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| 2019 | Influence of TAS' Characteristics on the Related Drayage Network
Lange, Ann-Kathrin; Kühl, Kristof Ole; Schwientek, Anne Kathrina; Jahn, Carlos | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur
Seidel, H.; Alkele, M.; Prechtel, U.; Nagler, O.; Kuehl, K. | Patent |
| 2001 | Batch fabrication of silicon micropumps
Richter, M.; Kruckow, J.; Weidhaas, M.; Wackerle, M.; Drost, A.; Schaber, U.; Schwan, M.; Kühl, K. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Full wafer fabrication technologies of micro pumps
Richter, M.; Kruckow, J.; Weidhaas, J.; Drost, A.; Schaber, U.; Kühl, K. | Aufsatz in Buch |
| 1993 | Herstellung von beweglichen Elementen in der mym-Skala - Surface Micromachining
Kozlowski, F.; Kühl, K.; Lang, W. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Wirbelfrequenz-Stroemungsmesser
Lang, W.; Kuehl, K. | Patent |
| 1992 | Study of doping dependent p-n junction etch-stop using pulsed electrochemical anodization
Schaber, U.; Offereins, H.L.; Seitz, S.; Gronegger, H.; Kühl, K.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Eine Thermosäule in Polysilicium-Dünnfilmtechnologie
Kühl, K.; Lang, W. | Tagungsband |
| 1991 | Absorbing layers for thermal infrared detectors
Kühl, K.; Lang, W.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Katalytischer Gassensor
Drost, S.; Kuehl, K.; Lang, W.; Richter, A.; Endres, H.-E. | Patent |
| 1991 | Katalytischer Gassensor und Verfahren zum Herstellen desselben
Lang, W.; Kuehl, K.; Drost, S.; Richter, A.; Endres, H.-E. | Patent |
| 1991 | Methoden zur Herstellung konvexer Ecken beim anisotropen Ätzen von 100-Silicium in wässriger KOH Lösung
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Mikromechanik-Komponenten
Csepregi, L.; Kühl, K.; Sandmaier, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Mikroventil
Csepregi, L.; Kuehl, K.; Seidel, H. | Patent |
| 1991 | Studie Mikromechanik
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Studie Mikromechanik-Komponenten und Dienstleistungsanbieter
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H. | Aufsatz in Buch |
| 1991 | A thin film polysilicon-aluminium thermocouple
Kühl, K.; Lang, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Der Wärmeübergang von Mikrostrukturen durch freie Konvektion
Kühl, K.; Lang, W. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Fabrication of convex corners in anisotropic etching of 100-silicon using aqueous KOH
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Meyer, G.K.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Fabrication of non-underetched convex corners in anisotropic etching of 100-silicon in aqueous KOH with respect to novel micromechanic elements
Meyer, G.; Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Piezoresistive low-pressure sensor with high sensitivity and accuracy
Kühl, K.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | A thin-film bolometer for radiation thermometry at ambient temperature
Kühl, K.; Obermeier, E.; Lang, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Frequenzselektiver Schwingungssensor
Csepregi, L.; Kuehl, K.; Seidel, H. | Patent |
| 1987 | A silicon based micromechanical accelerometer with cross acceleration sensitivity compensation
Sandmaier, H.; Kühl, K.; Obermeier, E. | Konferenzbeitrag |
| 1985 | A frequency-selective, piezoresistive silicon vibration sensor
Csepregi, L.; Heuberger, A.; Kuehl, K.; Seidel, H.; Benecke, W. | Konferenzbeitrag |
| 1984 | Technologie dünngeätzter Siliziumfolien im Hinblick auf monolithisch integrierbare Sensoren
Csepregi, L.; Kühl, K.; Niessl, R.; Seidel, H. | Buch |