition of magnetic material by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Lüthje, H.; Jung, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Longitudinal and transversal piezoresistive effect in hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Mechanical and piezoresistive properties of diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Piezoresistive effect in amorphous carbon thin films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Smart coatings - materials, deposition, and applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Biehl, S.; Sick, J.-H.; Ortner, K.; Jung, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Verschleissresistenz einer Oberflaeche
Wortmann, A.; Luethje, H. | Patent |
| 2007 | Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschluessigen Verbindung zweier Koerper
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J. | Patent |
| 2007 | Vorrichtung zum Einstellen und Pruefen der Spannkraft von Schraubverbindungen
Luethje, H.; Sick, J. | Patent |
| 2006 | Development and fabrication of magnetic thin films
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.H. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | DiaForce Dünnschichtsensoren zur Kraftmessung in extrem steifen adaptronischen Anwendungen
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Melz, T.; Mayer, D. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Integration von Dünnschichtsensorik in Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Intelligente Schichten für "denkende Oberflächen"
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Investigation of the piezoresistive properties of nano structured amorphous carbon for force sensor applications
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Kraftmessvorrichtung zur Messung der Kraft bei Festkörperaktoren, Verfahren zur Messung einer Kraft sowie Verwendung der Kraftmessvorrichtung
Lüthje, H.; Biehl, S.; Mayer, D.; Melz, T.; Herold, S. | Patent |
| 2006 | MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmesstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Microtribology. Carbon based coatings on micro structured surfaces
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Küster, R.; Sick, J.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like carbon for use in tribological applications
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Sick, J.-H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Piezoresistive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Piezoresistive gauge factor of hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Rezeptoren in der Maschinenhaut - Tribologisch optimierte Oberflächensensoren für die Antriebstechnik
Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Surface integrated thin film sensors for high precision measurement of temperature, wear, pressure and displacement in tribological contacts
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2006 | Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Different carbon based thin films and their microtribological behaviour in MEMS applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Wiebe, J.; Sick, J.-H.; Küster, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Entwicklung und Fertigung magnetischer Schichten
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Intelligente Schichten für das Auto von morgen
Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Laser-assisted structuring for the fabrication of thin film sensors on complex 3D-surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Piezoresistive co-efficient of diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Preparation and characterization of multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like-carbon
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | TRAEGER FUER ELEKTRISCHE SCHALTUNGSELEMENTE
Luethje, H.; Klages, C.; Zanden, J.T. van der; Thiele, A. | Patent |
| 2005 | Transport and optical properties of a-C and a-C:H modification films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Rabe, G.T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Tribologie von MEMS-Komponenten
Bandorf, R.; Küster, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren
Küster, R.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Anpassen des Anpressdruckes von Messern
Grundmann, A.; Luethje, H. | Patent |
| 2005 | Vorrichtung zur Ueberwachung des Verschleisses einer Oberflaeche
Grundmann, A.; Luethje, H. | Patent |
| 2004 | Al- und FVK-Bearbeitung mit intelligenten Werkzeugen
Lüthje, H.; Brücher, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Duennschichtmaske und Verfahren zu deren Herstellung
Luethje, H.; Biehl, S. | Patent |
| 2004 | Influencing factors on microtribology of DLC films for MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | An investigation on technologies to fabricate magnetic microcomponents for miniaturized actuator systems
Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Laser-patterning of thin films deposited on complex surfaces for the fabrication of micro-sensors
Biehl, S.; Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Sensorische Werkzeugbeschichtungen messen Temperaturen und Kräfte im Zerspanprozess
Wiemann, E.; Lüthje, H.; Uhlmann, E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Submicron coatings for micro-tribological applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stint, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Verwendung einer Schicht aus diamantartigem Kohlenstoff
Luethje, H.; Biehl, S. | Patent |
| 2004 | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Beanspruchung eines Werkzeugs
Luethje, H.; Schnettker, T. | Patent |
| 2004 | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UEBERWACHUNG UND STEUERUNG EINES FAHRZEUGS
Luethje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S. | Patent |
| 2004 | Waelzlager mit integrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R. | Patent |
| 2004 | Waelzlager mit intergrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S. | Patent |
| 2004 | Wear resistant thin film sensors for monotoring force and temperature in the track of ball bearings
Biehl, S.; Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Fertigung magnetischer Schichten
Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Gleit- und/oder Waelz-Paarungen mit Duennschichtsensorik
Brand, J.; Luethje, H.; Koesel, H.; Lange, N. | Patent |
| 2003 | Herstellungsverfahren fuer Umform-, Stanz- und Spritzgusswerkzeuge
Luethje, H.; Taube, K. | Patent |
| 2003 | Influence of substrate material and topography on the tribological behaviour of submicron coatings
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Wortmann, A.; Staedler, T.; Wittorf, R. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Influence of the initial surface roughness on the wear behaviour of micro probes under rotating and oscillating flat micro contact
Beck, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Gatzen, H.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | LENKVORRICHTUNG FUER FAHRZEUGE
Luethje, H.; Kist, R.; Reul, T. | Patent |
| 2003 | Micropatterned thin films for optimisation of the microtribological behaviour in MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Sick, J.-H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Nano-structured carbon sensor for simultaneous measurement of load and temperature at mechanically strained surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Non-reactive and reactive ion etching processes for patterning magnet MEMS components
Balke, M.; Lüthje, H.; Budde, T.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Smart tools for future cutting processes
Lüthje, H.; Schmitz, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Submikrometerschichten für mikrotribologische Anwendungen
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Loehken, T.; Luethje, H. | Patent |
| 2003 | Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J. | Patent |
| 2002 | Mechanisch beanspruchbare Komponenten oder Elemente sowie Verfahren zum Herstellen von mechanisch beanspruchbaren Komponenten oder Elementen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Luethje, H. | Patent |
| 2002 | Novel force sensor based on hard diamond-like carbon films
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2002 | Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stindt, B. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Tribologische Sub-Mikrometer Schichten für Mikrosysteme
Bandorf, R.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2001 | Novel equipment for friction force measurement on MEMS and micro components
Schmidt, M.; Wortmann, A.; Lüthje, H.; Büttgenbach, S. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Oberflächensensoren überwachen Werkzeugschneiden
Lüthje, H.; Nordmann, K. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2001 | Sensor zur Zustandsbestimmung von Kenngroessen an mechanischen Komponenten unter Verwendung von amorphen Kohlenstoffschichten mit piezoresistiven Eigenschaften
Luethje, H.; Brand, J. | Patent |
| 2001 | Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von roehrchenfoermigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere Gefaessprothesen
Daaud, S.; Luethje, H.; Hertlein, G. | Patent |
| 2000 | Direct control of cutting tools by novel microtechniques
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Elektrisch kontaktierbare Maske zur Herstellung von dreidimensionalen Schaltungstraegern
Poeckelmann, R.; Luethje, H.; Klages, C.; Matthee, T. | Patent |
| 2000 | Moderne Dichtungssysteme - Neue Möglichkeiten durch Plasmaoberflächentechnik
Beckmann, C.; Brand, J.; Lüthje, H.; Thyen, R. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen von Fotoresistlack auf nicht ebene Grundkoerperoberflaechen
Luethje, H.; Daaud, S.; Boettcher, R. | Patent |
| 2000 | Werkzeug fuer Umform- und Zerspanungsvorrichtungen und Verfahren zum Herstellen eines beschichteten Werkzeugs
Zamel, S.; Luethje, H.; Ketteler, G.; Dimigen, H. | Patent |
| 1999 | Intelligente Werkzeuge durch integrierte Mikrosysteme - INGWER
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.; Rübenach, O.; Bierwith, R.; Salomon, S.; Schneider-Ramelow, M. | Forschungsbericht |
| 1999 | Intelligente Werkzeuge für die zerspanende Fertigung durch integrierte Mikrosysteme
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Smart coatings. Intelligente Schichtsysteme bilden eine Haut für Maschinen
Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit Aluminiumoxid (Al2O3) und damit beschichtetes Werkstueck
Loehken, T.; Luethje, H.; Steinberg, C.; Jung, T. | Patent |
| 1999 | Vorrichtung zur in-situ Messung von mechanischen Spannungen in Schichten
Luethje, H.; Daaud, S. | Patent |
| 1998 | Coatings give machine tools a harder edge
Schäfer, L.; Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Deposition of c-BN films by DC magnetron sputtering
Kouptsidis, S.; Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Schütze, A.; Zhang, P. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Improvement of the adhesion of sputtered cubic boron nitride films
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Gaertner, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Integrierte Zustandssensoren für Werkzeuge und Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Intelligente Werkzeuge mit integrierten sensorischen Netzwerken
Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Die künftige Rolle der Oberflächentechnik in der Zerspanung
Dimigen, H.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Schäfer, L. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Mechanische Komponente mit mehreren Verschleisssensoren
Loehken, T.; Luethje, H.; Boettcher, R. | Patent |
| 1998 | Schichten machen Werkzeuge klüger
Lüthje, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Farbfilters, dadurch hergestellter Farbfilter sowie Verfahren zum Herstellen eines Grundkoerpers fuer eine solche Vorrichtung
Weber, A.; Luethje, H. | Patent |
| 1997 | Mikrobalken mit integrierter Abtast- bzw. Pruefspitze aus Diamant fuer den Einsatz in Rastersondenmikroskopen
Schiffmann, K.I.; Jiang, X.; Luethje, H. | Patent |
| 1997 | Verfahren zur herstellung von Schichten aus kubischem Bornitrid
Luethje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S. | Patent |
| 1996 | Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Abschlußbericht
Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Schütze, A.; Bewilogua, K.; Schröder, J.; Daaud, S. | Forschungsbericht |
| 1996 | Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Synthesis report
Kouptsidis, S.; Lüthje, H.; Schütze, A.; Bewilogua, K. | Forschungsbericht |
| 1996 | Improvement of the adhesion of sputtered cubic boron nitride films
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Gaertner, M. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Preparation of cubic boron nitride films by reactive sputtering from a boron nitride target
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | Development of industrial low temperature PVD technique of c-BN for long lifetime products
Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputern
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S. | Forschungsbericht |
| 1995 | Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | Sputter deposition of cubic boron nitride films
Bewilogua, K.; Schütze, A.; Kouptsidis, S.; Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Intelligente Werkzeuge für die Zerspanungstechnik
Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Microstructure of BN:C films deposited on Si substrates by reactive magnetron sputtering from a B4C target
Johansson, M.; Daaud, S.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Hultmann, L. | Aufsatz in Buch |
| 1994 | Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L. | Aufsatz in Buch |
| 1994 | PVD Technik for the preparation of cubic boron nitride
Lüthje, H. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Superharte Schichten aus kubischem Bornitrid
Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Schütze, A.; Kouptsidis, S. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Diamond membranes for X-ray masks
Löchel, B.; Schliwinski, H.-J.; Huber, H.-L.; Trube, J.; Klages, C.-P.; Lüthje, H.; Schäfer, L. | Konferenzbeitrag |
| 1988 | Application of SiC-X-ray masks for fabrication submicron devices
Mackens, U.; Lüthje, H.; Mescheder, U.; Mund, F.; Pongratz, S. | Konferenzbeitrag |