Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Poster
2016Enhanced dielectric properties of thin Ta2O5 films grown on 65 nm SiO2/Si
Kolkovsky, V.; Kurth, E.; Kunath, C.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Reactively sputtered hafnium oxide on silicon dioxide: Structural and electrical properties
Kolkovsky, V.; Lukat, K.; Kurth, E.; Kunath, C.
Zeitschriftenaufsatz
2013Wafer level vacuum packaging of scanning micro-mirrors using glass-frit and anodic bonding methods
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Kunath, Christian; Dreyhaupt, André; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2010Entwicklung von chemisch-mechanischen Oberflächenbearbeitungsprozessen in MOEM-Technologien
Peschel, M.
: Rieck, A.; Kunath, C.
Diplomarbeit
2006Schutzstruktur fuer Halbleitersensoren
Sorge, S.; Kunath, C.; Kurth, E.
Patent
2005Hafnium oxide for optical applications deposited by different CMOS compatible methods
Albert, M.; Rößler, T.; Adolphi, B.; Bartha, J.W.; Grüger, H.; Kunath, C.; Sorge, S.
Konferenzbeitrag
2005Material and layout improvements of planar electrolytic conductivity sensors
Sorge, S.; Kunath, C.; Kurth, E.; Grüger, H.
Konferenzbeitrag
2005Study of sputtered hafnium oxide films for sensor applications
Grüger, H.; Kunath, C.; Kurth, E.; Sorge, S.; Pufe, W.
Konferenzbeitrag
2004Charakterisierung von Mikrospiegelarrays im DUV
Kunath, C.
Diplomarbeit
2004High quality r.f. sputtered metal oxides (Ta2O5, HfO2) and their properties after annealing
Grüger, H.; Kunath, C.; Kurth, E.; Sorge, S.; Pufe, W.; Pechstein, T.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Improved structural properties of sputtered hafnium dioxide on silicon and silicon oxide for semiconductor and sensor applications
Grüger, H.; Kunath, C.; Kurth, E.; Pufe, W.; Sorge, S.
Konferenzbeitrag
2002Moderne pH-Messtechnik
Kunath, C.; Kurth, E.; Franzheld, R.; Pechstein, T.; Scholz, K.
Zeitschriftenaufsatz
2002Potential generating interactions of electrolytes on CF-polymer surfaces in aqueous solutions
Sorge, S.; Kurth, E.; Kunath, C.; Grüger, H.
Konferenzbeitrag
2002Potential generating interactions of electrolytes on CF-polymer surfaces in aqueous solutions
Sorge, S.; Kurth, E.; Kunath, C.; Grüger, H.
Konferenzbeitrag
1994Halbleiterbauelement, insbesondere zur Ionendetektion
Kunath, C.; Kurth, E.; Kueck, H.; Mokwa, W.
Patent
1994Requirements for inert polymer layer for sensor applications
Kunath, C.; Kurth, E.; Grundke, W.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1994Vorrichtung zur Messung von Ionenkonzentrationen in Loesungen
Krauss, M.; Kunath, C.; Hildebrandt, B.; Kurth, E.
Patent
1993Backside membrane structures for ISFETs applied in miniature analysis systems
Pham, M.T.; Howitz, S.; Kunath, C.; Kurth, E.; Köhler, R.
Konferenzbeitrag