Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
Schenk, H.; Duerr, P.; Kueck, H.
Patent
2002Phasenmodulierende Mikrostrukturen fuer hoechstintegrierte Flaechenlichtmodulatoren
Gottfried-Gottfried, R.; Kueck, H.; Kunze, D.
Patent
2001A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Design and modelling of large deflection micromechanical 1D and 2D scanning mirrors
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000Fabrication of the moving liquid mirror (MLM) spatial light modulator in a standard CMOS-process
Wolter, A.; Lakner, H.; Kück, H.; Doleschal, W.; Kirstein, K.-U.; Rieck, A.; Frohberg, K.
Konferenzbeitrag
2000Investigation of SiGe/Si - heterostructures with high resolution x-ray diffraction methods
Frohberg, K.; Wehner, B.; Trui, B.; Wolf, K.; Paufler, P.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
2000Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation
Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
2000Moving liquid mirror: A new concept for spatial light modulation
Wolter, A.; Kück, H.; Kunze, D.; Gottfried-Gottfried, R.
Aufsatz in Buch
2000A spatial light modulator using moving liquid mirrors (MLM) on a CMOS active-matrix
Wolter, A.; Kirstein, K.-U.; Doleschal, W.; Kück, H.; Lakner, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1999Beschleunigungsgrenzwertsensor
Geiger, W.; Kueck, H.; Erlebach, A.; Fischer, W.
Patent
1999A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1999A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1999Vorrichtung zum Strukturieren einer photolithographischen Schicht
Paufler, J.; Seltmann, R.; Kueck, H.
Patent
1998Investigation of SiGe/Si-heterostructures with high resolution X-ray diffraction methods
Frohberg, K.; Wehner, B.; Trui, B.; Wolf, K.; Paufler, P.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1998Microtechnologies, microactuator device for lightmodulator applications
Gehner, A.; Doleschal, W.; Schwenger, L.; Kück, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1998Miniaturisierte Spulenanordnung hergestellt in Planartechnologie zur Detektion von ferromagnetischen Stoffen
Gottfried-Gottfried, R.; Kueck, H.; Kück, H.
Patent
1997High-throughput optical direct write lithography
Paufler, J.; Kück, H.; Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1997Integration von passiven Elementen hoher Güte in eine HF-CMOS-Technologie
Eggert, D.; Barthel, W.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Budde, W.
Aufsatz in Buch
1997Realisierung von monolithisch integrierten Mikrosystemen
Kück, H.
Konferenzbeitrag
1997Refractive index measurements using an integrated Mach-Zehnder interferometer
Schubert, T.; Haase, N.; Kück, H.; Gottfried Gottfried, R.
Zeitschriftenaufsatz
1997SIMOX-Technologie für monolithisch integrierbare Beschleunigungssensoren
Köhler, R.; Kück, H.; Sölla, F.
Aufsatz in Buch
1996Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1996Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1996A miniaturized magnetic field sensor system consisting of a planar fluxgate sensor and a CMOS readout circuitry
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Jähne, R.; Kück, H.; Sauer, B.; Ulbricht, S.; Wende, U.
Konferenzbeitrag
1996New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1996Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel
Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1996Planarer Fluxgate-Sensor mit CMOS-ASIC für Betrieb und Auslesung
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Jähne, R.; Kück, H.; Sauer, B.; Ulbricht, S.; Wende, U.
Aufsatz in Buch
1996Refractive index measurements using an integrated Mach-Zehnder interferometer
Schubert, T.; Haase, N.; Kück, H.; Gottfried Gottfried, R.
Konferenzbeitrag
1996SOI-CMOS technology with monolithically integrated active and passive RF devices on high resistivity SIMOX substrates
Hürrich, A.; Hübler, P.; Eggert, D.; Kück, H.; Barthel, W.; Budde, W.; Raab, M.
Konferenzbeitrag
1996A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor
Müller, M.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Hübel, A.; Jähne, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995Ausbeute-Zuverlässigkeits-Korrelation für Leitbahnsysteme in hochintegrierten Schaltungen
Dreizner, A.; Kück, H.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J.
Konferenzbeitrag
1995BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Gehner, A.; Hess, G.; Kueck, H.; Vogt, H.
Patent
1995BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Vogt, H.; Hess, G.; Gehner, A.; Kueck, H.
Patent
1995BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Vogt, H.; Hess, G.; Gehner, A.; Kueck, H.
Patent
1995Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1995Integration von HF-Bauelementen in einem CMOS-SIMOX-Prozeß
Barthel, W.; Budde, W.; Eggert, D.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Oberschmidt, G.; Raab, M.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995Low-Power-CMOS-Technologie auf Bulk- und SIMOX-Substrat
Raab, M.; Stephan, R.; Kück, H.; Vogt, H.
Aufsatz in Buch
1995Mikrowellentechnologie auf hochohmigem SIMOX-Substrat
Barthel, W.; Budde, W.; Burbach, G.; Eggert, D.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Kokozinski, R.; Raab, M.
Aufsatz in Buch
1995Miniature condenser microphone with a thin silicon membrane fabricated on SIMOX substrate
Horwath, P.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995A miniaturized magnetic field sensor system consisting of a planar fluxgate sensor and a CMOS readout circuitry
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Jähne, R.; Kück, H.; Sauer, B.; Ulbricht, S.; Wende, U.
Konferenzbeitrag
1995Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie
Bollerott, M.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grinewitschus, V.; Grundke, W.; Hille, F.; Kück, H.; Mahdavi, P.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.
Aufsatz in Buch
1995New system for fast maskless submicron lithography - challenge on fast flexible data handling
Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron laser direct writing
Kück, Heinz; Bollerott, Michael; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef; Grundke, Wolfram; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor
Müller, M.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Hübel, A.; Jähne, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995Vorrichtung zur Absorption infraroter Strahlung
Gottfried Gottfried, R.; Kueck, H.; Müller, M.
Patent
1994Advanced SOI MOSFET for low voltage, low power and fast application
Stephan, Rolf; Raab, Michael; Kück, Heinz; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
1994CMOS-kompatible Herstellung von 3-dimensionalen Spulen mit ferromagnetischem Kern auf einem Siliziumwafer
Haase, T.; Sauer, B.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1994Defect monitoring and layout related yield and reliability prediction for VLSI interconnects
Dreizner, A.; Lukat, Klaus; Pahlitzsch, J.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1994A fully CMOS-compatible infrared sensor fabricated on SIMOX substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, Ralf; Kück, Heinz; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1994Halbleiterbauelement, insbesondere zur Ionendetektion
Kunath, C.; Kurth, E.; Kueck, H.; Mokwa, W.
Patent
1994IMS 2, a new R&D institute for MST
Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
1994Moderne Mikrosysteme für die Dosimetrie und den Strahlenschutz
Streil, Thomas; Klinke, Roland; Erlebach, Axel; Kück, Heinz; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1994Möglichkeiten der SIMOX-Technologie zur Herstellung von Strahlungsthermosäulen
Müller, M.; Kück, H.
Tagungsband
1994Monolithic infrared sensor system with programmable readout electronics
Jähne, R.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Müller, M.
Konferenzbeitrag
1994Monolithisches IR-Sensorsystem in Siliziumtechnologie
Müller, M.; Jähne, R.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1994Reinraumprozeßlinie für Siliziumtechnologie und Sensorik
Jungnickel, G.; Kabus, M.; Kück, H.; Lauche, J.
Aufsatz in Buch
1994Requirements for inert polymer layer for sensor applications
Kunath, C.; Kurth, E.; Grundke, W.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1994Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Stickstoff/Wasserdampf-Nebels, insbesondere eines nichtkontaminierenden Stickstoff/Wasserdampf-Nebels zum Sichtbarmachen von Stroemungsverlaeufen
Bussing, H.; Debusmann, K.; Kueck, H.; Opiolka, S.
Patent
1993CMOS-compatible integration of thin ferromagnetic films
Sauer, B.; Gottfried-Gottfried, R.; Haase, T.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1993Fabrication of sensors and microsystems on SIMOX substrates
Gottfried-Gottfried, R.; Köhler, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1993A fully CMOS compatible infrared sensor fabricated on SIMOX-substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1993New alpha radiation detection systems for environmental surveys
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1993New alpha radiation detection systems for environmental surveys.
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1993Schnelle Testverfahren zur Charakterisierung von Ausbeute und Zuverlässigkeit hochintegrierter Leitbahnsysteme
Dreizner, A.; Kück, H.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J.
Konferenzbeitrag
1993Systemintegration auf Chipniveau
Kück, H.
Tagungsband
1993Ein thermoelektrischer Infrarot-Sensor in SIMOX-Technologie
Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Müller, M.
Aufsatz in Buch
1993Ein thermoelektrischer Infrarotsensor als Beispiel für den Einsatz von SIMOX-Substraten für die Herstellung von Sensoren und Mikrosystemen
Müller, M.; Köhler, R.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1991Wirtschaftliches Reinraumkonzept
Fissan, H.; Stamm, W.; Bussing, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz
1990Kostengünstiges Konzept im IMS-Reinraum. Untersuchung der Reinraumqualität
Bussing, H.; Kück, H.
Aufsatz in Buch
1989Reinraum- und Fertigungsplanung
Kück, H.
Aufsatz in Buch