Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Copper metallization scheme for vertical chip integration
Riedel, S.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.; Wieland, R.; Leutenecker, R.; Klumpp, A.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
2000Verfahren zum Erzeugen einer Titanmonophosphidschicht und ihre Verwendung
Froeschle, B.; Leutenecker, R.; Ramm, P.
Patent
1997Titanium monophosphide (TiP) layers as potential diffusion barriers
Leutenecker, R.; Fröschle, B.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1997Titanium monophosphide (TiP) layers as potential diffusion barriers
Leutenecker, R.; Fröschle, B.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1994Insitu post deposition anneal of rapid thermal chemical vapor deposited titanium nitride
Fröschle, B.; Leutenecker, R.; Cao-Minh, U.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1994Rapid thermal chemical vapor deposition of titanium nitride for barrier application
Fröschle, B.; Leutenecker, R.; Cao-Minh, U.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1988CEMS-Study of a nitrogen implanted Cr.Ni 189 steel
Wagner, G.; Leutenecker, R.; Louis, T.; Gonser, U.
Konferenzbeitrag
1987Adhesive and abrasive wear study of nitrogen implanted steels
Kobs, K.; Dimingen, H.; Leutenecker, R.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1987Surface modification by ion beam techniques
Leutenecker, R.
Aufsatz in Buch
1986Improved tribilogical properties of sputtered MoSx films by ion beam mixing
Kobs, K.; Dimigen, H.; Huebsch, H.; Tolle, H.J.; Leutenecker, R.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1983Application of the bragg-profiling technique to the analysis of metallurical and optical surface layers
Eichinger, P.; Leutenecker, R.; Qiong, L.
Zeitschriftenaufsatz