Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Simulation of the boron build-up formation during melting laser thermal annealing
Hackenberg, M.; Huet, K.; Negru, R.; Fisicaro, G.; La Magna, A.; Taleb, N.; Quillec, M.; Pichler, P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Anomalous impurity segregation and local bonding fluctuation in l-Si
Fisicaro, G.; Huet, K.; Negru, R.; Hackenberg, M.; Pichler, P.; Taleb, N.; La Magna, A.
Zeitschriftenaufsatz
2013Dopant dynamics and defects evolution in implanted silicon under laser irradiations: A coupled continuum and kinetic Monte Carlo approach
Fisicaro, G.; Pelaz, L.; Aboy, M.; Lopez, P.; Italia, M.; Huet, K.; Cristiano, F.; Essa, Z.; Yang, Q.; Bedel-Pereira, E.; Hackenberg, M.; Pichler, P.; Quillec, M.; Taleb, N.; La Magna, A.
Konferenzbeitrag
2012Enthalpy based modeling of pulsed excimer laser annealing for process simulation
Hackenberg, M.; Pichler, P.; Huet, K.; Negru, R.; Venturini, J.; Pakfar, A.; Tavernier, C.; La Magna, A.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2012Modeling boron profiles in silicon after pulsed excimer laser annealing
Hackenberg, M.; Huet, K.; Negru, R.; Venturini, J.; Fisicaro, G.; La Magna, A.; Pichler, P.
Konferenzbeitrag
2003Diffusion and electrical activation of indium in silicon
Scalese, S.; Italia, M.; La Magna, A.; Mannino, G.; Privitera, V.; Bersani, M.; Giubertoni, D.; Barozzi, M.; Solmi, S.; Pichler, P.
Zeitschriftenaufsatz
2003Indium in silicon: A study on diffusion and electrical activation
Scalese, S.; La Magna, A.; Mannino, G.; Privitera, V.; Bersani, M.; Giubertoni, D.; Solmi, S.; Pichler, P.
Konferenzbeitrag