Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS
Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef
Patent
2018Novel 512 × 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology
Gehner, A.; Dürr, P.; Kunze, D.; Rudloff, D.; Elgner, A.; Heber, J.; Francés, S.; Skupsch, C.; Torlee, H.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Döring, S.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2015Purification and immunodetection of the complete recombinant HER-2[neu] receptor produced in yeast
Chamas, Alexandre; Giersberg, Martin; Friedrich, Katrin; Sonntag, Frank; Kunze, Dietmar; Uhlig, Steffen; Simon, Kirsten; Baronian, Keith; Kunze, Gotthard
Zeitschriftenaufsatz
2010Multispectral characterization of diffractive micromirror arrays
Berndt, D.; Heber, J.; Sinning, S.; Kunze, D.; Knobbe, J.; Schmidt, J.-U.; Bring, M.; Rudloff, D.; Friedrichs, M.; Rössler, J.; Eckert, M.; Kluge, W.; Neumann, H.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2010Temperature measurement on MOEMS micromirror plates under illumination
Wullinger, I.; Rudloff, D.; Lukat, K.; Dürr, P.; Krellmann, M.; Kunze, D.; Narayana Samy, A.; Dauderstädt, U.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2008Planarity optimization of spatial light modulators
Duerr, P.; Wolschke, S.; Ludewig, T.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Contrast properties of spatial light modulators for microlithography
Heber, J.; Kunze, D.; Dürr, P.; Rudloff, D.; Wagner, M.; Björnängen, P.; Luberek, J.; Berzinsh, U.; Sandström, T.; Karlin, T.
Konferenzbeitrag
2007Methode zur Verbesserung der Planarität von Flächenlichtmodulatoren
Dürr, P.; Kunze, D.
Konferenzbeitrag
2006Micro-actuator with extended analog deflection at low drive voltage
Dürr, P.; Gehner, A.; Schmidt, J.; Kunze, D.; Wagner, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005OLED lighting based on white broadband copolymer emitters
Gärditz, C.; Paetzold, R.; Buchhauser, D.; Bathelt, R.; Gieres, G.; Tschamber, C.; Hunze, A.; Heuser, K.; Winnacker, A.; Amelung, J.; Kunze, D.
Konferenzbeitrag
2005Simulation of organic light emitting diodes for lighting applications
Kunze, D.; Amelung, J.; Pätzold, R.; Gieres, G.
Konferenzbeitrag
2005Stress optimization of a micromechanical torsional spring
Klose, T.; Kunze, D.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schneider, A.; Schneider, P.
Konferenzbeitrag
2004Accelerometer by means of a resonant micro actuator
Drabe, C.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Kunze, D.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Characterization of spatial light modulators for micro lithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Characterization of spatial light modulators for microlithography
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Bakke, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2002Phasenmodulierende Mikrostrukturen fuer hoechstintegrierte Flaechenlichtmodulatoren
Gottfried-Gottfried, R.; Kueck, H.; Kunze, D.
Patent
2002Reliability test and failure analysis of optical MEMS
Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Kunze, D.; Auvert, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Kauert, R.; Kunze, D.; Wildenhain, M.
Konferenzbeitrag
2001A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Design and modelling of large deflection micromechanical 1D and 2D scanning mirrors
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation
Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Moving liquid mirror: A new concept for spatial light modulation
Wolter, A.; Kück, H.; Kunze, D.; Gottfried-Gottfried, R.
Aufsatz in Buch
1999A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1997Planar fluxgate sensors
Wende, U.; Kunze, D.; Gottfried-Gottfried, R.
Zeitschriftenaufsatz
1997Simulation von monolithisch integrierten Fluxgatesensoren
Wende, U.; Kunze, D.; Gottfried-Gottfried, R.
Aufsatz in Buch
1997Umfassende leistungsfähige Verhaltensbeschreibung von mechanischen Mikrostrukturen unter Anwendung der FEM-Simulation
Kunze, D.; Erlebach, A.; Todt, U.; Stephan, R.
Aufsatz in Buch
1996Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel
Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1996Planar fluxgate sensors, experimental data and theoretical analysis
Wende, U.; Kunze, D.; Gottfried Gottfried, R.
Konferenzbeitrag
1995Durchgängige Simulation von Prozessen und Strukturen der Mikrosystemtechnik
Stephan, R.; Kunze, D.; Erlebach, A.; Richter, F.; Todt, U.
Konferenzbeitrag
1995Magnetfeldanalyse zur Signalbestimmung für ein passives induktives Winkelmeßsystem
Kunze, D.
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron laser direct writing
Kück, Heinz; Bollerott, Michael; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef; Grundke, Wolfram; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1994Bleachable dyed resist - investigation of its process latitude in comparison with standard resists
Kunze, D.; Pforr, R.
Zeitschriftenaufsatz
1994FEM-Analyse des Zeitverhaltens einer thermosensitiven Mikrostruktur - Thermopile
Kunze, D.; Müller, M.; Hübel, A.
Konferenzbeitrag
1993Analyse einer thermosensitiven Mikrostruktur -Thermopile-
Kunze, D.; Müller, M.
Konferenzbeitrag
1993Berechnung komplexer Halbleiter elektronischer Strukturen unter Nutzung von ANSYS-Resultaten in der mehrdimensionalen Devicesimulation
Erlebach, A.; Kunze, D.; Richter, F.; Stephan, R.; Gajewski, H.
Konferenzbeitrag
1992Einsatz von ANSYS beim Entwurf von Sensoren in der Mikrosystemtechnik
Erlebach, A.; Kunze, D.; Müller, M.
Konferenzbeitrag