Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Mask absorber development to enable next-generation EUVL
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Opsomer, K.; Souriau, L.; Rip, J.; Detavernier, C.; Erdmann, A.; Evanschitzky, P.; Laubis, C.; Honicke, P.; Soltwisch, V.; Hendrickx, E.
Konferenzbeitrag
2018Novel EUV mask absorber evaluation in support of next-generation EUV imaging
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Opsomer, K.; Detavernier, C.; Hendrickx, E.; Erdmann, A.; Evanschitzky, P.; Kruijs, R.W.E. van de; Heidarnia-Fathabad, Z.; Scholze, F.; Laubis, C.
Konferenzbeitrag
2017Interface morphology of Mo/Si multilayer systems with varying Mo layer thickness studied by EUV diffuse scattering
Haase, Anton; Soltwitsch, Victor; Braun, Stefan; Laubis, Christian; Scholze, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2017Reducing EUV mask 3D effects by alternative metal absorbers
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Souriau, L.; Hendrickx, E.; Erdmann, A.; Xu, D.; Evanschitzky, P.; Kruijs, R.W.E. van de; Edrisi, A.; Scholze, F.; Laubis, C.; Irmscher, M.; Naasz, S.; Reuter, C.
Konferenzbeitrag
2017Reducing extreme ultraviolet mask three-dimensional effects by alternative metal absorbers
Philipsen, V.; Luong, K.V.; Souriau, L.; Erdmann, A.; Xu, D.; Evanschitzky, P.; Kruijs, R.W.E. van de; Edrisi, A.; Scholze, F.; Laubis, C.; Irmscher, M.; Naasz, S.; Reuter, C.; Hendrickx, E.
Zeitschriftenaufsatz
2015Sub-aperture EUV collector with dual-wavelength spectral purity filter
Feigl, Torsten; Perske, Marco; Pauer, Hagen; Fiedler, Tobias; Zeitner, Uwe; Leitel, Robert; Eckstein, Hans Christoph; Schleicher, Philipp; Schröder, Sven; Trost, Marcus; Risse, Stefan; Steinkopf, Ralf; Scholze, F.; Laubis, C.
Konferenzbeitrag
2012An EUV beamsplitter based on conical grazing incidence diffraction
Braig, C.; Fritzsch, L.; Käsebier, T.; Kley, E.-B.; Laubis, C.; Liu, Y.; Scholze, F.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2007Characterization of the measurement uncertainty of a laboratory EUV reflectometer for large optics
Scholze, F.; Laubis, C.; Loyen, L. van; Macco, F.; Schädlich, S.
Zeitschriftenaufsatz