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| 2012 | Autarkes Sensornetzwerk zum Monitoring von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; Pfeiffer, M.; Grolms, A.; Kurth, S.; Keutel, T.; Brockmann, C.; Braunschweig, M.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Autonomous sensor network for power line monitoring
Voigt, S.; Kurth, S.; Geßner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Fabry-Perot tunable infrared filter based on structured reflectors
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Seifert, M.; Ebermann, M.; Specht, H.; Meinig, M.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Micro arc welding for electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuechler, M.; Bertz, A.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2012 | Sensornetzwerk zum Monitoring von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; Wolfrum, J.; Pfeiffer, M.; Keutel, T.; Brockmann, C.; Grosser, V.; Lissek, S.; During, H.; Rusek, B.; Braunschweig, M.; Kurth, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Sensornetzwerk zum Monitoring von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; Kurth, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Smart Systems for Different Applications from Fraunhofer ENAS
Vogel, M.; Braeuer, J.; Wiemer, M.; Nestler, J.; Kurth, S.; Otto, T.; Gessner, T. | Aufsatz in Buch |
| 2012 | Tunable Fabry-Pérot Interferometers for Infrared Spectroscopy
Kurth, S.; Hiller, K.; Meinig, M.; Gessner, T. | Aufsatz in Buch |
| 2011 | Application of sub-wavelength structures in infrared optical filters
Kurth, S.; Seifert, M.; Zajadacz, J.; Ebermann, M.; Hiller, K.; Neumann, N.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen
Voigt, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Leidich, S.; Meinig, M.; Kurth, S.; Gessner, T.; Grosser, V.; Braunschweig, M.; Krumm, R. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Dual-band MEMS Fabry-Pérot filter with two movable reflectors for mid- and long-wave infrared microspectrometers
Meinig, M.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
Leidich, S.; Kurth, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Froemel, J.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up receiver
Kurth, S.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nowack, M.; Bertz, A.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanenten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuechler, M.; Bertz, A.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels fur einen monolithischintegrierten RF-MEMS-Schalter
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Tillack, B.; Kurth, S.; Erler, B. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | MEMS module integration into SiGe BiCMOS technology for embedded system applications
Kaynak, M.; Wietstruck, M.; Zhang, W.; Drews, J.; Knoll, D.; Korndörfer, F.; Wipf, C.; Schulz, K.; Suchodoletz, M.V.; Zoschke, K.; Kaletta, K.; Ehrmann, O.; Leidich, S.; Kurth, S.; Tillack, B. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Neuartiger frequenz- und amplitudenabstimmbarer Infrarotfilter
Specht, H.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Gittler, E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Novel post-process gap reduction technology of high aspect ratio microstructures utilizing micro welding
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuchler, M.; Bertz, A.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Radio transmission system for power line monitoring
Voigt, S.; Leidich, S.; Gratias, A.; Kurth, S.; Keutel, T.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Reliability enhancement of Ohmic RF MEMS switches
Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Nowack, M.; Frömel, J.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Gessner, T.; Akiba, A.; Ikeda, K. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Slot-antenna for autonomous sensor systems mounted on overhead power lines
Leidich, S.; Voigt, S.; Gratias, A.; Keutel, T.; Kurth, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Tiny MID- and long-wave infrared spectrometer module with a MEMS dual-band Fabry-Pérot filter
Ebermann, M.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gittler, E.; Neumann, N. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Tunable micromachined Fabry-Pérot Filters for infrared spectroscopy: Current state and prospects
Ebermann, M.; Neumann, N.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gittler, E. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Tunable mid-infrared filter based on Fabry-Perot interferometer with two movable reflectors
Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Ebermann, M.; Gittler, E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Entwurf und Technologie eines Dualband Fabry-Pérot-Filters für den mittleren Infrarotbereich mit zwei beweglichen Reflektoren
Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Gittler, E.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | A fast and low actuation voltage MEMS switch for mm-wave and its integration
Akiba, A.; Mitarai, S.; Morita, S.; Ikeda, I.; Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Nowack, M.; Froemel, J.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Image based test methodology for laser display scanners
Specht, H.; Kurth, S.; Billep, D.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Micro/nano technologies towards smart systems integration
Gessner, T.; Vogel, M.; Kaufmann, C.; Hiller, K.; Kurth, S.; Nestler, J.; Otto, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Mikro- und Nanotechnologien für Smart Integrated Systems
Gessner, T.; Vogel, M.; Schulz, S.E.; Wiemer, M.; Hiller, K.; Kurth, S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Miniaturisiertes Spektrometermodul für den mittleren und langwelligen Infrarotbereich mit mikromechanischem Dual-Band Fabry-Pérot Filter
Ebermann, M.; Neumann, N.; Hoppe, S.; Hiller, K.; Gittler, E.; Meinig, M.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Nanostrukturierte Breitbandreflektoren und deren Anwendung in abstimmbaren mikromechanischen Infrarot-Filtern
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Seifert, M.; Ebermann, M.; Zajadazc, J.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Recent advances in expanding the spectral range of MEMS Fabry-Pérot filters
Ebermann, M.; Neumann, N.; Hiller, K.; Gittler, E.; Meinig, M.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Subwavelength structures for infrared filtering
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Seifert, M.; Ebermann, M.; Zajadacz, J.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Uncooled IR sensors with tunable MEMS Fabry-Pérot filters for the long-wave infrared range
Neumann, N.; Ebermann, M.; Gittler, E.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Analysis of image quality for laser display scanner test
Specht, H.; Kurth, S.; Billep, D.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | BEOL embedded RF-MEMS switch for mm-wave applications
Kaynak, M.; Ehwald, K.-E.; Drews, J.; Scholz, R.; Korndorfer, F.; Knoll, D.; Tillack, B.; Barth, R.; Birkholz, M.; Schulz, K.; Sun, Y.M.; Wolansky, D.; Leidich, S.; Kurth, S.; Gurbuz, Y. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Design, operation and performance of a Fabry-Perot based MWIR micro spectrometer
Ebermann, M.; Neumann, N.; Hiller, K.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Exploring microsystems - measurement and test in fabrication and R&D
Kurth, S.; Faust, W.; Specht, H.; Meinig, M.; Fernholz, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Novel MWIR microspectrometer based on a tunable detector
Neumann, N.; Ebermann, M.; Hiller, K.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Performance and reliability test of MEMS optical scanners
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Specht, H.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Resonant mode detection for fast determination of structural and material parameters of MEMS
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Bauer, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Technologies and MEMS sensor solutions for smart integrated systems
Hiller, K.; Kurth, S.; Bertz, A.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Time efficient test method for dimensional parameter determination based on resonant mode detection
Meinig, M.; Kurth, S.; Shaporin, A.; Giessmann, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Characterization of mechanical shock by impulse specific peak deflection (ISPD)
Kurth, S.; Shaporin, A.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Complex miniaturized analysis system for nuclear magnetic resonance spectroscopy of nanoliter amounts of biological sample material
Leidich, S.; Riemer, T.; Braun, M.; Kurth, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Continuously tunable RF-MEMS varactor for high power applications
Leidich, S.; Kurth, S.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment
Tenholte, D.; Kurth, S.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Reliability of MEMS devices in shock and vibration overload situations
Kurth, S.; Shaporin, A.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Tunable infrared detector with integrated micromachined Fabry-Perot filter
Neumann, N.; Kurth, S.; Hiller, K. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Design and fabrication of a micromechanical vertical resonator
Jia, C.; Wiemer, M.; Kurth, S.; Otto, T.; Gessner, T | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Determination of dimensional parameters in MEMS components by vibration analyses
Kurth, S.; Mehner, J.; Shaporin, A.V.; Michael, S.; Ebert, M.; Gessner, T. | Korrigendum |
| 2007 | Laser-Display-System auf Basis von MEMS-Scannern
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T.; Mehner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | MEMS based laser display system
Specht, H.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Mikromechanische Schaltervorrichtung mit mechanischer Kraftverstärkung
Frömel, J.; Voigt, S.; Kurth, S.; Leidich, S.; Bertz, A.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Patent |
| 2007 | Mikrospulen und RF-MEMS Varaktoren für die kernmagnetische Resonanzspektroskopie - Applikationen und Technologie
Leidich, S.; Hofmann, L.; Riemer, T.; Kurth, S.; Schubert, I.; Kaufmann, C.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Performance and reliability test of MEMS optical scanners
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Testeinrichtung fuer mikromechanische Bauelemente
Kurth, S.; Böhme, M. | Patent |
| 2007 | Tunable infrared detector with integrated micromachined Fabry-Perot filter
Neumann, N.; Ebermann, M.; Hiller, K.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer
Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | 24 GHz RF-MEMS phase shifter with non-galvanic electromagnetic coupling fabricated in silicon-bulk technology
Voigt, S.; Leidich, S.; Doetzel, W.; Kurth, S.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | MEMS based micro scanners: Components, technologies and applications
Geßner, T.; Bonitz, J.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Specht, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Kurth, S.; Tenholte, D.; Hiller, K.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Patent |
| 2006 | Microwave phase shifter with electromagnetic signal coupling in silicon bulk technology
Leidich, S.; Voigt, S.; Kurth, S.; Hiller, K.; Gessner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Schalteranordnung zur Ansteuerung einer Antennenanordnung mit einzelnen Antennenelementen mit einer Mehrzahl von matrixförmig angeordneten Schaltern und Verfahren zum Schalten von matrixförmig angeordneten Schaltern
Kurth, S.; Frömel, J.; Voigt, S.; Leidich, S.; Nestler, J.; Shaporin, A.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Patent |
| 2005 | Koplanare elektromagnetische Koppler zur Signalkontaktierung von RF-MEMS Bauelementen bei Mikrowellenfrequenzen
Voigt, S.; Leidich, S.; Kurth, S.; Geßner, T.; Doetzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Micromachined mid-infrared tunable Fabry-Perot filter
Neumann, N.; Hiller, K.; Kurth, S. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Mikromechanisches durchstimmbares FabrySPerot-Filter für die IR-Gasanalytik
Neumann, N.; Heinze, M.; Stegbauer, H.-J.; Hiller, K.; Kurth, S. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Model building, control design and practical implementation of a high precision, high dynamical MEMS acceleration sensor
Wolfram, H.; Schmiedel, R.; Hiller, K.; Aurich, T.; Günther, W.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A novel 24-kHz resonant scanner for high-resolution laser display
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende Laserdisplays
Kurth, S.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Application of micromirror arrays for Hadamard transform optics
Hanf, M.; Kurth, S.; Billep, D.; Hahn, R.; Faust, W.; Heinz, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Electrostatic driven scanning micro mirrors applied in spectral sensing devices
Saupe, R.; Otto, T.; Mehner, J.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Geßner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Advanced silicon micromachining
Geßner, T.; Bertz, A.; Lohmann, C.; Kurth, S.; Hiller, K. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Application of low temperature direct bonding in optical devices and integrated systems
Hiller, K.; Kurth, S.; Neumann, N.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Closed loop control of a tunable infrared filter
Sternberger, A.; Hiller, K.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Kurth, S.; Neumann, N.; Heinze, M. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | An electrically tunable infrared filter on base of Fabry-Perot interferometer
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Heinze, M.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Ein mikromechanisches, durchstimmbares Fabry-Perot-Filter für die nichtdispersive Gasanalytik im Spektralbereich (3 5) µm
Neumann, N.; Heinze, M.; Stegbauer, H.-J.; Hiller, K.; Kurth, S. | Paper |
| 2003 | Tunable Fabry-Perot interferometer for 3 - 4.5 mu m wavelength with bulk micromachined reflector carrier
Kurth, S.; Hiller, K.; Neumann, N.; Heinze, M.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Tunable infrared filter based on a Fabry-Perot-Interferometer
Kurth, S.,; Hiller, K.; Dötzel, W.; Geßner, T.; Neumann, N.; Heinze, M. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Bulk micromachined and wafer bonded resonators for vacuum pressure measurement
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Einsatz von Mikrospiegel-Arrays zur Lichtmodulation in einem Hadamard-Transformations-Spektrometer
Hanf, M.; Kurth, S.; Faust, W.; Hahn, R.; Heinz, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Micromachined pressure gauge for the vacuum range based on damping of a resonator
Kurth, S.; Hiller, K.; Zichner, N.; Mehner, J.; Iwert, T.; Biehl, S.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Ein mikromechanischer Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip
Hiller, K.; Kurth, S.; Zichner, N.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Iwert, T.; Fritsch, H.; Biehl, S. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Deformation behavior of micro mirror arrays under optical power
Kurth, S.; Kehr, K.; Kaufmann, C.; Faust, W.; Dötzel, W.; Michel, B. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Micromirrors and micromirror arrays for scanning applications
Gessner, T.; Kurth, S.; Kaufmann, C.; Markert, J.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Analogously working micromirror arrays
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Anwendung von Niedertemperatur-Bondverfahren für die Herstellung von Microscanner-Arrays hoher Frequenz
Wiemer, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Fabrication of high frequency microscanners by using low temperature silicon wafer bonding
Hiller, K.; Wiemer, M.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Milekhin, A.; Friedrich, M.; Zahn, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Investigation of heat transfer in micromirrors
Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners
Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Wiemer, M; Schubert, I. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Synchronously working micromirrors for beam steering
Kurth, S.; Kehr, K.; Mehner, J.; Kaufmann, C.; Hahn, R.; Seidel, R.; Dötzel, W.; Gessner, T. | Konferenzbeitrag |