Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Accurate parameter extraction for the simulation of direct structuring by ion beams
Beuer, S.; Rommel, M.; Lehrer, C.; Platzgummer, E.; Kvasnica, S.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2007Influence of the cantilever holder on the vibrations of AFM cantilevers
Rabe, U.; Hirsekorn, S.; Reinstädtler, M.; Sulzbach, T.; Lehrer, C.; Arnold, W.
Zeitschriftenaufsatz
2007UV nanoimprint materials: Surface energies, residual layers, and imprint quality
Schmitt, H.; Frey, L.; Ryssel, H.; Rommel, M.; Lehrer, C.
Zeitschriftenaufsatz
2007Verfahren zur Erzeugung von Submikrometer-Strukturen an einer ausgepraegten Topographie
Lehrer, C.; Beuer, S.; Engl, W.; Richter, C.; Sulzbach, T.
Patent
2006Accurate parameter extraction for the simulation of direct structuring by ion beams
Beuer, S.; Rommel, M.; Lehrer, C.; Platzgummer, E.; Kvasnica, S.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.
Poster
2006Simulation of ion beam direct structuring for 3D nanoimprint template fabrication
Platzgummer, E.; Biedermann, A.; Langfischer, H.; Eder-Kapl, S.; Kuemmel, M.; Cernusca, S.; Loeschner, H.; Lehrer, C.; Frey, L.; Lugstein, A.; Bertagnolli, E.
Konferenzbeitrag
2005Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen
Lehrer, C.
Dissertation
2004Integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors using focused ion and electron beams
Lehrer, C.; Frey, L.; Petersen, S.; Ryssel, H.; Schäfer, M.; Sulzbach, T.
Zeitschriftenaufsatz
2003Materialbearbeitung mittels fokussierter Ionenstrahlen zur TEM-Probenpräparation und Nanostrukturierung
Frey, L.; Lehrer, C.
Zeitschriftenaufsatz
2003Materials processing by focused ion-beams for TEM sample preparation and nanostructuring
Frey, L.; Lehrer, C.
Zeitschriftenaufsatz
2003Nanoscale effects in focused ion beam processing
Frey, L.; Lehrer, C.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2003ROENTGENSTRAHLQUELLE MIT EINER KLEINEN BRENNFLECKGROESSE
Frey, L.; Lehrer, C.; Hanke, R.; Schmitt, P.
Patent
2001Fabrication of silicon aperture probes for scanning near-field optical microscopy by focused Ion beam nano machining
Lehrer, C.; Frey, L.; Petersen, S.; Sulzbach, T.; Ohlsson, O.; Dziomba, T.; Danzebrink, H.U.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2001High-resolution constant-height imaging with apertured silicon cantilever probes
Dziomba, T.; Danzebrink, H.U.; Lehrer, C.; Frey, L.; Sulzbach, T.; Ohlsson, O.
Zeitschriftenaufsatz
2001Limitations of focused ion beam nanomachining
Lehrer, C.; Frey, L.; Petersen, S.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Defects and gallium - contamination during focused ion beam micro machining
Lehrer, C.; Frey, L.; Petersen, S.; Mizutani, M.; Takai, M.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2000Field emitter array fabricated using focused ion and electron beam induced reaction
Yavas, O.; Ochiai, C.; Takai, M.; Park, Y.K.; Lehrer, C.; Lipp, S.; Frey, L.; Ryssel, H.; Hosono, A.; Okuda, S.
Zeitschriftenaufsatz
2000Wafer conserving full range construction analysis for IC fabrication and process development based on FIB/dual beam inline application
Boit, C.; Dawes, N.; Dziesiaty, A.; Demm, E.; Ebersberger, B.; Frey, L.; Geyer, S.; Hirsch, A.; Lehrer, C.; Meis, P.; Kamolz, M.; Lezec, H.; Rettenmaier, H.; Tittes, W.; Treichler, R.; Weiland, R.; Zimmermann, H.
Konferenzbeitrag
1999AFM and STM investigation of carbon nanotubes produced by high energy ion irradiation of graphite
Biro, L.P.; Mark, G.I.; Gyulai, J.; Havancszak, K.; Lipp, S.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Comparison of beam-induced deposition using ion microprobe
Park, Y.S.; Nagai, T.; Takai, M.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Comparison of FIB-induced physical and chemical etching
Park, Y.K.; Paszti, F.; Takai, M.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Impurity incorporation during beam assisted processing analyzed using nuclear microprobe
Park, Y.K.; Takai, M.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Investigation of Cu films by focused ion beam induced deposition using nuclear microprobe
Park, Y.K.; Takai, M.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Ion beam-treated silicon probes operated in transmission and cross-polarized reflection mode near- infrared scanning near-field optical microscopy (NIR-SNOM)
Dziomba, T.; Sulzbach, T.; Ohlsson, O.; Lehrer, C.; Frey, L.; Danzebrink, H.U.
Zeitschriftenaufsatz
1999Nano-slit probes for near-field optical microscopy fabricated by focused ion beams
Danzebrink, H.U.; Dziomba, T.; Sulzbach, T.; Ohlsson, T.; Lehrer, C.; Frey, L.
Zeitschriftenaufsatz
1998Fabrication of field emitter array using focused ion and electron beam induced reaction
Takai, M.; Kishimoto, T.; Morimoto, H.; Park, Y.K.; Lipp, S.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.; Hosono, A.; Kawabuchi, S.
Konferenzbeitrag
1998Microanalysis of masklessly fabricated microstructures using nuclear microprobe
Park, Y.K.; Takai, M.; Nagai, T.; Kishimoto, T.; Seidl, A.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1998Microprobe analysis of Pt films deposited by beam induced reaction
Park, Y.K.; Takai, M.; Lehrer, C.; Frey, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1996A comparison of focused ion beam and electron beam induced deposition processes
Lipp, S.; Frey, L.; Lehrer, C.; Demm, C.; Pauthner, S.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1996Tetramethoxysilane as a precursor for focused ion beam and electron beam assisted insulator (SiO(x)) deposition
Lipp, S.; Frey, L.; Lehrer, C.; Frank, B.; Demm, E.; Pauthner, S.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz