Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Precision optical coatings on large substrates by reactive magnetron sputtering
Frach, P.; Glöß, D.; Bartzsch, H.; Goschurny, T.; Drescher, A.; Gottfried, C.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2013Reactive magnetron sputter technologies for precision optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Gloess, D.; Taeschner, K.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2010Multifunctional optical coatings on polymers deposited by pulse magnetron sputtering and magnetron enhanced PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Täschner, K.; Liebig, J.-S.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2008Multifunctional high-reflective and antireflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Multi-functional high-reflective and anti-reflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M.
Konferenzbeitrag
2006Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen
Mattausch, G.; Flaske, H.; Liebig, J.-S.; Kirchhoff, V.; Heinß, J.-P.; Klose, L.
Patent
2005Precision optical and antireflection multilayer and gradient coatings containing reactively sputtered oxides, nitrides and fluorides
Bartzsch, H.; Frach, P.; Weber, J.; Liebig, J.-S.
Konferenzbeitrag
2000Influence of process parameters on the structure and the properties of ZrO2 coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering (PMS)
Goedicke, K.; Liebig, J.-S.; Zywitzki, O.; Sahm, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1996Numerical modelling of charged particle motion in electric and magnetic fields to assist magnetron design
Liebig, J.-S.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Schulze, D.; Schwanbeck, H.
Konferenzbeitrag