Fraunhofer-Gesellschaft

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2008Hard and soft magnetic materials for electromagnetic microactuators
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Multifunctional parts by functionalisation solutions: How to integrate intelligence in rapid parts
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Biehl, S.; Diehl, W.
Konferenzbeitrag
2008Smart coatings for intelligent surfaces
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2007Diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Doering, L.; Limmer, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Hart- und weichmagnetische Materialien für elektromagnetische Mikroaktoren
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag
2007High rate deposition of magnetic material by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Lüthje, H.; Jung, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Longitudinal and transversal piezoresistive effect in hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Mechanical and piezoresistive properties of diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2007Piezoresistive effect in amorphous carbon thin films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Smart coatings - materials, deposition, and applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Biehl, S.; Sick, J.-H.; Ortner, K.; Jung, T.
Konferenzbeitrag
2007Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Verschleissresistenz einer Oberflaeche
Wortmann, A.; Luethje, H.
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschluessigen Verbindung zweier Koerper
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.
Patent
2007Vorrichtung zum Einstellen und Pruefen der Spannkraft von Schraubverbindungen
Luethje, H.; Sick, J.
Patent
2006Development and fabrication of magnetic thin films
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.H.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006DiaForce Dünnschichtsensoren zur Kraftmessung in extrem steifen adaptronischen Anwendungen
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Melz, T.; Mayer, D.
Konferenzbeitrag
2006Integration von Dünnschichtsensorik in Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.
Konferenzbeitrag
2006Intelligente Schichten für "denkende Oberflächen"
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Investigation of the piezoresistive properties of nano structured amorphous carbon for force sensor applications
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Konferenzbeitrag
2006Kraftmessvorrichtung zur Messung der Kraft bei Festkörperaktoren, Verfahren zur Messung einer Kraft sowie Verwendung der Kraftmessvorrichtung
Lüthje, H.; Biehl, S.; Mayer, D.; Melz, T.; Herold, S.
Patent
2006MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmesstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Zeitschriftenaufsatz
2006Microtribology. Carbon based coatings on micro structured surfaces
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Küster, R.; Sick, J.-H.
Konferenzbeitrag
2006Multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like carbon for use in tribological applications
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Piezoresistive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Piezoresistive gauge factor of hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Piezoresitive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2006Rezeptoren in der Maschinenhaut - Tribologisch optimierte Oberflächensensoren für die Antriebstechnik
Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2006Surface integrated thin film sensors for high precision measurement of temperature, wear, pressure and displacement in tribological contacts
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2006Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2006Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2005Different carbon based thin films and their microtribological behaviour in MEMS applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Wiebe, J.; Sick, J.-H.; Küster, R.
Zeitschriftenaufsatz
2005Entwicklung und Fertigung magnetischer Schichten
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2005Intelligente Schichten für das Auto von morgen
Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2005Laser-assisted structuring for the fabrication of thin film sensors on complex 3D-surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2005Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Konferenzbeitrag
2005Piezoresistive co-efficient of diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
2005Preparation and characterization of multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like-carbon
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Konferenzbeitrag
2005TRAEGER FUER ELEKTRISCHE SCHALTUNGSELEMENTE
Luethje, H.; Klages, C.; Zanden, J.T. van der; Thiele, A.
Patent
2005Transport and optical properties of a-C and a-C:H modification films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Rabe, G.T.
Konferenzbeitrag
2005Tribologie von MEMS-Komponenten
Bandorf, R.; Küster, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2005Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren
Küster, R.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2005Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Anpassen des Anpressdruckes von Messern
Grundmann, A.; Luethje, H.
Patent
2005Vorrichtung zur Ueberwachung des Verschleisses einer Oberflaeche
Grundmann, A.; Luethje, H.
Patent
2004Al- und FVK-Bearbeitung mit intelligenten Werkzeugen
Lüthje, H.; Brücher, M.
Zeitschriftenaufsatz
2004Duennschichtmaske und Verfahren zu deren Herstellung
Luethje, H.; Biehl, S.
Patent
2004Influencing factors on microtribology of DLC films for MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004An investigation on technologies to fabricate magnetic microcomponents for miniaturized actuator systems
Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Zeitschriftenaufsatz
2004Laser-patterning of thin films deposited on complex surfaces for the fabrication of micro-sensors
Biehl, S.; Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
2004Sensorische Werkzeugbeschichtungen messen Temperaturen und Kräfte im Zerspanprozess
Wiemann, E.; Lüthje, H.; Uhlmann, E.
Zeitschriftenaufsatz
2004Submicron coatings for micro-tribological applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2004Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stint, B.
Zeitschriftenaufsatz
2004Verwendung einer Schicht aus diamantartigem Kohlenstoff
Luethje, H.; Biehl, S.
Patent
2004Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Beanspruchung eines Werkzeugs
Luethje, H.; Schnettker, T.
Patent
2004VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UEBERWACHUNG UND STEUERUNG EINES FAHRZEUGS
Luethje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.
Patent
2004Waelzlager mit integrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.
Patent
2004Waelzlager mit intergrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S.
Patent
2004Wear resistant thin film sensors for monotoring force and temperature in the track of ball bearings
Biehl, S.; Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
2003Fertigung magnetischer Schichten
Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2003Gleit- und/oder Waelz-Paarungen mit Duennschichtsensorik
Brand, J.; Luethje, H.; Koesel, H.; Lange, N.
Patent
2003Herstellungsverfahren fuer Umform-, Stanz- und Spritzgusswerkzeuge
Luethje, H.; Taube, K.
Patent
2003Influence of substrate material and topography on the tribological behaviour of submicron coatings
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Wortmann, A.; Staedler, T.; Wittorf, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2003Influence of the initial surface roughness on the wear behaviour of micro probes under rotating and oscillating flat micro contact
Beck, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Gatzen, H.-H.
Konferenzbeitrag
2003LENKVORRICHTUNG FUER FAHRZEUGE
Luethje, H.; Kist, R.; Reul, T.
Patent
2003Micropatterned thin films for optimisation of the microtribological behaviour in MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Sick, J.-H.
Konferenzbeitrag
2003Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Konferenzbeitrag
2003Nano-structured carbon sensor for simultaneous measurement of load and temperature at mechanically strained surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2003Non-reactive and reactive ion etching processes for patterning magnet MEMS components
Balke, M.; Lüthje, H.; Budde, T.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2003Smart tools for future cutting processes
Lüthje, H.; Schmitz, R.
Zeitschriftenaufsatz
2003Submikrometerschichten für mikrotribologische Anwendungen
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Konferenzbeitrag
2003Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Loehken, T.; Luethje, H.
Patent
2003Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.
Patent
2002Mechanisch beanspruchbare Komponenten oder Elemente sowie Verfahren zum Herstellen von mechanisch beanspruchbaren Komponenten oder Elementen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Luethje, H.
Patent
2002Novel force sensor based on hard diamond-like carbon films
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Konferenzbeitrag
2002Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2002Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stindt, B.
Konferenzbeitrag
2002Tribologische Sub-Mikrometer Schichten für Mikrosysteme
Bandorf, R.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
2001Novel equipment for friction force measurement on MEMS and micro components
Schmidt, M.; Wortmann, A.; Lüthje, H.; Büttgenbach, S.
Konferenzbeitrag
2001Oberflächensensoren überwachen Werkzeugschneiden
Lüthje, H.; Nordmann, K.
Zeitschriftenaufsatz
2001Sensor zur Zustandsbestimmung von Kenngroessen an mechanischen Komponenten unter Verwendung von amorphen Kohlenstoffschichten mit piezoresistiven Eigenschaften
Luethje, H.; Brand, J.
Patent
2001Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A.
Konferenzbeitrag
2001Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von roehrchenfoermigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere Gefaessprothesen
Daaud, S.; Luethje, H.; Hertlein, G.
Patent
2000Direct control of cutting tools by novel microtechniques
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.
Konferenzbeitrag
2000Elektrisch kontaktierbare Maske zur Herstellung von dreidimensionalen Schaltungstraegern
Poeckelmann, R.; Luethje, H.; Klages, C.; Matthee, T.
Patent
2000Moderne Dichtungssysteme - Neue Möglichkeiten durch Plasmaoberflächentechnik
Beckmann, C.; Brand, J.; Lüthje, H.; Thyen, R.
Konferenzbeitrag
2000Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen von Fotoresistlack auf nicht ebene Grundkoerperoberflaechen
Luethje, H.; Daaud, S.; Boettcher, R.
Patent
2000Werkzeug fuer Umform- und Zerspanungsvorrichtungen und Verfahren zum Herstellen eines beschichteten Werkzeugs
Zamel, S.; Luethje, H.; Ketteler, G.; Dimigen, H.
Patent
1999Intelligente Werkzeuge durch integrierte Mikrosysteme - INGWER
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.; Rübenach, O.; Bierwith, R.; Salomon, S.; Schneider-Ramelow, M.
Bericht
1999Intelligente Werkzeuge für die zerspanende Fertigung durch integrierte Mikrosysteme
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.
Konferenzbeitrag
1999Smart coatings. Intelligente Schichtsysteme bilden eine Haut für Maschinen
Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit Aluminiumoxid (Al2O3) und damit beschichtetes Werkstueck
Loehken, T.; Luethje, H.; Steinberg, C.; Jung, T.
Patent
1999Vorrichtung zur in-situ Messung von mechanischen Spannungen in Schichten
Luethje, H.; Daaud, S.
Patent
1998Coatings give machine tools a harder edge
Schäfer, L.; Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998Deposition of c-BN films by DC magnetron sputtering
Kouptsidis, S.; Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Schütze, A.; Zhang, P.
Zeitschriftenaufsatz
1998Improvement of the adhesion of sputtered cubic boron nitride films
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Gaertner, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1998Integrierte Zustandssensoren für Werkzeuge und Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.
Konferenzbeitrag
1998Intelligente Werkzeuge mit integrierten sensorischen Netzwerken
Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998Die künftige Rolle der Oberflächentechnik in der Zerspanung
Dimigen, H.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Schäfer, L.
Konferenzbeitrag
1998Mechanische Komponente mit mehreren Verschleisssensoren
Loehken, T.; Luethje, H.; Boettcher, R.
Patent
1998Schichten machen Werkzeuge klüger
Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Farbfilters, dadurch hergestellter Farbfilter sowie Verfahren zum Herstellen eines Grundkoerpers fuer eine solche Vorrichtung
Weber, A.; Luethje, H.
Patent
1997Mikrobalken mit integrierter Abtast- bzw. Pruefspitze aus Diamant fuer den Einsatz in Rastersondenmikroskopen
Schiffmann, K.I.; Jiang, X.; Luethje, H.
Patent
1997Verfahren zur herstellung von Schichten aus kubischem Bornitrid
Luethje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.
Patent
1996Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Abschlußbericht
Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Schütze, A.; Bewilogua, K.; Schröder, J.; Daaud, S.
Bericht
1996Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Synthesis report
Kouptsidis, S.; Lüthje, H.; Schütze, A.; Bewilogua, K.
Bericht
1996Improvement of the adhesion of sputtered cubic boron nitride films
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Gaertner, M.
Konferenzbeitrag
1996Preparation of cubic boron nitride films by reactive sputtering from a boron nitride target
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.
Zeitschriftenaufsatz
1995Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S.
Konferenzbeitrag
1995Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S.
Zeitschriftenaufsatz
1995Development of industrial low temperature PVD technique of c-BN for long lifetime products
Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
1995In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputern
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.
Bericht
1995Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L.
Zeitschriftenaufsatz
1995Sputter deposition of cubic boron nitride films
Bewilogua, K.; Schütze, A.; Kouptsidis, S.; Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
1994Intelligente Werkzeuge für die Zerspanungstechnik
Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
1994Microstructure of BN:C films deposited on Si substrates by reactive magnetron sputtering from a B4C target
Johansson, M.; Daaud, S.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Hultmann, L.
Aufsatz in Buch
1994Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L.
Aufsatz in Buch
1994PVD Technik for the preparation of cubic boron nitride
Lüthje, H.
Konferenzbeitrag
1994Superharte Schichten aus kubischem Bornitrid
Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Schütze, A.; Kouptsidis, S.
Konferenzbeitrag
1992Diamond membranes for X-ray masks
Löchel, B.; Schliwinski, H.-J.; Huber, H.-L.; Trube, J.; Klages, C.-P.; Lüthje, H.; Schäfer, L.
Konferenzbeitrag
1988Application of SiC-X-ray masks for fabrication submicron devices
Mackens, U.; Lüthje, H.; Mescheder, U.; Mund, F.; Pongratz, S.
Konferenzbeitrag