Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Micro arc welding for electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuechler, M.; Bertz, A.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2011Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Leidich, S.; Meinig, M.; Kurth, S.; Gessner, T.; Grosser, V.; Braunschweig, M.; Krumm, R.
Konferenzbeitrag
2011Entwicklung einer Verkappungstechnologie für optisch transparente MEMS/NEMS-Gehäuse mit niedrigem Temperatureintrag
Haubold, M.; Leidich, S.; Wiemer, M.; Geßner, T.; Schubert, I.
Konferenzbeitrag
2011HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
Leidich, S.; Kurth, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Froemel, J.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up receiver
Kurth, S.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanenten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuechler, M.; Bertz, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Low temperature wafer bonding technologies
Haubold, M.; Baum, M.; Schubert, I.; Leidich, S.; Wiemer, M.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011MEMS module integration into SiGe BiCMOS technology for embedded system applications
Kaynak, M.; Wietstruck, M.; Zhang, W.; Drews, J.; Knoll, D.; Korndörfer, F.; Wipf, C.; Schulz, K.; Suchodoletz, M.V.; Zoschke, K.; Kaletta, K.; Ehrmann, O.; Leidich, S.; Kurth, S.; Tillack, B.
Konferenzbeitrag
2011Novel post-process gap reduction technology of high aspect ratio microstructures utilizing micro welding
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuchler, M.; Bertz, A.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Radio transmission system for power line monitoring
Voigt, S.; Leidich, S.; Gratias, A.; Kurth, S.; Keutel, T.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2011Reliability enhancement of Ohmic RF MEMS switches
Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Nowack, M.; Frömel, J.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Gessner, T.; Akiba, A.; Ikeda, K.
Konferenzbeitrag
2011Slot-antenna for autonomous sensor systems mounted on overhead power lines
Leidich, S.; Voigt, S.; Gratias, A.; Keutel, T.; Kurth, S.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2010Compact meta-material transmission line balun based on meander lines structure and MEMS technology
Huang, C.; Chen, D.; Leidich, S.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2010Entwicklung eines integrierten Mikroresonators für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie kleinster Probenvolumen
Leidich, S.
Dissertation
2010A fast and low actuation voltage MEMS switch for mm-wave and its integration
Akiba, A.; Mitarai, S.; Morita, S.; Ikeda, I.; Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Nowack, M.; Froemel, J.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2009BEOL embedded RF-MEMS switch for mm-wave applications
Kaynak, M.; Ehwald, K.-E.; Drews, J.; Scholz, R.; Korndorfer, F.; Knoll, D.; Tillack, B.; Barth, R.; Birkholz, M.; Schulz, K.; Sun, Y.M.; Wolansky, D.; Leidich, S.; Kurth, S.; Gurbuz, Y.
Konferenzbeitrag
2009Coplanar electromagnetic signal coupler for wafer-scale packaging of RF-MEMS devices
Leidich, S.; Voigt, S.; Hiller, K.; Gessner, T.
Aufsatz in Buch
2009Silicon cylinder spiral coil for nuclear magnetic resonance spectroscopy of nanoliter samples
Leidich, S.; Braun, M.; Gessner, T.; Riemer, T.
Zeitschriftenaufsatz
2008Complex miniaturized analysis system for nuclear magnetic resonance spectroscopy of nanoliter amounts of biological sample material
Leidich, S.; Riemer, T.; Braun, M.; Kurth, S.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008Continuously tunable RF-MEMS varactor for high power applications
Leidich, S.; Kurth, S.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
2008In-plane-resonator for NMR spectroscopy of nano liter samples
Leidich, S.; Gessner, T.; Riemer, T.
Konferenzbeitrag
2007Mikromechanische Schaltervorrichtung mit mechanischer Kraftverstärkung
Frömel, J.; Voigt, S.; Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Patent
2007Mikrospulen und RF-MEMS Varaktoren für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie - Applikationen und Technologie
Leidich, S.; Hofmann, L.; Riemer, T.; Kurth, S.; Schubert, I.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Konferenzbeitrag
200624 GHz RF-MEMS phase shifter with non-galvanic electromagnetic coupling fabricated in silicon-bulk technology
Voigt, S.; Leidich, S.; Doetzel, W.; Kurth, S.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2006Microwave phase shifter with electromagnetic signal coupling in silicon bulk technology
Leidich, S.; Voigt, S.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gessner, T.
Zeitschriftenaufsatz
2006Schalteranordnung zur Ansteuerung einer Antennenanordnung mit einzelnen Antennenelementen mit einer Mehrzahl von matrixförmig angeordneten Schaltern und Verfahren zum Schalten von matrixförmig angeordneten Schaltern
Kurth, S.; Frömel, J.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Dötzel, W.; Gessner, T.
Patent
2005Koplanare elektromagnetische Koppler zur Signalkontaktierung von RF-MEMS Bauelementen bei Mikrowellenfrequenzen
Voigt, S.; Leidich, S.; Kurth, S.; Geßner, T.; Doetzel, W.
Konferenzbeitrag