Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Overcoming challenges to the formation of high-quality polycrystalline TiO2:Ta transparent conducting films by magnetron sputtering
Neubert, M.; Cornelius, S.; Fiedler, J.; Gebel, T.; Liepack, H.; Kolitsch, A.; Vinnichenko, M.
Zeitschriftenaufsatz
2012Aluminium-, Titan- und Silizium-basierte Oxidschichten für verschiedene Anwendungen mittels ALD
Krug, M.; Endler, I.; Benner, F.; Dirnstorfer, I.; Müller, J.; Sundqvist, J.; Rose, M.; Jakschik, S.; Weber, J.; Liepack, H.
Konferenzbeitrag
2008Multifunctional high-reflective and antireflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006"SV in-line" equipment concept with uninterrupted stream of substrate carriers for reactive sputtered optical multi layer coatings
Hentsch, W.; Fendler, R.; Krug, M.; Liepack, H.; Goedicke, K.; Frach, P.; Gottfried, C.
Konferenzbeitrag
2006Multi-functional high-reflective and anti-reflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag