Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Accuracy analysis of a stand-alone EUV spectrometer for the characterization of ultrathin films and nanoscale gratings
Schröder, Sophia; Bahrenberg, Lukas; Eryilmaz, Nimet Kutay; Glabisch, Sven; Danylyuk, Serhiy; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2020Characterization of nanoscale gratings by spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet with a stand-alone setup
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Schröder, Sophia; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2020Design and realization of an industrial stand-alone EUV resist qualification setup
Lüttgenau, Bernhard; Brose, Sascha; Choi, Seonghyeok; Panitzek, Dieter; Danylyuk, Serhiy; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2020Design of multi-beam optics for high throughput parallel processing
Hofmann, Oskar; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2020Highly dynamic positioning of individual laser beams in a multi-beam system for laser surface processing
Hofmann, Oskar; Chemerenko, Olga; Finger, Johannes-Thomas; Eifel, Stephan; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2020Methodik zur kostenbasierten Toleranzbudgetfestlegung optomechanischer Systeme
Grubert, Nicole; König, Georg; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2020Nanoscale grating characterization through EUV spectroscopy aided by machine learning techniques
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Danylyuk, Serhiy; Ghafoori, Moein; Schröder, Sophia; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2020Novel high-contrast phase-shifting masks for EUV interference lithography
Lüttgenau, Bernhard; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Accounting for laser beam characteristics in the design of freeform optics for laser material processing
Völl, Annika; Wester, Rolf; Berens, Michael; Buske, Paul; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2019Dynamic High-Power Beam-Shaping for 3D Laser Polishing
Hofmann, Oskar; Holters, Martin; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019EUV-LET 2.0: A compact exposure tool for industrial research at a wavelength of 13.5nm
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Bahrenberg, Lukas; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter; Juschkin, Larissa
Konferenzbeitrag
2019Industrial photoresist development with the EUV laboratory exposure tool. Mask fabrication, sensitivity and contrast
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Grüneberger, Franziska; Gerngroß, Maik; Stollenwerk, Jochen; Schirmer, Matthias; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Influence of focal length on the laser metal deposition process with coaxial wire feeding
Kelbassa, Jana; Biber, Alexander; Wissenbach, Konrad; Gasser, Andres; Pütsch, Oliver; Loosen, Peter; Schleifenbaum, Johannes Henrich
Konferenzbeitrag
2019Konzept zur Nutzung von Digitalisierung und Vernetzung beim Design, Aufbau und Betrieb optischer Systeme
Prochnau, Marcel Sebastian; König, Georg; Scheres, Sven; Zerbes, Felix; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Laboratory-based EUV spectroscopy for the characterization of thin films, membranes and nanostructured surfaces
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019Local laser softening of high-strength steel with an adapted intensity
Vogt, Sabrina; Völl, Annika; Wollgarten, Susanne; Freese, Thomas; Stollenwerk, Jochen; Weisheit, Andreas; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2019Optisches System mit individueller Strahlmanipulation von bis zu 64 Teilstrahlen für die UKP Multistrahl-Lasermaterialbearbeitung
Hesker, Mario; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2017Self-optimizing production technologies
Klocke, Fritz; Abel, Dirk; Gries, Thomas; Hopmann, Christian; Loosen, Peter; Poprawe, Reinhart; Reisgen, Uwe; Schmitt, Robert; Schulz, Wolfgang; Abels, Peter; Adams, Oliver; Auerbach, Thomas; Buchholz, Guido; Döbbeler, Benjamin; Frank, Daniel; Heinisch, Julian; Hermanns, Torsten; Gloy, Yves-Simon; Keitzel, Gunnar; Kemper, Maximilian; Martel, Diana Suarez; Reimer, Viktor; Reiter, Matthias; Saggiomo, Marco; Schwenzer, Max; Stemmler, Sebastian; Stoyanov, Stoyan; Thombansen, Ulrich; Veselovac, Drazen; Willms, Konrad
Aufsatz in Buch
2016Self-optimizing production systems
Permin, Eike; Bertelsmeier, Felix; Blum, Matthias; Bützler, Jennifer; Haag, Sebastian; Kuz, Sinem; Özdemir, Denis; Stemmler, Sebastian; Thombansen, Ulrich; Schmitt, Robert; Brecher, Christian; Schlick, Christopher; Abel, Dirk; Poprawe, Reinhart; Loosen, Peter; Schulz, Wolfgang; Schuh, Günther
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Self-optimizing assembly of laser systems
Loosen, Peter; Schmitt, Robert; Brecher, Christian; Müller, Rainer; Funck, Max; Gatej, Alexander; Morasch, Valentin; Pavim, Alberto; Pyschny, Nicolas
Zeitschriftenaufsatz